一种共振传感装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种共振传感装置，具有这样的特征，包括：频率可调光源；多边形柱棱镜单元，包括边数至少为五的正多边形柱棱镜和依次设置在正多边形柱棱镜的不同棱边外侧的金属层、纳米颗粒层以及微纳光学结构层；以及光信息接收单元，其中，被测样品放置在金属层的外侧，纳米颗粒层为核壳结构，用于增强被测样品的拉曼传感，核壳结构包含金纳米层以及二氧化硅纳米层，微纳光学结构层用于超分辨图像传感。所以，本发明专利技术的共振传感装置不仅具有系统结构简单、光场强度分布均匀、灵敏度高、系统稳定性高等优点，而且具有多机理传感检测、可实现区域测量、功能易于拓展、适用范围广等特点。

【技术实现步骤摘要】
一种共振传感装置本申请是申请号为CN201610776956.X、申请日为2016年08月30日、公开日为2017年01月18日、公开号为CN106338470A、专利技术名称为“一种光场行波腔增强表面等离子体共振传感装置”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术属于光学检测
，具体涉及一种共振传感装置。
技术介绍
表面等离子体共振传感技术发展迅速，广泛应用于物质分析、环境检测、环境感知、食品安全、生命科学、生物医药、医学诊断、安防、刑侦、质检、过程控制等诸多领域，成为痕量物质测量与分析技术发展热点之一，但是，目前的表面等离子体共振传感技术还有很多不足之处。中国专利技术专利(申请号为CN01136673.7，公开号为CN1342895)公开了一种波长调制偏振型表面等离子体波传感器，该波长调制偏振型表面等离子体波传感器包括激光器、起偏器、传感部件、1/4波片、检偏器、光电转换器、锁相放大器、计算机以及信号发生器。尽管该波长调制偏振型表面等离子体波传感器具有结构简单、对测量分辨率有显著提高等优点，但是，光束在传感部件中只发生一次全反射，导致测量灵敏度不高。针对上述波长调制偏振型表面等离子体波传感器的不足，中国专利技术专利(公开号为CN101294900)公开了一种高精细度腔表面等离子体共振传感器，该高精细度腔表面等离子体共振传感器包括激光光源、表面等离子体传感器以及光电探测器，表面等离子体传感器为截面为等腰三角形的柱形棱镜，斜边面为光束入射面和光束出射面，底边面为传感平面，有金属薄膜，入射光束与光束入射面垂直，出射光束与光束出射面垂直，光束入射表面等离子体传感器后在传感平面发生全反射；光束入射面和光束出射面构成高精细度腔；光束在高精细度腔内往返传播，每次往返均在棱镜镀有金属膜的一面发生表面等离子体共振，均与被测物质相互作用。尽管该高精细度腔表面等离子体共振传感器具有一定的优点，但是，仍然存在本质不足，采用等腰三棱镜两个平面构成高精细度腔，此类腔为线形高精细度腔，光场在内部往返传播，存在驻波行为，光场强度分布不均匀，导致影响装置灵敏度、系统抗干扰性，同时，此在先技术装置的传感能力受限，无法实现多机理传感检测，影响适用范围。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种具有环形腔结构、系统结构简单、由行波光场激发、光场强度分布均匀、灵敏度高、系统稳定性高、具有多机理传感检测、可实现区域测量、功能易于拓展、适用范围广的共振传感装置。本专利技术采用的技术方案如下：本专利技术提供了一种共振传感装置，用于检测被测样品的物质信息，具有这样的特征，包括：频率可调光源，用于发射多种单一频率的光束，频率可调光源为可调谐激光器或多波长激光器；多边形柱棱镜单元，包括边数至少为五的正多边形柱棱镜和依次设置在正多边形柱棱镜的不同棱边外侧的金属层、纳米颗粒层以及微纳光学结构层；光束耦合器，设置在正多边形柱棱镜的棱边外侧，用于对光束进行耦合，光束耦合器为棱镜光束耦合器、光栅光束耦合器以及微纳结构光束耦合器中的任意一种；以及光信息接收单元，用于接收从正多边形柱棱镜中射出的带有被测样品光信息的信息光场，光信息接收单元为光电二极管、光电倍增管以及雪崩二极管中的任意一种，其中，物质信息为折射率、浓度以及分子间作用力，被测样品放置在金属层的外侧，纳米颗粒层的纳米颗粒为核壳结构，用于增强被测样品的拉曼传感，核壳结构包含金纳米层以及包裹在金纳米层外的二氧化硅纳米层，微纳光学结构层，用于产生超分辨图像传感，为微纳米柱阵列或微纳米孔阵列，光束的入射方向与正多边形柱棱镜的轴向方向垂直，光束通过设置有光束耦合器的正多边形柱棱镜的侧面耦合到正多边形柱棱镜内，光束在金属层、纳米颗粒层、微纳光学结构层均发生全反射，在本专利技术提供的共振传感装置中，还具有这样的特征：其中，金属层为金薄膜。在本专利技术提供的共振传感装置中，还具有这样的特征：其中，正多边形柱棱镜为正六边形柱棱镜。专利技术的作用与效果根据本专利技术所涉及的共振传感装置，因为频率可调光源发出的光束能够在正多边形柱棱镜的一条棱边入射，在正多边形柱棱镜的不同棱边的内侧发生全反射，形成正多边形柱棱镜内行波光场，并且与正多边形柱棱镜的不同棱边外侧的金属层、纳米颗粒层以及微纳光学结构层分别发生作用，得到信息光场，信息光场最终被光信息接收单元接收，经处理分析后得到被测样品的物质信息。