多晶硅片制绒装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种多晶硅片制绒装置及方法，包括制绒槽（1）以及设置在制绒槽内用于带动硅片移动的移动辊（2），所述制绒槽底部靠近硅片进入位置设有回流管（3），所述制绒槽底部靠近硅片退出位置设有进液管（4），且所述制绒槽的硅片进入位置以及硅片退出位置处设有用于阻挡药液流出的挡液轮（5）。这种多晶硅制绒装置及方法制绒效果较好。

【技术实现步骤摘要】
多晶硅片制绒装置及方法
本专利技术涉及太阳能电池制备
，尤其涉及一种多晶硅片制绒装置及方法。
技术介绍
目前多晶硅片制绒一般采用链式设备进行，硅片行进至制绒槽，与氢氟酸、硝酸和水的混合液进行反应，去除硅片表面由于切割引入的损伤层，形成2um左右的微型凹坑即绒面，在硅片表面起到陷光作用，降低了硅片表面的反射率，有利于电池效率的提升。硅片与氟酸、硝酸反应是放热反应，过程中放出大量的热量，温度越高反应越剧烈，同时与药液的浓度也有关，浓度越高反应也越剧烈。制绒槽通过药液循环与制冷剂热交换进行降温，比较理想的状态是药液温度可控，药液反应平稳均匀，这样形成的绒面也比较均匀，色差比例低，电池效率也比较高。多晶链式制绒设备，一般采用5道、8道或10道，带速通常在1.5-3.0m/min之间，随着设备产能增加，带速不断提高，出现了制绒槽制绒反应不均匀的情况，主要表现为：第一，多晶硅片进液端和出液端有明显的绒面差异，造成了绒面色差异常；第二，各道之间多晶硅片的绒面有差异，造成后道镀膜工序硅片颜色偏差较大，颜色不集中。绒面的好坏，和制绒槽的进液方式和反应方式有很大的关系。目前，在用链式制绒设备的制绒槽是采用6根进液管，6根回流管的交替排布方式置于制绒槽底部，进液管的轴线方向与硅片行进方向垂直，进液管和回流管就近进行药液交换，局部进行循环。硅片在进入前半槽时，由于表面有大量的损伤层，反应剧烈，放出大量的热量，温度高也加剧了反应快速进行，整个反应很剧烈，速度很快，很不均匀；当硅片逐渐进入后半槽时，表面损伤层基本已经去除，反应比较微弱，放热量不大，药液温度较低，反应较慢。此种方式前半制绒槽反应剧烈，后半制绒槽反应比较微弱，前后制绒槽药液反应差异较大，极易造成绒面不均匀、色差偏高等不良。另外，此种进液、回流布管结构和方式，回流管和进液管距离较近，就近进行内循环，药液循环很不充分，不利于整个制绒槽药液的反应均匀。
技术实现思路
本专利技术所要解决的一个技术问题是：提供一种制绒效果较好的多晶硅片制绒装置。本专利技术所采用的技术方案是：一种多晶硅片制绒装置，包括制绒槽以及设置在制绒槽内用于带动硅片移动的移动辊，所述制绒槽底部靠近硅片进入位置设有回流管，所述制绒槽底部靠近硅片退出位置设有进液管，且所述制绒槽的硅片进入位置以及硅片退出位置处设有用于阻挡药液流出的挡液轮。它还包括控制器，且所述进液管以及回流管内均设有控制阀，所述控制阀均与控制器电连接。所述制绒槽内设有液位检测模块，所述液位检测模块与控制器电连接。所述制绒槽外部还分别设有用于检测进入制绒槽前的硅片重量的第一重量检测模块以及用于检测退出制绒槽后的硅片重量的第二重量检测模块，所述第一重量检测模块以及第二重量检测模块均与控制器电连接。它还包括加液容器以及用于向加液容器内加入药液的加液装置，所述加液装置与控制器电连接，且所述加液管均与加液容器连通。采用以上结构与现有技术相比，本专利技术具有以下优点：在制绒槽前部设置回流管，在容置槽后部设置进液管，这样药液可以在制绒槽内形成循环，使得硅片进入药液后，由于药液由后半槽流过来，已经参与了硅片反应，药液浓度降低，反应平稳，反应温度可以得到很好的控制，这样前半槽反应也比较均匀；当硅片进入后半槽后，虽然硅片表面的损伤层已基本被去除，但由于接触的是新药液，药液浓度高，硅片药液反应继续平稳进行。这样硅片在制绒槽的整个行进过程中，反应平稳，药液循环充分，最终的绒面比较均匀，色差比例较低。而且设置了挡液轮，使得药液不容易从两侧流出，进而使得药液的循环效果更好，进一步使得最终成型的绒面比较均匀，色差比例较低。并且在每个进液管以及回流管上设置了控制阀，这样可以更加精确的控制进液量与出液量。设置液位检测模块，这样可以更加精确的控制制绒槽内的液位，进而使得硅片与药液的反应效果更好。设置两个重量检测模块，可以检测到硅片进入药液前的重量与进入药液后的重量，然后根据两者的重量之差来判断反应效果如何。设置加液装置，这样可以通过控制加液装置来控制向加液容器内加入的药液的多少，进而控制加入到制绒槽内的药液的浓度大小。本专利技术所要解决的另一个技术问题是：提供一种制绒效果较好的多晶硅片制绒方法。