兆声清洗装置的喷管及用于晶圆清洗的兆声清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种兆声清洗装置的喷管及用于晶圆清洗的兆声清洗装置。喷管的一端引入流体，喷管的另一端用于将流体导流到旋转的工件上，喷管包括：共用管体；喷头，喷头连接在共用管体的一端，喷头朝向工件表面设置；液体进管，液体进管连接在共用管体上以导入液体，液体进管包括：用于导入去离子水的第一进液管和用于导入清洗液的第二进液管；气体进管，气体进管连接在共用管体上以导入干燥气体。根据本实用新型专利技术的喷管，可避免多根流体喷管安装难题，保证每种引入的流体都能在清洗时可以过工件的旋转中心，且集成设置简化了结构。先用液体清洗后用气体干燥工件，气体对共用管体及喷头进行了干燥，避免工件干燥后喷管上还有液滴滴到工件上。

【技术实现步骤摘要】
兆声清洗装置的喷管及用于晶圆清洗的兆声清洗装置
本技术涉及半导体晶圆加工设备领域，尤其涉及一种兆声清洗装置的喷管及用于晶圆清洗的兆声清洗装置。
技术介绍
相关文件公开的半导体晶圆加工的技术中，晶圆在进行甩干时，需要先用去离子水润湿清洗晶圆表面，然后用气体吹干晶圆表面。在用气体吹干晶圆表面时，去离子水管道可能有水滴再溅到晶圆吹干后的表面，形成水痕，影响晶圆干燥质量。而且，由于每种流体都通过各自的一根管道导向晶圆表面，各流体喷口都需要过晶圆中心。但是实际上，各喷口流体落点不相同，甚至不在同一圆周上，因此无论喷口平移或是摆动，都很难保证均过晶圆中心。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种兆声清洗装置的喷管，所述喷管的清洗效果好。本技术还旨在提出一种包含上述喷管的用于晶圆清洗的兆声清洗装置。根据本技术实施例的兆声清洗装置的喷管，所述喷管的一端引入流体，所述喷管的另一端用于将所述流体导流到旋转的工件上，所述喷管包括：共用管体；喷头，所述喷头连接在所述共用管体的一端，所述喷头朝向所述工件表面设置；液体进管，所述液体进管连接在所述共用管体上以导入液体，其中，所述液体进管包括：用于导入去离子水的第一进液管和用于导入清洗液的第二进液管；气体进管，所述气体进管连接在所述共用管体上以导入干燥气体。根据本技术实施例的兆声清洗装置的喷管，通过将多根流体喷管集成为一根喷管，一方面避免多根流体喷管存在的安装难题，保证每种引入的流体都能在清洗时可以过工件的旋转中心，另一方面集成结构有减少了零件数量，降低了装配难度。另外，当先用液体清洗后用气体干燥工件时，气体对共用管体及喷头也进行了干燥，避免工件干燥后喷管上还有液滴滴到工件表面。具体地，所述第二进液管为多根以分别导入多种清洗液。可选地，所述共用管体、所述液体进管和所述气体进管均为圆管。进一步地，所述共用管体、所述液体进管和所述气体进管的管截面面积均相等。在一些实施例中，所述液体进管和所述气体进管中的一根与所述共用管体同轴设置，另一根形成弯管以与所述共用管体相连。具体地，所述共用管体的延伸方向与所述工件的旋转轴相垂直。在一些实施例中，所述喷头为喷射方向可调的活动头。在一些实施例中，所述喷管还包括旋转头，所述旋转头连接在所述共用管体上使所述共用管体可转动。根据本技术实施例的用于晶圆清洗的兆声清洗装置，包括：喷管，所述喷管为根据上述实施例所述的兆声清洗装置的喷管。由于具有前文所述的喷管，解决了多根流体喷管无法均过晶圆圆心的难题，另一方面多根流体喷管的高度集成化有利于减少零件数量、降低装配难度。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是本技术一个实施例的兆声清洗装置的喷管的整体结构示意图。图2是本技术另一个实施例的兆声清洗装置的喷管的整体结构示意图。图3是本技术实施例的晶圆清洗装置与晶圆的位置关系图。附图标记：喷管100、共用管体110、喷头120、液体进管130、第一进液管131、第二进液管132、气体进管140、旋转头150、晶圆300。具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面参考图1-图3描述根据本技术实施例的兆声清洗装置的喷管100。