所以，本专利技术的共振传感装置不仅具有系统结构简单、光场强度分布均匀、灵敏度高、系统稳定性高等优点，而且具有多机理传感检测、可实现区域测量、功能易于拓展、适用范围广等特点。附图说明图1是本专利技术的实施例一中共振传感装置的结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，以下实施例结合附图对本专利技术的共振传感装置作具体阐述。图1是本专利技术的实施例一中共振传感装置的结构示意图。如图1所示，在本实施例中，共振传感装置100用来检测大分子蛋白物质的折射率、浓度以及分子间作用力等参数，它包括频率可调光源10、光束耦合器20、多边形柱棱镜单元30以及光信息接收单元40。频率可调光源10用来发射单一频率的光束，它的频率可以调节，在本实施例中，频率可调光源10为可调谐激光器10。此外，频率可调光源10还可以为多波长激光器。光束耦合器20设置在多边形柱棱镜单元30的一个侧面上，可调谐激光器10射出的光束照射在光束耦合器20上，通过光束耦合器20耦合到多边形柱棱镜单元30，在本实施例中，光束耦合器20为棱镜光束耦合器20。此外，光束耦合器20还可以为光栅光束耦合器或微纳结构光束耦合器。多边形柱棱镜单元30包括边数至少为五的正多边形柱棱镜31和依次设置在正多边形柱棱镜31的不同棱边外侧的金属层32、纳米颗粒层33以及微纳光学结构层34，在本实施例中，多边形柱棱镜单元30为正六边形柱棱镜31。正六边形柱棱镜31的横截面具有第一棱边311、第二棱边312、第三棱边313、第四棱边314、第五棱边315以及第六棱边316。光束的入射方向与正六边形柱棱镜31的轴向方向垂直，光束通过棱镜光束耦合器20从第一棱边311所在的侧面耦合到正六边形柱棱镜31内。金属层32贴覆在第二棱边312所在的侧面上，在第二棱边312下形成传感区域，大分子蛋白物质放置在金属层32上，光束照射在金属层32上时，与大分子蛋白物质发生作用，实现表面等离子体共振传感，并且光束在金属层32上发生全反射，在本实施例中，金属层32为50nm的金薄膜32。纳米颗粒层33贴覆在第三棱边313所在的侧面上，纳米颗粒层33为核壳结构，核壳结构包含金纳米层和包裹在金纳米层外的二氧化硅纳米层，光束在金薄膜32上发生全反射后，进入第三棱边313，在第三棱边313上的纳米颗粒层33发生全反射，同时，在纳米颗粒层33上构成激光拉曼激发，实现大分子蛋白物质的拉曼信号的增强。增强后的信号由外部检测部件采集。微纳光学结构层34贴覆在第四棱边314所在的侧面上，带有大分子蛋白物质光信息的光束在纳米颗粒层33发生全反射后，进入第四棱边314，在微纳光学结构层34上发生全反射，同时，在微纳光学结构层34上发生光场尺度压缩效应，得到超衍射极限光斑，实现超分辨图像传感，传感后的信息由外部检测部件采集。在本实施例中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种共振传感装置，用于检测被测样品的物质信息，其特征在于，包括：频率可调光源，用于发射多种单一频率的光束，所述频率可调光源为可调谐激光器或多波长激光器；多边形柱棱镜单元，包括边数至少为五的正多边形柱棱镜和依次设置在所述正多边形柱棱镜的不同棱边外侧的金属层、纳米颗粒层以及微纳光学结构层；光束耦合器，设置在所述正多边形柱棱镜的棱边外侧，用于对所述光束进行耦合，所述光束耦合器为棱镜光束耦合器、光栅光束耦合器以及微纳结构光束耦合器中的任意一种；以及光信息接收单元，用于接收从所述正多边形柱棱镜中射出的带有所述被测样品光信息的信息光场，所述光信息接收单元为光电二极管、光电倍增管以及雪崩二极管中的任意一种，其中，所述物质信息为折射率、浓度以及分子间作用力,所述被测样品放置在所述金属层的外侧，所述纳米颗粒层的纳米颗粒为核壳结构，用于增强所述被测样品的拉曼传感，所述核壳结构包含金纳米层以及包裹在所述金纳米层外的二氧化硅纳米层，所述微纳光学结构层，用于产生超分辨图像传感，为微纳米柱阵列或微纳米孔阵列，所述光束的入射方向与所述正多边形柱棱镜的轴向方向垂直，所述光束通过设置有所述光束耦合器的所述正多边形柱棱镜的侧面耦合到所述正多边形柱棱镜内，所述光束在所述金属层、所述纳米颗粒层、所述微纳光学结构层均发生全反射。...

【技术特征摘要】
1.一种共振传感装置，用于检测被测样品的物质信息，其特征在于，包括：频率可调光源，用于发射多种单一频率的光束，所述频率可调光源为可调谐激光器或多波长激光器；多边形柱棱镜单元，包括边数至少为五的正多边形柱棱镜和依次设置在所述正多边形柱棱镜的不同棱边外侧的金属层、纳米颗粒层以及微纳光学结构层；光束耦合器，设置在所述正多边形柱棱镜的棱边外侧，用于对所述光束进行耦合，所述光束耦合器为棱镜光束耦合器、光栅光束耦合器以及微纳结构光束耦合器中的任意一种；以及光信息接收单元，用于接收从所述正多边形柱棱镜中射出的带有所述被测样品光信息的信息光场，所述光信息接收单元为光电二极管、光电倍增管以及雪崩二极管中的任意一种，其中，所述物质信息为折射率、浓度以...

【专利技术属性】
技术研发人员：苗玉，王冠学，吴蓓，隋国荣，高秀敏，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：上海,31