【技术实现步骤摘要】
用于绝对检测的大口径光学平面镜的旋转装置
本专利技术属于光学测量领域,特别是一种用于绝对检测的大口径光学平面镜的旋转装置。
技术介绍
随着科学技术的不断发展,受天文及空间光学、惯性约束聚变装置、测风激光雷达以及深紫外、极紫外光刻机等项目的驱动,现代光学元件制造技术向着以多功能、精密化为特点的大型甚至巨型光学系统方向发展,高精度光学元件的需求日益增加。传统的大口径光学平面检测方法主要是使用干涉相对测量法,该方法检测精度受干涉仪自身参考面形精度的制约,特别是当待测大口径高精度平面元件面形PV优于0.1λ时(λ=632.8nm),参考面引入的系统误差不能再忽略,因此需要研究更高精度的方法来标定和消除。绝对检测法就是一种能够实现将参考平面误差从测量结果中分离出去,从而得到被测元件绝对面形的方法,可实现纳米精度的面形测量,逐渐成为光学检测的关键技术。在已有的高精度绝对检测技术中,基本都需要对待测的平面进行旋转的操作,小口径平面旋转的装置国内外已有成熟商用的产品,而对于大口径平面的旋转装置还未有文献报道,大口径光学平面的旋转方法已成为制约大口径光学平面绝对检测的关键技术瓶颈。美国Zygo公司已成功建立用于自己生产的大口径干涉仪标准面的绝对测量装置,一直致力于大口径高精度平面国家基准的建立,且所采用的绝对测量技术和装置对国内进行技术封锁。中国专利申请号“CN201510962258.4”和“CN201510962238.7”专利技术了旋转平移绝对检测法中确定光学元件中心的装置及方法,该装置涉及高精度球面面形检测加工领域,但仅适用于小口径球面元件在绝对测量过程中的旋转。专 ...
【技术保护点】
1.一种用于绝对检测的大口径光学平面镜的旋转装置,其特征在于,所述的旋转装置包括升降转动机构、吊装旋转机构和镜框;所述的镜框由后平板(9)和前平板(10)相互平行并通过四周的多根限位连接杆(15)连接构成;所述的升降转动机构包括蝶形螺母(1)、第一平板(2)、支撑杆(3)、支撑平板(4)、转动手轮(5)、软齿同步带(6)、底板(7)和转动轴(8);所述的第一平板(2)、支撑平板(4)和底板(7)自上而下相互平行通过多根支撑杆(3)链接在一起,所述的蝶形螺母(1)通过中心的支撑杆(3)与第一平板(2)和支撑平板(4)相连,所述的转动轴(8)通过螺丝水平地固定在所述的支撑平板(4)的下表面,所述的转动手轮(5)固定在转动轴(8)的外端,所述的底板(7)通过螺丝固定在镜框的顶部;所述的吊装旋转机构包括支撑块(11)、承重钢丝(12)、链条(13)、圆柱形塑料滚轮(14)、大口径平面镜(16);两支撑块(11)固定在所述的后平板(9)和前平板(10)构成的两上边角的凹槽中,所述的链条(13)由若干个圆柱形塑料滚轮(14)构成,两条承重钢丝(12)的上端连接在所述的两支撑块(11)上,承重钢丝( ...
【技术特征摘要】
1.一种用于绝对检测的大口径光学平面镜的旋转装置,其特征在于,所述的旋转装置包括升降转动机构、吊装旋转机构和镜框;所述的镜框由后平板(9)和前平板(10)相互平行并通过四周的多根限位连接杆(15)连接构成;所述的升降转动机构包括蝶形螺母(1)、第一平板(2)、支撑杆(3)、支撑平板(4)、转动手轮(5)、软齿同步带(6)、底板(7)和转动轴(8);所述的第一平板(2)、支撑平板(4)和底板(7)自上而下相互平行通过多根支撑杆(3)链接在一起,所述的蝶形螺母(1)通过中心的支撑杆(3)与第一平板(2)和支撑平板(4)相连,所述的转动轴(8)通过螺丝水平地固定在所述的支撑平板(4)的下表面,所述的转动手轮(5)固定在转动轴(8)的外端,所述的底板(7)通过螺丝固定在镜框的顶部;所述的吊装旋转机构包括支撑块(11)、承重钢丝(12)、链条(13)、圆柱...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘世杰,周游,白云波,潘靖宇,王微微,吴福林,邵建达,
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所,
类型:发明
国别省市:上海,31
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