支撑条制造技术

本公开提出一种支撑条，其沿一平面固定在掩膜框架上。支撑条具有本体部，本体部具有位于平面的相反的两条侧边，本体部间隔分布有多个交叉区域，两条侧边的对应于各交叉区域的部分分别沿平面向外凸伸形成延伸部，本体部的各交叉区域中分别开设有开孔。本公开提出的支撑条通过上述设计，使得在不改变支撑掩膜的拉伸率的前提下，大幅减小支撑条在张网过程中的弯曲。

【技术实现步骤摘要】
支撑条
本公开涉及OLED器件蒸镀工艺领域，尤其涉及一种支撑条。
技术介绍
在现有OLED器件的蒸镀工艺中，特别是对于小尺寸的异形OLED显示面板而言，如图1所示，通常采用精细金属掩膜版(FineMetalMask，简称FMM)与异形支撑条(Howling)配合而对OLED显示面板的异形挖槽区、倒角区进行遮挡的方式进行蒸镀。具体而言，如图1所示，上述的遮挡方式通常采用全通刻精细金属掩膜版、常规的遮蔽部(CoverMask)和异形支撑条对OLED显示面板的边、倒角、异形区进行遮挡，具有较高的精度，且不存在清洗、焊接方面的问题。然而，由于异形支撑条的非对称性的异形结构使其在张网时较易发生弯曲，造成异形支撑条与显示面板的相对位置偏移，影响蒸镀精度。经试验验证，异形支撑条在张网之后，主要产生两方面的变形，即Y方向的拉伸和X方向的弯曲。对于Y方向的拉伸，根据仿真结果及拉伸率，可以在制作异形支撑条时进行分段补偿消除拉伸带来的影响。然而，对于X方向的弯曲，则无法通过补偿的方式消除，这也是导致现有异形支撑条在蒸镀时异形区不良高发的主要原因。城市，对于异形支撑条X方向的弯曲，目前一般通过减小拉伸力的方法减小弯曲，但是减小拉伸力会使拉伸率下降，从而增大异形支撑条以及精细金属掩膜版的下垂量，无法起到支撑精细金属掩膜版的效果。
技术实现思路
本公开的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种能够有效缓解弯曲现象的支撑条。为实现上述目的，本公开采用如下技术方案：根据本公开的一个方面，提供一种支撑条，沿一平面固定在掩膜框架上。其中，所述支撑条具有本体部，所述本体部具有位于所述平面的相反的两条侧边，所述本体部间隔分布有多个交叉区域，两条所述侧边的对应于各所述交叉区域的部分分别沿所述平面向外凸伸形成延伸部，所述本体部的各所述交叉区域中分别开设有开孔。根据本公开的其中一个实施方式，所述开孔的形状为矩形、圆形、椭圆形或多边形。根据本公开的其中一个实施方式，所述本体部的其中一所述侧边沿所述平面向外凸伸形成异形部。其中，所述开孔距离设有所述异形部的该所述侧边的距离小于其距离另一所述侧边的距离。根据本公开的其中一个实施方式，所述本体部的各所述交叉区域中分别开设有多个开孔，每个所述交叉区域中开设的多个所述开孔界定一开孔区域。根据本公开的其中一个实施方式，所述开孔区域中的多个所述开孔呈阵列状均匀布置。根据本公开的其中一个实施方式，所述开孔区域的对应于所述延伸部的部分向外延伸而与所述延伸部形状对应。根据本公开的其中一个实施方式，所述开孔区域位于所述本体部的设有所述延伸部的部分的中心位置。根据本公开的其中一个实施方式，所述开孔的形状为正方形或圆形。根据本公开的其中一个实施方式，所述本体部的其中一所述侧边沿所述平面向外凸伸形成异形部。其中，所述异形部的形成工艺为半刻。根据本公开的其中一个实施方式，所述延伸部与所述本体部的连接处呈倒圆角结构。由上述技术方案可知，本公开提出的支撑条的优点和积极效果在于：本公开提出的支撑条，通过“支撑条本体部具有相反的两条侧边，本体部间隔分布有多个交叉区域，两条侧边的对应于各交叉区域的部分分别向外凸伸形成延伸部，本体部的各交叉区域中分别开设有开孔”的结构设计，使得在不改变支撑掩膜的拉伸率的前提下，大幅减小支撑条在张网过程中的弯曲。附图说明通过结合附图考虑以下对本公开的优选实施方式的详细说明，本公开的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本公开的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：图1代表性地示出了一种现有掩膜结构的局部示意图；图2是本公开提出的支撑条的第一实施方式的局部结构示意图；图3是图2示出的支撑条在在张网过程中的X向弯曲状态图；图4是本公开提出的支撑条的第二实施方式的局部结构示意图；图5是本公开提出的支撑条的第三实施方式的局部结构示意图；图6是本公开提出的支撑条的第四实施方式的局部结构示意图；图7是本公开提出的支撑条的第五实施方式的局部结构示意图；图8是本公开提出的支撑条的第六实施方式的局部结构示意图；图9是本公开提出的支撑条的第七实施方式的局部结构示意图。附图标记说明如下：现有技术方案：110.异形支撑条；111.异形结构；120.