本实用新型专利技术提供一种固定式半导体电阻率测试装置，包括：操作台，操作台顶部设有操作台面，操作台底部设有支腿；操作台内部设有PC机安置柜，半导体电阻率测试仪安置柜以及第一半导体材料安置柜，第二半导体材料安置柜；操作台的侧部设有电源线通孔；在对流水作业，或者大量生产的状态，可以将操作台设置在生产现场或者便于测试的位置，显示器，半导体电阻率测试仪均安置到操作台面上，这样便于对半导体材料，或半导体材料的延伸产品进行测试。操作台面上还可以设置放置半导体材料，或半导体材料的延伸产品的位置，这样可以将测试前和测试后的产品依次排列放置。这给测试带来便捷，提升测试效率。
【技术实现步骤摘要】
一种固定式半导体电阻率测试装置
本技术涉及半导体电阻率测试领域，尤其涉及一种固定式半导体电阻率测试装置。
技术介绍
随着科技的创新，半导体材料以及半导体材料的延伸产品得到长足的发展，，半导体材料以及半导体材料的延伸产品不断出现性能更高的产品。当然半导体材料以及半导体材料的延伸产品的发展，也使得对半导体材料以及半导体材料的延伸产品的质量和工艺提出了更高的要求，对半导体材料以及半导体材料的延伸产品的电阻率检测是不可或缺的关键步骤。通常电子器件在生产制造过程中，均是流水作业，或者大量生产的。在对半导体材料进行检测时通常也需要一定的空间和环境。目前，专利号申请号为：201710084825X，公开了一种便携式半导体非接触电阻率测试仪及使用方法，该测试仪虽然方便携带，但是在每次使用中需要找到一个良好的固定位置，不仅要固定仪器，还要固定待测试的半导体材料，或半导体材料的延伸产品，才能进行检测，这给测试带来不便，而且这样无法满足流水作业，或者大量生产的状态。便携式半导体非接触电阻率测试公开的内容中对信号的处理中，正弦信号发生器发送的信号分别发出方波信号和正弦波信号，在经过后续元件处理后对半导体进行电阻率测试，这种测试过程，容易增加发生信号的失真度，影响测量准确度。
技术实现思路
为了克服上述现有技术中的不足，本技术提供一种固定式半导体电阻率测试装置，包括：操作台，操作台顶部设有操作台面，操作台底部设有支腿；操作台内部设有PC机安置柜，半导体电阻率测试仪安置柜以及第一半导体材料安置柜，第二半导体材料安置柜；操作台的侧部设有电源线通孔；PC机安置柜，半导体电阻率测试仪安置柜，第一半导体材料安置柜，第二半导体材料安置柜均设有柜门；操作台面安置有显示器以及用于检测半导体电阻率的半导体电阻率测试仪；PC机安置柜内部安置有PC主机，PC主机与显示器连接；半导体电阻率测试仪包括：壳体，壳体内部设有测试组件，壳体表面设有显示模块，测试控制开关，探测针插置孔组以及参数调节开关；测试组件包括：信号发生器，第一运算放大器，第二运算放大器，第三运算放大器，第一二极管消波电路，第二二极管消波电路，恒流源电路，第一乘法器，第二乘法器，AD转换模块以及单片机；测试控制开关的输出端，信号发生器的输入端，AD转换模块的输出端，显示模块输入端以及参数调节开关的输出端分别与单片机连接；信号发生器的输出端分别与第一运算放大器的输入端，第二运算放大器的输入端以及第三运算放大器的输入端连接；第一运算放大器的输出端与第一二极管消波电路的输入端连接，第一二极管消波电路的输出端与第一乘法器的第一输入端连接，第一乘法器的输出端与AD转换模块第一输入端连接；第二运算放大器的输出端与恒流源电路输入端连接，恒流源电路输出端与探测针插置孔组连接，探测针插置孔组输出端分别与第一乘法器的第二输入端和第二乘法器的第二输入端连接；第三运算放大器的输出端与第二二极管消波电路的输入端连接，第二二极管消波电路的输出端与第二乘法器的第一输入端连接，第二乘法器的输出端与AD转换模块第二输入端连接。优选地，第一半导体材料安置柜内部设有用于放置半导体材料的多层安置架以及用于对安置架上半导体材料进行加热烘干的第一加热丝；第一半导体材料安置柜的门框设有第一方形凸沿，第一方形凸沿向第一半导体材料安置柜外部凸出，第一半导体材料安置柜的柜门设有第一门板，第一门板的边部设有与第一方形凸沿相适配的第一方形凹沿；第一方形凹沿卡合在第一方形凸沿上；第一门板上设有两个把手。优选地，PC机安置柜内部安置有PC主机，PC主机与显示器连接；半导体电阻率测试仪安置柜的底部铺设有防震垫。