一种非接触式三维面形轮廓仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种非接触式三维面形轮廓仪，解决使用现有非接触坐标测量机测量时需将被测点法线方向对准探头从而导致定位精度降低的问题；在泰曼—格林干涉光路基础上引入球壳透镜成功搭建出干涉式光学探头，测量时，通过调整光学探头聚焦在被测件上某一点，测量光束被球壳透镜内表面反射回到光学系统中，测量光束经分束器反射进入CCD图像传感器上与参考光束形成干涉条纹，由位置计量装置记录此时三维运动机构的位置信息；调整三维运动机构依次记录聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上其他点的位置信息，通过数据处理可以获得被测件的面形形貌；简化了三维运动机构，减小了机械定位误差，可测量高陡度元件。

【技术实现步骤摘要】
一种非接触式三维面形轮廓仪
本技术属于光学检测
，具体涉及一种三维轮廓测量机。
技术介绍
三维面形测量最常用的方法是三坐标测量。三坐标测量技术具有通用性强、自动化程度高、测量精度高等众多优点，在机械、电子等领域得到广泛应用。目前，根据三坐标测量机测头的形式，可将三坐标测量机分为接触式三坐标测量机和非接触式三坐标测量机。非接触式三坐标测量机目前主要有激光点测量和线激光扫描测量两种形式。对于接触式三坐标测量机和非接触式激光点测量三坐标测量机而言，测量过程需要频繁的加速、减速，造成了测量速度较慢，此外由于测头直接与被测件表面接触容易划伤被测件。非接触式的线激光扫描测量在测量时加减速过程较少，可以大幅度的提高测量速度，但是由于线激光测量头的自身误差大于3μm，测时需要调整被测点法线方向对准激光测头，三维运动机构复杂，使得其测量精度大幅度下降，因此测定的精度并不高。
技术实现思路
本技术的解决的技术问题是：解决现使用现有非接触式三维面形轮廓仪测量时需将被测点法线方向对准探头从而导致定位精度降低的问题。一种非接触式三维面形轮廓仪，包括机架、光学探头、三维运动机构、显示系统和控制系统，所述光学探头设于所述三维运动机构上，所述三维运动机构设于所述机架上，所述机架与所述控制系统的相连，所述控制系统与所述显示系统相连接，其中所述的三维运动机构由三个相互垂直平移机构组成，其中一个平移机构竖直方向设置，三维运动机构上设置有位置计量装置，用于记录位置变化量；其特征在于：所述的光学探头由干涉光路组成，所述干涉光路包括光源、准直透镜、分束器、成像透镜、聚焦透镜、平面反射镜、球壳透镜、CCD图像传感器；以光源所在一侧为物方，所述光源发出的光被准直透镜准直后入射到分束器上，经分束器反射的光作为参考光束，参考光被垂直放置的平面反射镜反射后原路返回，再次通过分束器被成像透镜聚焦于CCD图像传感器上；其中CCD图像传感器与显示系统连接，实时将干涉图像传输至显示系统；透射过分束器的光作为测量光束，测量光束经过聚焦透镜后聚焦于聚焦透镜的像方焦点处；所述的球壳透镜内表面设置有半透半反膜，且球壳透镜放置在聚焦透镜与聚焦透镜的像方焦点之间，球壳透镜的球心与聚焦透镜的像方焦点重合。基于上述技术方案，本技术还提供一种非接触式三维面形测量方法，测量时，通过调整三维运动机构使聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上某一点，测量光束被球壳透镜内表面反射回到光学系统中，测量光束经分束器反射进入CCD图像传感器上与参考光束形成干涉条纹，由位置计量装置记录此时三维运动机构的位置信息；调整三维运动机构依次记录聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上其他点的位置信息，通过数据处理可以得获得被测件的面形形貌。测量工件时，在三维运动机构的驱动下，将光学探头上聚焦透镜的像方焦点轨迹沿着理想光学元件曲线运动，通过竖直方向(Z轴)的平动轴上下扫描，若焦点位置偏离被测点，通过干涉条纹判断聚焦位置与被测点的相对位置后，将Z轴向上或向下移动，直至干涉条纹为理想的零级条纹，由位置计量装置记录此测量点的位置信息，依次在被测面上进行面形扫描获得多有点的云点坐标，然后对点源数据进行处理以及面形拟合，通过拟合后的面形与工件面形的比较，分析确定其面形误差。上述技术方案的使用，简化了三维运动机构，从而可以减小机械定位误差；发射到被测面上的测量光束不论以任何角度反射出去，均可以被球壳透镜反射回原光路；能够轻松进行平面、球面、非球面、自由曲面以及环形透镜、具有衍射台阶的光学元件等一些特殊元件；可测量球面偏离较大的元件；测量精度高、速度快。附图说明图1为光学探头示意图；图2为安装有光学探头的非接触式三维面形轮廓仪；图3为光学探头测量高陡度被测件上一点示意图；图4为光学探头测量高陡度被测件上另外一点示意图；其中：1-光源，2-准直透镜，3-分束器，4-参考光束，5-平面反射镜，6-成像透镜，7-CCD图像传感器，8-测量光束，9-聚焦透镜，10-球壳透镜，11-聚焦透镜的像方焦点，12-被测件，13-小孔光阑，14-机架，15-X轴平移机构，16-Z轴平移机构，17-Y轴平移机构，18-控制系统，19-显示系统，20-被测件面形形貌分布。