The invention provides a silver film etching solution composition and an etching method and a metal pattern forming method utilizing the silver film etching solution composition. The silver film etching solution composition is characterized in that, relative to the total weight of the composition, it contains (A) 1-15 weight percent of inorganic acid, (B) 30-73 weight percent of organic acid, (C) 0.5 percent of inorganic salt. Water of 15 wt% and (D) margin. The silver film etching solution composition is used for etching a single layer film composed of silver (Ag) or silver alloy and a multilayer film composed of the above monolayer film and transparent conductive film, providing the effect of no residue and silver re-adsorption problem.
【技术实现步骤摘要】
银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法和金属图案的形成方法
本专利技术涉及银薄膜蚀刻液组合物、利用其的蚀刻方法和金属图案的形成方法。
技术介绍
随着真正步入信息化时代,处理及显示大量的信息的显示器领域发展迅速,针对于此大量的平板显示器得到开发并受到关注。作为这样的平板显示装置的例子,可以举出液晶显示装置(Liquidcrystaldisplaydevice:LCD)、等离子体显示装置(PlasmaDisplayPaneldevice:PDP)、场发射显示装置(FieldEmissionDisplaydevice:FED)、电致发光显示装置(ElectroluminescenceDisplaydevice:ELD)、有机发光显示器(OrganicLightEmittingDiodes:OLED)等,这样的平板显示装置不仅应用于电视或录像机等家电领域,还以多种多样的用途应用于笔记本之类的电脑和手机等中。由于这些平板显示装置的薄型化、轻量化以及低耗电化等优异的性能,实际情况是其正在快速替代以往使用的布劳恩管(阴极射线管(CathodeRayTube:NIT))。特别是,OLED由于元件本身发光且在低电压下也能够驱动,因此近年来在便携设备等小型显示器市场得到快速应用。另外,OLED的目前状态是从小型显示器跨越到了大型TV的商用化。另一方面,氧化铟锡(IndiumTinOxide,ITO)和氧化铟锌(IndiumZincOxide,IZO)之类的导电性金属对于光的透过率相对优异,且具有导电性,因此广泛用于平板显示装置中所使用的滤色器的电极。但是,这些金属由于还具有高电阻,因此 ...
【技术保护点】
1.一种银薄膜蚀刻液组合物,其特征在于,相对于组合物总重量,包含:(A)无机酸1~15重量%;(B)有机酸30~73重量%;(C)无机盐0.5~15重量%;和(D)余量的水。
【技术特征摘要】
2017.05.22 KR 10-2017-0062800;2017.12.15 KR 10-2011.一种银薄膜蚀刻液组合物,其特征在于,相对于组合物总重量,包含:(A)无机酸1~15重量%;(B)有机酸30~73重量%;(C)无机盐0.5~15重量%;和(D)余量的水。2.根据权利要求1所述的银薄膜蚀刻液组合物,其特征在于,所述(A)无机酸包含选自由硝酸、硫酸和盐酸组成的组中的一种以上。3.根据权利要求1所述的银薄膜蚀刻液组合物,其特征在于,所述(A)无机酸为硝酸。4.根据权利要求1所述的银薄膜蚀刻液组合物,其特征在于,所述(B)有机酸包含选自由甲磺酸、乙磺酸、丙磺酸、乙酸、柠檬酸、丙二酸、丁酸、甲酸、葡糖酸、乙醇酸、草酸、戊酸、磺基苯甲酸、磺基琥珀酸、磺基邻苯二甲酸、水杨酸、磺基水杨酸、苯甲酸、乳酸、甘油酸、琥珀酸、苹果酸、酒石酸、异柠檬酸、丙烯酸、亚氨基二乙酸和乙二胺四乙酸组成的组中的一种以上。5.根据权利要求1所述的银薄膜蚀刻液组合物,其特征在于,所述无机盐为选自硝酸盐和硫酸盐中的一种。6.根据权利要求5所述的银薄膜蚀刻液组合物,其特征在于,所述硝酸盐包含选自由硝酸铵、硝酸钠、硝酸钾和硝酸钙组成的组中的一种以上。7.根据权利要求5所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:南基龙,尹暎晋,李原昊,金童基,朴英哲,张晌勋,
申请(专利权)人:东友精细化工有限公司,
类型:发明
国别省市:韩国,KR
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