优选地，单片机采用AT89S52单片机，或采用STM32单片机；AD转换模块采用AD7705AD转换器；第一乘法器和第二乘法器均采用MC1496；信号发生器采用型号GFG-8210，参数：频率范围：0.1Hz～10MHz；波形：正弦波,三角波,方波,Ramp,TTL和CMOS输出；二段式固定衰减器(-20dBx2)以及可调式衰减器；内建6位数高解析度计数器,可测频率范围达150MHz；或信号发生器采用型号81180A，参数：双通道，4.2GHz采样率，12bit合成精度；负载为50欧姆时，输出电压峰峰值2V；根据内存数据合成任意波形；基本函数发生功能；相位，延迟可调。优选地，半导体电阻率测试仪包括：单片机，10/100M网络接口，USB接口，RJ45网口，RS232串口，半导体电阻率测试仪内置Linux操作系统；10/100M网络接口，console口，USB接口，RJ45网口，RS232串口分别与单片机连接；PC主机设有console口，USB接口，RJ45网口，RS232串口，CPU，主板，内存，硬盘，人机交互装置以及PC电源；USB接口，RJ45网口，RS232串口，CPU，内存，硬盘均设置在主板上，console口，USB接口，RJ45网口，RS232串口，内存，硬盘以及人机交互装置分别与CPU连接；PC机安置柜内设有路由器；半导体电阻率测试仪和PC主机分别连接路由器，半导体电阻率测试仪和PC主机通过路由器通信连接，使半导体电阻率测试仪检测的数据信息传送至PC主机，PC主机将检测的半导体电阻率数据信息存储在硬盘中，并通过显示器显示。优选地，第一半导体材料安置柜的柜门与第一半导体材料安置柜的门框通过卡扣相互扣合连接；或，第一半导体材料安置柜的柜门与第一半导体材料安置柜的门框通过过盈配合连接。从以上技术方案可以看出，本技术具有以下优点：显示器，半导体电阻率测试仪均安置到操作台面上，这样便于对半导体材料，或半导体材料的延伸产品进行测试，而且通过显示器和半导体电阻率测试仪观测测试数据，同时PC主机可以储存测试数据，便于后续查询。在对流水作业，或者大量生产的状态，可以将操作台设置在生产现场或者便于测试的位置，显示器，半导体电阻率测试仪均安置到操作台面上，这样便于对半导体材料，或半导体材料的延伸产品进行测试。操作台面上还可以设置放置半导体材料，或半导体材料的延伸产品的位置，这样可以将测试前和测试后的产品依次排列放置。这给测试带来便捷，提升测试效率。而且在进行测试时，半导体电阻率测试仪通过探针获取到测试数据后，基于信号发生器发出的信号，通过运算放大器进行放大处理，二极管消波电路进行消波处理后，与测试信号通过乘法器处理。这样使信号具有上下限位，减少失真度，提升了测量准确度。附图说明为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为固定式半导体电阻率测试装置整体示意图；图2为测试组件示意图；图3为第一半导体材料安置柜的门框与柜门配合示意图。具体实施方式为使得本技术的目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本具体实施例中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而非全部的实施例。基于本专利中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种固定式半导体电阻率测试装置，其特征在于，包括：操作台(1)，操作台(1)顶部设有操作台面(2)，操作台(1)底部设有支腿(3)；操作台(1)内部设有PC机安置柜(4)，半导体电阻率测试仪安置柜(5)以及第一半导体材料安置柜(6)，第二半导体材料安置柜(7)；操作台(1)的侧部设有电源线通孔(8)；PC机安置柜(4)，半导体电阻率测试仪安置柜(5)，第一半导体材料安置柜(6)以及第二半导体材料安置柜(7)均设有柜门；操作台面(2)安置有显示器(31)以及用于检测半导体电阻率的半导体电阻率测试仪(32)；PC机安置柜(4)内部安置有PC主机，PC主机与显示器(31)连接；半导体电阻率测试仪(32)包括：壳体(43)，壳体(43)内部设有测试组件，壳体表面设有显示模块(16)，测试控制开关(42)，探测针插置孔组(41)以及参数调节开关(45)；测试组件包括：信号发生器(21)，第一运算放大器(22)，第二运算放大器(23)，第三运算