用于显示装置的图案结构制造方法及图纸

提供一种用于显示装置的图案结构，所述图案结构包括：基底；突起图案，位于基底上；第一导电图案，覆盖突起图案的上表面；层间绝缘层，位于第一导电图案上，并包括接触孔；以及第二导电图案，位于层间绝缘层上，并连接到第一导电图案。接触孔与突起图案和第一导电图案叠置。

【技术实现步骤摘要】
用于显示装置的图案结构本申请要求于2017年6月5日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0069759号韩国专利申请和于2018年2月1日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0012947号韩国专利申请的优先权，所述韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。
本公开涉及用于显示装置的图案结构及其制造方法。
技术介绍
近来，液晶显示器(LCD)或有机发光二极管(OLED)显示器作为显示装置被用于诸如移动电话、导航装置、数字照相机、电子书、便携式游戏机或各种其它装置的各种移动电子装置中。显示装置包括多个像素，并且每个像素包括用于驱动每个像素的多个晶体管。显示装置通过堆叠多个导电层和绝缘层并使所述多个导电层和绝缘层图案化来包括多层结构。在曝光工艺期间光掩模相对于设计的未对准会导致在随后的蚀刻工艺中对层的不期望的蚀刻，并且会成为短路或者湿气或氧的渗透的来源。
技术实现思路
根据本专利技术构思的示例性实施例，一种用于显示装置的图案结构包括：基底；以及突起图案，设置在基底上。所述图案结构还包括：第一导电图案，覆盖突起图案的上表面；以及层间绝缘层，设置在第一导电图案上并包括接触孔。所述图案结构还包括：第二导电图案，设置在层间绝缘层上并通过接触孔连接到第一导电图案。接触孔与突起图案和第一导电图案叠置。根据本专利技术构思的示例性实施例，一种用于制造显示装置的方法包括：在基底上形成突起图案；以及形成覆盖突起图案的上表面的第一导电图案。所述方法还包括：在第一导电图案上形成层间绝缘层；以及使层间绝缘层图案化以形成接触孔以暴露第一导电图案的上表面的一部分。所述方法还包括：在层间绝缘层上形成通过接触孔连接到第一导电图案的第二导电图案。接触孔与突起图案和第一导电图案叠置。附图说明图1是根据本专利技术构思的示例性实施例的用于显示装置的图案结构的剖视图；图2至图8是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的用于显示装置的图案结构的制造方法的剖视图；图9至图12是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的用于显示装置的图案结构的制造方法的剖视图；图13是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的用于显示装置的图案结构的剖视图；图14至图17是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的用于显示装置的图案结构的制造方法的剖视图；图18至图20是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的用于显示装置的图案结构的制造方法的剖视图；图21是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的用于显示装置的图案结构的剖视图；图22至图25是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的用于显示装置的图案结构的制造方法的剖视图；图26是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的包括用于显示装置的图案结构的显示装置的剖视图；图27是根据示例性实施例的有机发光二极管显示器的一个像素的等效电路图；图28是根据示例性实施例的施加到有机发光二极管显示器的一个像素的信号的时序图；图29是根据示例性实施例的有机发光二极管显示器的一个像素区域的布局图；以及图30至图32是根据示例性实施例的沿图29中的线A-A'截取的剖视图。具体实施方式在下文中将参照附图更充分地描述本专利技术构思的示例性实施例。然而，本公开可以以许多不同的形式来实施，并且不应该被解释为局限于这里阐述的实施例。将理解的是，当诸如层、膜、区域或基底的元件被称为“在”另一元件“上”或“连接到”另一元件时，该元件可以直接在所述另一元件上或直接连接到所述另一元件，或者也可以存在中间元件。相反，当元件被称为“直接在”另一元件“上”时，不存在中间元件。此外，在说明书中，词语“在……上”表示设置在对象部分上或之下，而不必表示基于重力方向设置在对象部分的上侧上。图1是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的用于显示装置的图案结构的剖视图。