【技术实现步骤摘要】
一种悬臂探针卡制作流转夹具
本技术涉及悬臂探针夹具
,具体为一种悬臂探针卡制作流转夹具。
技术介绍
众所周知,探针本质上是一种设备,其适于将微观结构(特别是集成在晶片上的电子器件)的多个接触垫电连接至执行其功能测试(即电测试或一般测试)的测试机的相应通道。现有技术的悬臂探针卡在制作时,其精度基准为背向探针面,而在测试使用时,所需要用的基准面为正向探针面,因此需要一种不但可解决基准不一致的问题,也方便制作人员能够快速装夹、拆卸,节省了时间,增加了制作效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种悬臂探针卡制作流转夹具,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种悬臂探针卡制作流转夹具,包括基座、固定锁紧块、H型基板、活动锁紧块和探针卡,所述基座两侧对称开设有定位螺纹孔,所述基座两侧中间设有预留槽口,所述预留槽口内部设有锁紧螺母,所述锁紧螺母上设有六角螺丝,所述基座内部中间设有第一凹槽,所述第一凹槽两侧对称开设有第二凹槽,所述第二凹槽上方设有活动锁紧块,所述活动锁紧块尾部设有导向槽,所述活动锁紧块顶端设有H型基板,所述H型基板左右两端分别固定在对称开设的第二凹槽上,所述H型基板包括上精磨顶板和下精磨顶板,所述上精磨顶板设在下精磨顶板上方,所述H型基板上方设有探针卡,所述H型基板左右两侧上方设有固定锁紧块,所述固定锁紧块上方开设有多个螺栓孔。优选的,所述基座采用一体式结构整体加工。优选的,所述上精磨顶板通过螺钉与下精磨顶板固定连接。优选的,所述固定锁紧块的长度大于H型基板左右两侧的长度,且所述固定锁紧块上的螺栓孔数量至少为3个。优选 ...
【技术保护点】
1.一种悬臂探针卡制作流转夹具,包括基座(1)、固定锁紧块(3)、H型基板(2)、活动锁紧块(4)和探针卡(7),其特征在于:所述基座(1)两侧对称开设有定位螺纹孔(9),所述基座(1)两侧中间设有预留槽口(12),所述预留槽口(12)内部设有锁紧螺母(11),所述锁紧螺母(11)上设有六角螺丝,所述基座(1)内部中间设有第一凹槽(8),所述第一凹槽(8)两侧对称开设有第二凹槽(5),所述第二凹槽(5)上方设有活动锁紧块(4),所述活动锁紧块(4)尾部设有导向槽(6),所述活动锁紧块(4)顶端设有H型基板(2),所述H型基板(2)左右两端分别固定在对称开设的第二凹槽(5)上,所述H型基板(2)包括上精磨顶板(14)和下精磨顶板(13),所述上精磨顶板(14)设在下精磨顶板(13)上方,所述H型基板(2)上方设有探针卡(7),所述H型基板(2)左右两侧上方设有固定锁紧块(3),所述固定锁紧块(3)上方开设有多个螺栓孔(10)。
【技术特征摘要】
1.一种悬臂探针卡制作流转夹具,包括基座(1)、固定锁紧块(3)、H型基板(2)、活动锁紧块(4)和探针卡(7),其特征在于:所述基座(1)两侧对称开设有定位螺纹孔(9),所述基座(1)两侧中间设有预留槽口(12),所述预留槽口(12)内部设有锁紧螺母(11),所述锁紧螺母(11)上设有六角螺丝,所述基座(1)内部中间设有第一凹槽(8),所述第一凹槽(8)两侧对称开设有第二凹槽(5),所述第二凹槽(5)上方设有活动锁紧块(4),所述活动锁紧块(4)尾部设有导向槽(6),所述活动锁紧块(4)顶端设有H型基板(2),所述H型基板(2)左右两端分别固定在对称开设的第二凹槽(5)上,所述H型基板(2)包括上精磨顶板(14)和下精磨顶板(13),所述上精磨顶板(14)设在下精磨顶板(13)上方,所述H型基板(2)上方设有探针卡(7),所述H型基...
【专利技术属性】
技术研发人员:尹斌,
申请(专利权)人:苏州矽利康测试系统有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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