遮蔽部；本公开方案：210.支撑条；211.本体部；2111.交叉区域；212.延伸部；2121.倒圆角结构；213.开孔；214.异形部；215.开孔区域。具体实施方式体现本公开特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本公开能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本公开的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本公开。在对本公开的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，所述附图形成本公开的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本公开的多个方面的不同示例性结构、系统和步骤。应理解的是，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本公开范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“之间”、“中心”、“外”等来描述本公开的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本公开的范围内。实施方式一参阅图2，其代表性地示出了本公开提出的支撑条210的局部结构示意图。在该示例性实施方式中，本公开提出的支撑条210是以应用于OLED器件蒸镀工艺的掩膜结构的支撑条210为例进行说明的。本领域技术人员容易理解的是，为将该支撑条210的相关设计应用于其他类型的半导体器件的蒸镀工艺中，而对下述的具体实施方式做出多种改型、添加、替代、删除或其他变化，这些变化仍在本公开提出的支撑条210的原理的范围内。如图2所示，在本实施方式中，本公开提出的支撑条210是沿一平面固定在掩膜框架上，并与精细金属掩膜版和遮蔽部相配合，而对OLED显示面板的异形挖槽区、倒角区进行遮挡。其中，支撑条210与掩膜框架、精细金属掩膜版和遮蔽部的连接或配合关系均可参考现有方案的相关设计，在此不予赘述。配合参阅图3，图3中代表性地示出了能够体现本公开原理的支撑条210在在张网过程中的X向弯曲状态图。其中，X向和Y向均为在上述平面上定义的方向，且X向与Y向垂直，X向即为支撑条210的宽度方向，Y向即为支撑条210的延伸方向。以下结合上述附图，对本公开提出的支撑条210的各主要组成部分的结构、连接方式和功能关系进行详细说明。如图2所示，在本实施方式中，支撑条210具有本体部211，且该本体部211具有位于上述平面的相反的两条侧边。本体部211上沿Y向间隔分布有多个交叉区域2111，这些交叉区域2111即为支撑条210与各遮蔽部交叉(例如垂直交叉)的相互遮盖的区域。两条侧边的对应于各交叉区域2111的部分分别沿上述平面向外凸伸形成延伸部212。其中，本体部211的各交叉区域2111中分别开设有开孔213。通过上述设计，支撑条210通过开孔213的开设能够有效调整局部应力，使支撑条210所受应力趋于对称分布，减小其在张网过程中X向的弯曲。另外，开孔213能够容纳局部变形，从本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种支撑条，沿一平面固定在掩膜框架上，其特征在于，所述支撑条具有本体部，所述本体部具有位于所述平面的相反的两条侧边，所述本体部间隔分布有多个交叉区域，两条所述侧边的对应于各所述交叉区域的部分分别沿所述平面向外凸伸形成延伸部，所述本体部的各所述交叉区域中分别开设有开孔。

【技术特征摘要】
1.一种支撑条，沿一平面固定在掩膜框架上，其特征在于，所述支撑条具有本体部，所述本体部具有位于所述平面的相反的两条侧边，所述本体部间隔分布有多个交叉区域，两条所述侧边的对应于各所述交叉区域的部分分别沿所述平面向外凸伸形成延伸部，所述本体部的各所述交叉区域中分别开设有开孔。2.根据权利要求1所述的支撑条，其特征在于，所述开孔的形状为矩形、圆形、椭圆形或多边形。3.根据权利要求1所述的支撑条，其特征在于，所述本体部的其中一所述侧边沿所述平面向外凸伸形成异形部；其中，所述开孔距离设有所述异形部的该所述侧边的距离小于其距离另一所述侧边的距离。4.根据权利要求1所述的支撑条，其特征在于，所述本体部的各所述交叉区域中分别开设有多个开孔，每个所述交叉...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶建波，吴建鹏，嵇凤丽，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11