如图1所示，根据示例性实施例的用于显示装置的图案结构可以包括基底110、设置在基底110上的第一导电图案610以及设置在基底110与第一导电图案610之间的突起图案500。基底110可以由例如玻璃的固体绝缘材料制成。在基底110与突起图案500之间还可以设置有第一有机绝缘层122、第一阻挡层124、第二有机绝缘层126和第二阻挡层128。第一有机绝缘层122和第二有机绝缘层126可以由有机绝缘材料形成，并且可以形成为膜型。例如，第一有机绝缘层122和第二有机绝缘层126可以由聚酰亚胺形成。第一阻挡层124和第二阻挡层128可以由无机绝缘材料形成。例如，第一阻挡层124和第二阻挡层128可以由氧化硅(SiOx)或氮化硅(SiNx)制成。在一个实施例中，由有机绝缘材料制成的层和由无机绝缘材料制成的层可以交替地堆叠在基底110与突起图案500之间。在一个实施例中，可以省略第一有机绝缘层122、第一阻挡层124、第二有机绝缘层126和第二阻挡层128。例如，突起图案500可以直接形成在基底110上。在另一实施例中，第一有机绝缘层122和第一阻挡层124可以形成在基底110上，突起图案500可以直接形成在第一阻挡层124上。在又一个实施例中，第一阻挡层124可以形成在基底110上，突起图案500可以直接形成在第一阻挡层124上。在制造工艺中，基底110可以用作载体基底并且稍后可以被去除。例如，在基底110上形成第一有机绝缘层122、第一阻挡层124、第二有机绝缘层126和第二阻挡层128之后在第二阻挡层128上形成若干构成元件，在这之后，可以从第一有机绝缘层122分离并去除基底110。在这种情况下，根据示例性实施例的显示装置可以是柔性显示装置，第一有机绝缘层122可以用作柔性基底。突起图案500可以具有从第二阻挡层128的上表面延伸的突起和凹陷形状。突起图案500的中心部分的高度可以是最大的，突起图案500的高度可以从中心部分向边缘部分逐渐减小。突起图案500的剖面形状可以基本是半圆形。然而，实施例不限于此，在另一实施例中突起图案500的形状可以不同。突起图案500可以由有机绝缘材料制成。例如，突起图案500可以由聚酰亚胺制成。然而，实施例不限于此，突起图案500可以由无机绝缘材料、金属、金属氧化物等制成。在突起图案500与第一导电图案610之间还可以设置有缓冲层510。缓冲层510可以由例如氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)等的无机绝缘材料制成。当突起图案500由诸如聚酰亚胺的有机材料制成时，缓冲层510可以防止突起图案500接触第一导电图案610，使得在第一导电图案610的制造工艺中可以防止突起图案500影响第一导电图案610。第一导电图案610可以设置在突起图案500上并且与突起图案500叠置。第一导电图案610可以覆盖突起图案500的整个上表面。第一导电图案610也可以根据突起图案500的形状而具有突起形状的轮廓。因此，当在与基底110的上表面垂直的方向上测量时，从基底110的上表面到第一导电图案610的上表面的中心部分的距离可以大于从基底110的上表面到第一导电图案610的上表面的边缘部分的距离。例如，从基底110的上表面到第一导电图案610的上表面的距离可以从中心部分向边缘部分逐渐减小。第一导电图案610可以由导电材料制成。例如，第一导电图案610可以由例如非晶半导体、结晶半导体、氧化物半导体等的半导体材料制成。此外，第一导电图案610可以由金属、金属氧化本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于显示装置的图案结构，所述图案结构包括：基底；突起图案，设置在所述基底上；第一导电图案，覆盖所述突起图案的上表面；层间绝缘层，设置在所述第一导电图案上，并包括接触孔；以及第二导电图案，设置在所述层间绝缘层上，并通过所述接触孔连接到所述第一导电图案，其中，所述接触孔与所述突起图案和所述第一导电图案叠置。

【技术特征摘要】
2017.06.05 KR 10-2017-0069759;2018.02.01 KR 10-2011.一种用于显示装置的图案结构，所述图案结构包括：基底；突起图案，设置在所述基底上；第一导电图案，覆盖所述突起图案的上表面；层间绝缘层，设置在所述第一导电图案上，并包括接触孔；以及第二导电图案，设置在所述层间绝缘层上，并通过所述接触孔连接到所述第一导电图案，其中，所述接触孔与所述突起图案和所述第一导电图案叠置。2.根据权利要求1所述的图案结构，其中，所述层间绝缘层直接设置在所述第一导电图案上。3.根据权利要求1所述的图案结构，所述图案结构还包括：第一有机绝缘层和第一阻挡层，设置在所述基底与所述突起图案之间。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙世完，金贞和，安珍星，李旺宇，李知嬗，高武恂，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR