【技术实现步骤摘要】
一种自动寻焦方法
本专利技术涉及一种自动寻焦方法,具体运用在激光加工的同时判定样品是否在激光聚焦镜的焦平面上的方法,属于激光加工
技术介绍
随着电子器件的微型化和精密化,以及激光器日新月异的快速发展,激光加工技术越来越被市场所接受。因此研究激光加工技术和激光加工工艺显得十分重要。在使用激光研究或加工的时候,最主要的就是使用聚焦镜将激光聚焦到焦平面上,使得激光的光斑质量最好,激光光斑半径最小。如果样品偏离焦平面,激光在样品上的光斑直径将明显变大,同时会因为光路中引入的各种像差,使得激光光斑变形,聚焦在样品表面上的能量分布不均,影响加工水平或实验结果。一般寻找焦平面的方法都只是间接方法。通常是在不同加工高度,在样品上打点或者划线,通过比对点的大小或线的粗细来判断焦点位置。这种寻焦的方法既费时又费材料,且精度不高,可重复性差。
技术实现思路
基于上述情况,人们急需找到一种能够不损伤样品,快速和精准的自动寻焦方法,来代替原有的焦平面寻找方法。为了满足以上所述的需要,本专利技术设计了一种自动寻焦方法。一种自动寻焦方法,采用的装置,包括:平行光的入射激光(1)入射到第一反射镜(2)。入射激光(1)大部分能量经第一反射镜(2)的下表面反射到聚焦镜(3),并被聚焦到样品(5)上;样品(5)被激光照射后,在吸收部分能量的同时,样品(5)还反射回部分激光,称为第一反射激光(4);第一反射激光(4)经过聚焦镜(3)聚焦后回到第一反射镜(2);同时,入射激光(1)在入射到第一反射镜(2)的下表面后,少部分能量会透过第一反射镜(2),并入射到第二反射镜(6),经第二反射镜(6 ...
【技术保护点】
1.一种自动寻焦方法,其特征在于,采用的装置,包括:平行光的入射激光(1)入射到第一反射镜(2)。入射激光(1)大部分能量经第一反射镜(2)的下表面反射到聚焦镜(3),并被聚焦到样品(5)上;样品(5)被激光照射后,在吸收部分能量的同时,样品(5)还反射回部分激光,称为第一反射激光(4);第一反射激光(4)经过聚焦镜(3)聚焦后回到第一反射镜(2);同时,入射激光(1)在入射到第一反射镜(2)的下表面后,少部分能量会透过第一反射镜(2),并入射到第二反射镜(6),经第二反射镜(6)返回,称为第二反射激光(7),第二反射激光(7)仍然为平行光,第二反射激光(7)与第一反射激光(4)重合在第一反射镜(2)的上表面,并一同反射进入CCD面阵相机(9),形成干涉条纹;其中第二反射镜(6)和CCD面阵相机(9)在第一反射镜(2)的上表面侧,入射激光(1)、聚焦镜(3)、样品(5)在第一反射镜(2)的下表面侧;第一反射镜(2)为能够透射的反射镜,第一反射镜(2)上下表面平行,第二反射镜(6)为平面反射镜;实现自动寻焦的具体步骤为:第一步、如果入射激光(1)为超短脉冲,则应调整第二反射镜(6),使成 ...
【技术特征摘要】
1.一种自动寻焦方法,其特征在于,采用的装置,包括:平行光的入射激光(1)入射到第一反射镜(2)。入射激光(1)大部分能量经第一反射镜(2)的下表面反射到聚焦镜(3),并被聚焦到样品(5)上;样品(5)被激光照射后,在吸收部分能量的同时,样品(5)还反射回部分激光,称为第一反射激光(4);第一反射激光(4)经过聚焦镜(3)聚焦后回到第一反射镜(2);同时,入射激光(1)在入射到第一反射镜(2)的下表面后,少部分能量会透过第一反射镜(2),并入射到第二反射镜(6),经第二反射镜(6)返回,称为第二反射激光(7),第二反射激光(7)仍然为平行光,第二反射激光(7)与第一反射激光(4)重合在第一反射镜(2)的上表面,并一同反射进入CCD面阵相机(9),形成干涉条纹;其中第二反射镜(6)和CCD面阵相机(9)在第一反射镜(2)的上表面侧,入射激光(1)、聚焦镜(3)、样品(5)在第一反射镜(2)的下表面侧;第一反射镜(2)为能够透射的反射镜,第一反射镜(2)上下表面平行,第二反射镜(6)为平面反射镜;实现...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘富荣,韩钊,韩伟娜,李文强,张永志,韩刚,郭继承,黄引,韩子豪,孙腾,李玉,陈清远,
申请(专利权)人:北京工业大学,
类型:发明
国别省市:北京,11
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