【技术实现步骤摘要】
太阳能电池扩散用石英炉
本技术涉及一种太阳能电池扩散用石英炉。
技术介绍
晶硅太阳能电池生产工艺流程中,扩散工艺过程形成PN结,此工艺过程需要高的洁净度和长时间的高温通气体源过程,通常采用石英炉,炉管为石英材质,一端为炉尾,相对的另一端为炉口。硅片是相邻垂直在炉管内进行扩散。传统的石英炉如附图1至附图3所示,进气管2是短管,管体为光管(不带孔),连接在炉管1的炉尾的中心处(自进气插管11插入),尾气管3是长管,管体也为光管(不带孔),插入炉管内下方(自尾气插管12插入)。在扩散工艺运行过程中,气体源从炉尾进入炉管内,随气流往炉口进行扩散,废气从炉口处进入尾气管往外排出,这样导致硅片整面得不到均匀的扩散;扩散工艺结束后,硅片中间的方块电阻明显高于四边,很不均匀。
技术实现思路
为了解决上述问题,本技术的目的在于提供一种太阳能电池扩散用石英炉,改善硅片扩散方块电阻的均匀性。为了达到以上目的,本技术采用的技术方案是:一种太阳能电池扩散用石英炉,它包括炉管、自炉管的炉尾插入炉管内的进气管和尾气管,进气管和尾气管均平行于炉管的轴向设置。进气管插入炉管内的上部,尾气管插入炉管内的下部,进气管和尾气管的长度相同,进气管和尾气管上均开设有均匀分布的多个小孔,且从炉尾至炉口,小孔的尺寸由小变大。进一步地,从炉尾至炉口,多个小孔分为若干组,每组中的小孔尺寸相同,且从炉尾至炉口,各组的小孔尺寸由小变大。进一步地,进气管和尾气管均采用石英材料。进一步地,炉管的炉尾处具有进气插管和尾气插管,进气管自进气插管插入炉管内,尾气管自尾气插管插入炉管内。更进一步地,进气管和尾气管的一端均具有卡 ...
【技术保护点】
1.一种太阳能电池扩散用石英炉,它包括炉管(1)、自所述炉管(1)的炉尾插入炉管(1)内的进气管(2)和尾气管(3),所述进气管(2)和尾气管(3)均平行于炉管(1)的轴向设置,其特征在于:所述进气管(2)插入所述炉管(1)内的上部,所述尾气管(3)插入所述炉管(1)内的下部,所述进气管(2)和尾气管(3)的长度相同,所述进气管(2)和尾气管(3)上均开设有均匀分布的多个小孔(4),且从炉尾至炉口,所述小孔(4)的尺寸由小变大。
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池扩散用石英炉,它包括炉管(1)、自所述炉管(1)的炉尾插入炉管(1)内的进气管(2)和尾气管(3),所述进气管(2)和尾气管(3)均平行于炉管(1)的轴向设置,其特征在于:所述进气管(2)插入所述炉管(1)内的上部,所述尾气管(3)插入所述炉管(1)内的下部,所述进气管(2)和尾气管(3)的长度相同,所述进气管(2)和尾气管(3)上均开设有均匀分布的多个小孔(4),且从炉尾至炉口,所述小孔(4)的尺寸由小变大。2.根据权利要求1所述的太阳能电池扩散用石英炉,其特征在于:从炉尾至炉口,所述多个小孔(4)分为若干组,每组中的小孔(4)尺寸相同,且从炉尾至炉口,各组的小孔(4)尺寸由小变大。3.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:沈健锋,赵福祥,金起弘,
申请(专利权)人:韩华新能源启东有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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