放大器(24)，第一二极管消波电路(25)，第二二极管消波电路(27)，恒流源电路(26)，第一乘法器(12)，第二乘法器(13)，AD转换模块(14)以及单片机(15)；测试控制开关(42)的输出端，信号发生器(21)的输入端，AD转换模块(14)的输出端，显示模块(16)输入端以及参数调节开关(45)的输出端分别与单片机(15)连接；信号发生器(21)的输出端分别与第一运算放大器(22)的输入端，第二运算放大器(23)的输入端以及第三运算放大器(24)的输入端连接；第一运算放大器(22)的输出端与第一二极管消波电路(25)的输入端连接，第一二极管消波电路(25)的输出端与第一乘法器(12)的第一输入端连接，第一乘法器(12)的输出端与AD转换模块(14)第一输入端连接；第二运算放大器(23)的输出端与恒流源电路(26)输入端连接，恒流源电路(26)输出端与探测针插置孔组(41)连接，探测针插置孔组(41)输出端分别与第一乘法器(12)的第二输入端和第二乘法器(13)的第二输入端连接；第三运算放大器(24)的输出端与第二二极管消波电路(27)的输入端连接，第二二极管消波电路(27)的输出端与第二乘法器(13)的第一输入端连接，第二乘法器(13)的输出端与AD转换模块(14)第二输入端连接。...
【技术特征摘要】
1.一种固定式半导体电阻率测试装置，其特征在于，包括：操作台(1)，操作台(1)顶部设有操作台面(2)，操作台(1)底部设有支腿(3)；操作台(1)内部设有PC机安置柜(4)，半导体电阻率测试仪安置柜(5)以及第一半导体材料安置柜(6)，第二半导体材料安置柜(7)；操作台(1)的侧部设有电源线通孔(8)；PC机安置柜(4)，半导体电阻率测试仪安置柜(5)，第一半导体材料安置柜(6)以及第二半导体材料安置柜(7)均设有柜门；操作台面(2)安置有显示器(31)以及用于检测半导体电阻率的半导体电阻率测试仪(32)；PC机安置柜(4)内部安置有PC主机，PC主机与显示器(31)连接；半导体电阻率测试仪(32)包括：壳体(43)，壳体(43)内部设有测试组件，壳体表面设有显示模块(16)，测试控制开关(42)，探测针插置孔组(41)以及参数调节开关(45)；测试组件包括：信号发生器(21)，第一运算放大器(22)，第二运算放大器(23)，第三运算放大器(24)，第一二极管消波电路(25)，第二二极管消波电路(27)，恒流源电路(26)，第一乘法器(12)，第二乘法器(13)，AD转换模块(14)以及单片机(15)；测试控制开关(42)的输出端，信号发生器(21)的输入端，AD转换模块(14)的输出端，显示模块(16)输入端以及参数调节开关(45)的输出端分别与单片机(15)连接；信号发生器(21)的输出端分别与第一运算放大器(22)的输入端，第二运算放大器(23)的输入端以及第三运算放大器(24)的输入端连接；第一运算放大器(22)的输出端与第一二极管消波电路(25)的输入端连接，第一二极管消波电路(25)的输出端与第一乘法器(12)的第一输入端连接，第一乘法器(12)的输出端与AD转换模块(14)第一输入端连接；第二运算放大器(23)的输出端与恒流源电路(26)输入端连接，恒流源电路(26)输出端与探测针插置孔组(41)连接，探测针插置孔组(41)输出端分别与第一乘法器(12)的第二输入端和第二乘法器(13)的第二输入端连接；第三运算放大器(24)的输出端与第二二极管消波电路(27)的输入端连接，第二二极管消波电路(27)的输出端与第二乘法器(13)的第一输入端连接，第二乘法器(13)的输出端与AD转换模块(14)第二输入端连接。2.根据权利要求1所述的固定式半导体电阻率测试装置，其特征在于，第一半导体材料安置柜(6)内部设有用于放置半导体材料的多层安置架以及用于对安置架上半导体材料进行加热烘干的第一加热丝；第一半导体材料安置柜(6)的门框设有第一方形凸沿(64)，第一方形凸沿(64)向第一半导体材料...
【专利技术属性】
技术研发人员：李杰，于友，刘世伟，石坚，
申请(专利权)人：山东辰宇稀有材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37
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