根据本技术实施例的兆声清洗装置的喷管100，如图3所示，喷管100的一端引入流体，喷管100的另一端用于将流体导流到旋转的工件上，而且本技术中的喷管100是将现有技术中公开的多根流体喷管的结构集成为一根。具体地，如图1所示，喷管100包括：共用管体110、喷头120、液体进管130、气体进管140，喷头120连接在共用管体110的一端，喷头120朝向工件表面设置，液体进管130连接在共用管体110上以导入液体，气体进管140连接在共用管体110上以导入干燥气体。也就是说，喷管100既可以用来喷液体，又可以用来喷气体。可以理解的是，在兆声清洗装置中，工件安装在清洗台上，清洗台带动工件旋转，工件具有旋转轴。在清洗过程中，工件一边旋转，喷头120一边由工件的旋转中心(旋转轴所在位置)向工件边缘移动，或者喷头120由工件边缘向工件旋转中心移动，每移动一次后工件旋转一圈或者多圈，以使工件表面每一处都能被流体喷到。在本技术实施例中，工件清洗的不同工序中均可以使用到喷管100，在需要液体浸润冲击时用到液体进管130，而液体清洗完毕后再用到气体进管140，利用干燥气体使工件表面迅速干燥。具体地，液体进管130用于导入兆声流体，兆声清洗装置中利用兆声波发生器产生的兆声波，使由喷管100喷出的兆声流体对应带上兆声波能量，将正在清洗台上旋转的工件上的污染物击散。在合理设置兆声波参数及流体水压时，兆声波能量可以将污染物击穿气化，清洗效果显著。液体进管130可以根据需要选择合适的液体导入，液体进管130可以是一根，也可以是多根。有的实施例中，液体进管130包括用于导入去离子水的第一进液管131，这样喷头120可以用来喷去离子水，清洁度高不会在工件表面留下结晶。有的实施例中，液体进管130包括：用于导入清洗液的第二进液管132，这样喷头120可以用来喷清洗液，清洗液是洗涤剂溶液，从而利用物理溶解或者化学反应合理去污。有的实施例中，第二进液管132为多根，以分别导入多种清洗液，这样不同的清洗液含有不同的洗涤剂，可以去除污渍中不同的成份。根据本技术实施例的兆声清洗装置的喷管100，通过将多根流体喷管集成为一根喷管100，一方面避免多根流体喷管存在的安装难题，保证每种引入的流体都能在清洗时可以过工件的旋转中心，另一方面集成设计简化了结构。另外，当先用液体清洗后用气体干燥工件时，气体对共用管体110及喷头120也进行了干燥，避免工件干燥后喷管100上还有液滴滴到工件表面。可选地，共用管体110、液体进管130和气体进管140均为圆管，圆管设计一方面加工方便，而且便于接管，另一方面流体在周向上均匀。进一步地，共用管体110、液体进管130和气体进管140的管截本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种兆声清洗装置的喷管，所述喷管的一端引入流体，所述喷管的另一端用于将所述流体导流到旋转的工件上，其特征在于，所述喷管包括：共用管体；喷头，所述喷头连接在所述共用管体的一端，所述喷头朝向所述工件表面设置；液体进管，所述液体进管连接在所述共用管体上以导入液体，其中，所述液体进管包括：用于导入去离子水的第一进液管和用于导入清洗液的第二进液管；气体进管，所述气体进管连接在所述共用管体上以导入干燥气体。

【技术特征摘要】
1.一种兆声清洗装置的喷管，所述喷管的一端引入流体，所述喷管的另一端用于将所述流体导流到旋转的工件上，其特征在于，所述喷管包括：共用管体；喷头，所述喷头连接在所述共用管体的一端，所述喷头朝向所述工件表面设置；液体进管，所述液体进管连接在所述共用管体上以导入液体，其中，所述液体进管包括：用于导入去离子水的第一进液管和用于导入清洗液的第二进液管；气体进管，所述气体进管连接在所述共用管体上以导入干燥气体。2.根据权利要求1所述的兆声清洗装置的喷管，其特征在于，所述第二进液管为多根以分别导入多种清洗液。3.根据权利要求1所述的兆声清洗装置的喷管，其特征在于，所述共用管体、所述液体进管和所述气体进管均为圆管。4.根据权利要求1所述的兆声清洗装置的喷管，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘卫国，许振杰，王同庆，路新春，
申请(专利权)人：清华大学，天津华海清科机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11