本专利技术所采用的另一种技术方案是：一种多晶硅片制绒方法，它包括以下步骤：S1、首先控制进液管与回流管内的控制阀打开，使药液在制绒槽内形成一个循环，然后控制移动辊工作带动硅片移动；S2、液位检测模块开始检测制绒槽液位，同时第一重量检测模块以及第二重量检测模块开始检测硅片重量，当检测到的液位处于设定的阈值X和Y之间，则继续进行检测；若检测到的液位小于阈值X，则控制进液管内的控制阀，使得进液管的进液量加大，然后继续检测；若检测到的液位大于阈值Y，则控制进液管内的控制阀，使得进液管的进液量减小，然后继续检测；当第一重量检测模块检测到的硅片重量与设定的Z时间后第二重量检测模块检测到这块硅片的重量之差处于设定的阈值A和B之间，则继续进行检测；若检测到的重量之差小于阈值A，则调高制绒槽内的药液浓度，然后继续检测；若检测到的重量之差大于阈值B，则降低制绒槽内的药液浓度，然后继续检测。步骤S1中用户先控制前面至少两根回流管的控制阀打开，然后控制其余的回流管关闭，同时控制后面至少两根进液管打开，然后控制其余的进液管关闭。步骤S2中使进液管液量加大还可以通过打开之前关闭的进液管来实现，使进液管液量减少还可以通过关闭之前打开的进液管来实现。步骤S2中调节制绒槽内药液浓度主要通过控制加液装置的加液量来进行控制。采用以上方法与现有技术相比，本专利技术具有以下优点：通过实时检测液位高度来调整制绒槽的液位高度，并且通过检测硅片进入药液前后的重量之差来调整药液的浓度，这样能更好的形成一个最优的反应条件，进而使得最终成型的绒面比较均匀，色差比例较低。附图说明图1为本专利技术多晶硅片制绒装置的俯视结构示意图。图2为本专利技术多晶硅片制绒装置的侧视结构示意图。如图所示：1、制绒槽；2、移动辊；3、回流管；4、进液管；5、档液轮；6、第一重量检测模块；7、第二重量检测模块。具体实施方式以下结合附图与具体实施方式对本专利技术做进一步描述，但是本专利技术不仅限于以下具体实施方式。具体实施例一，一种多晶硅片制绒装置包括制绒槽1，制绒槽1底部前半部设有三个回流管3，制绒槽1底部后半部设有三个进液管4，其中在进液管4上设有控制阀，并且还包括控制器，控制阀与控制器电连接，回流管3上设有回流孔，在制绒槽1内还设有多组移动辊2，移动辊2是分成上下两组，中间供硅片设置，通过上下两组移动辊2带动硅片在制绒槽1内水平移动，并且在制绒槽1两端还设有挡液轮5，在制绒槽1两端外部设有分别设有第一重量检测模块6以及第二重量检测模块7，在制绒槽1内还液位检测模块，且第一重量检测模块6、第二重量检测模块7以及液位检测模块均与控制器电连接。控制时，首先是将进液管4以及回流管3上的控制阀打开，然后对进液管4进行流量调整，调整范围是20-30L/min，本具体实施例调整为25L/min，调整回流管3上的回流孔为1/2开孔，并且设定硅片的液位优选为5-15mm，这样当液位检测模块检测到的液位在这个范围内时，不需要进行调整，当液位检测模块检测液位小于5mm时，则判断此时药液太少，需要加大进液管4的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅片制绒装置，包括制绒槽（1）以及设置在制绒槽内用于带动硅片移动的移动辊（2），其特征在于：所述制绒槽底部靠近硅片进入位置设有回流管（3），所述制绒槽底部靠近硅片退出位置设有进液管（4），且所述制绒槽的硅片进入位置以及硅片退出位置处设有用于阻挡药液流出的挡液轮（5）。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅片制绒装置，包括制绒槽（1）以及设置在制绒槽内用于带动硅片移动的移动辊（2），其特征在于：所述制绒槽底部靠近硅片进入位置设有回流管（3），所述制绒槽底部靠近硅片退出位置设有进液管（4），且所述制绒槽的硅片进入位置以及硅片退出位置处设有用于阻挡药液流出的挡液轮（5）。2.根据权利要求1所述的多晶硅片制绒装置，其特征在于：它还包括控制器，且所述进液管（4）以及回流管（3）内均设有控制阀，所述控制阀均与控制器电连接。3.根据权利要求2所述的多晶硅片制绒装置，其特征在于：所述制绒槽（1）内设有液位检测模块，所述液位检测模块与控制器电连接。4.根据权利要求2所述的多晶硅片制绒装置，其特征在于：所述制绒槽外部还分别设有用于检测进入制绒槽前的硅片重量的第一重量检测模块（6）以及用于检测退出制绒槽后的硅片重量的第二重量检测模块（7），所述第一重量检测模块（6）以及第二重量检测模块（7）均与控制器电连接。5.根据权利要求2所述的多晶硅片制绒装置，其特征在于：它还包括加液容器以及用于向加液容器内加入药液的加液装置，所述加液装置与控制器电连接，且所述加液管均与加液容器连通。6.一种多晶硅片制绒方法，其特征在于：它包括以下步骤：S1、首先控制进液管与回流管内的控制阀打开，使药液在制绒槽内形成一个循环，然后控制移...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡二辉，刘晓巍，徐晓群，
申请(专利权)人：宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33