具体实施方式为了更清楚地说明技术，下面结合附图及实施例作进一步描述实施例一：如附图2所示，一种非接触式三维面形轮廓仪，包括机架14、光学探头、三维运动机构、显示系统19和控制系统18，所述光学探头设于所述三维运动机构上，所述三维运动机构设于所述机架上，所述机架与所述控制系统的相连，所述控制系统与所述显示系统相连接，其中所述的三维运动机构由三个相互垂直X轴平移机构15、Y轴平移机构17和Z轴平移机构16组成，其中一个平移机构竖直方向设置，三维运动机构上设置有位置计量装置，用于记录位置变化量；其特征在于：所述的光学探头由干涉光路组成，如图1所示，所述干涉光路包括光源1、准直透镜2、分束器3、成像透镜8、聚焦透镜9、平面反射镜5、球壳透镜10、CCD图像传感器7；以光源所在一侧为物方，所述光源1发出的光被准直透镜准直后入射到分束器上，经分束器反射的光作为参考光束4，参考光被垂直放置的平面反射镜5反射后原路返回，再次通过分束器3被成像透镜8聚焦于CCD图像传感器7上；其中CCD图像传感器与显示系统连接，实时将干涉图像传输至显示系统；透射过分束器的光作为测量光束8，测量光束经过聚焦透镜9后聚焦于聚焦透镜的像方焦点11处；所述的球壳透镜10内表面设置有半透半反膜，且球壳透镜放置在聚焦透镜与聚焦透镜的像方焦点之间，球壳透镜的球心与聚焦透镜的像方焦点重合。测量工件时，在三维运动机构的驱动下，将光学探头上聚焦透镜的像方焦点轨迹沿着理想光学元件曲线运动，通过竖直方向(Z轴)的平动轴上下扫描，若焦点位置偏离被测点，通过干涉条纹判断聚焦位置与被测点的相对位置后，将Z轴向上或向下移动，直至干涉条纹为理想的零级条纹，由位置计量装置记录此测量点的位置信息，依次在被测面上进行面形扫描获得多有点的云点坐标，然后对点源数据进行处理以及面形拟合得到被测件面形形貌分布20，通过拟合后的面形与工件理论面形的比较，分析确定其面形误差。实施例二：上述实施例技术方案基础上，如图1所示，一种非接触式三维面形轮廓仪，所述的球壳透镜与聚焦透镜之间还设置有小孔光阑13。该小孔光阑可以有效的过滤杂散光，提高干涉条纹质量。如图2和图3所示，在测量高陡度被测件时，无需将被测件的探测点法线方向对准光学探头即可完成数据采集。实施例三：实施例一技术方案基础上，一种非接触式三维面形轮廓仪，所述的三维运动机构上设置的位置计量装置为光栅尺或者锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)位移位置计量装置。实施例四：上述实施例技术方案基础上，一种非接触式三维面形轮廓仪，测量光束经分束器反射进入CCD图像传感器上与参考光束形成干涉条纹后，干涉条纹条数调整至零时，位置计量装置记录此时三维运动机构的位置信息并将该位置信息传送至计算机。零条纹作为位置信息采集标准，可进一步减小三维运动机构定位误差。上述实施例一技术方案基础上，一种非接触式三维面形轮廓仪，测量光束与参考光束等光程。本技术方案未详细说明部分属于本领域技术人员公知技术。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种非接触式三维面形轮廓仪，包括机架、光学探头、三维运动机构、计算机、显示系统、控制系统，所述光学探头设于所述三维运动机构上，所述三维运动机构设于所述机架上，所述机架与所述控制系统相连，所述控制系统与计算机相连接，其中所述的三维运动机构由三个相互垂直平移机构组成，其中一个平移机构竖直方向设置，三维运动机构上设置有位置计量装置，用于记录位置变化量；其特征在于：所述的光学探头由干涉光路组成，所述干涉光路包括光源、准直透镜、分束器、成像透镜、聚焦透镜、平面反射镜、球壳透镜、CCD图像传感器；以光源所在一侧为物方，所述光源发出的光被准直透镜准直后入射到分束器上，经分束器反射的光作为参考光束，参考光被垂直放置的平面反射镜反射后原路返回，再次通过分束器被成像透镜聚焦于CCD图像传感器上；其中CCD图像传感器获得的干涉图像实时传送至显示系统；所述干涉图像的干涉条纹条为零条纹时，位置计量装置将三维运动机构的位置信息传送至计算机；透射过分束器的光作为测量光束，测量光束经过聚焦透镜后聚焦于聚焦透镜的像方焦点处；所述的球壳透镜内表面设置有半透半反膜，且球壳透镜放置在聚焦透镜与聚焦透镜的像方焦点之间，球壳透镜的球心与聚焦透镜的像方焦点重合。...

【技术特征摘要】
1.一种非接触式三维面形轮廓仪，包括机架、光学探头、三维运动机构、计算机、显示系统、控制系统，所述光学探头设于所述三维运动机构上，所述三维运动机构设于所述机架上，所述机架与所述控制系统相连，所述控制系统与计算机相连接，其中所述的三维运动机构由三个相互垂直平移机构组成，其中一个平移机构竖直方向设置，三维运动机构上设置有位置计量装置，用于记录位置变化量；其特征在于：所述的光学探头由干涉光路组成，所述干涉光路包括光源、准直透镜、分束器、成像透镜、聚焦透镜、平面反射镜、球壳透镜、CCD图像传感器；以光源所在一侧为物方，所述光源发出的光被准直透镜准直后入射到分束器上，经分束器反射的光作为参考光束，参考光被垂直放置的平面反射镜反射后原路返回，再次通过分束器被成像透镜聚焦于CCD图像传感器上；其中CCD图像传感器获得的干涉图像实时传送至显示系统；所述干涉图像的干涉条纹条为零条纹时，位置计量装置将三维运动机构的位...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄启泰，管敏，
申请(专利权)人：苏州大学，苏州斑马光学技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32