一种废剥离液再生装置及其应用制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种废剥离液再生装置及其应用，装置包括脱轻塔及产品塔，脱轻塔中部经管道与废剥离液储罐连通，塔釜出料经管道与产品塔连通，脱轻塔塔釜出料管道或产品塔塔釜出料管道上设有刮膜式蒸发器，通过两塔分离流程，将液晶显示板制造工序产生的废剥离液中轻组分水、重组分光刻胶、金属离子去除，得到精制合格剥离液。本发明专利技术不仅可以用于含水量低的有机系废剥离液分离，还可以用于含水量较高的水系废剥离液分离，该方法及装置可以将废剥离液中的轻组分水、重组分光刻胶及金属离子切割干净，分离得到的精制剥离液可循环应用于剥离生产工段，具有工艺流程简单，能耗低，通用性强的特点。

A Waste Stripping Liquor Regeneration Device and Its Application

The invention relates to a waste stripping liquid regeneration device and its application. The device comprises a stripping tower and a product tower. The middle part of the stripping tower is connected with the waste stripping liquid storage tank through a pipeline, the outlet of the tower kettle is connected with the product tower through a pipeline, and a scraping film evaporator is arranged on the outlet pipeline of the stripping tower kettle or the outlet pipeline of the product tower kettle, which is separated by two towers. The process includes the removal of light component water, recombinant photoresist and metal ions from the waste stripping liquid produced in the manufacturing process of liquid crystal display panel, and the refined qualified stripping liquid is obtained. The invention can be used not only for separating organic system waste stripping liquor with low water content, but also for separating water system waste stripping liquor with high water content. The method and device can cut off light component water, recombinant photoresist and metal ions in waste stripping liquor, and the refined stripping liquor separated can be recycled for stripping production. The production section has the characteristics of simple process flow, low energy consumption and strong versatility.

【技术实现步骤摘要】
一种废剥离液再生装置及其应用
本专利技术涉及一种精馏塔回收有机物的方法，尤其是涉及一种废剥离液再生装置及其应用。
技术介绍
在半导体、液晶显示器、有机及无机的显示器制造中，大多使用光刻技术。即首先在基板上形成材料薄膜，用光刻胶涂覆薄膜，根据需要进行选择性曝光并显影以形成光刻胶图案。接下来沿着该刻蚀图案进行蚀刻处理，将材料薄膜蚀刻出想要的图案，最后用混合有机溶剂将剩余的光刻胶剥离，混合有机溶剂一般由胺化合物、亚烷基二醇化合物组成，剥离后会产生废剥离液。废剥离液不仅含有剥离溶剂，而且含有光刻胶树脂、水和重金属离子杂质。此前，这些废剥离液在简单处理后，无法达到循环使用的标准，一般只能降级使用，如作为有机燃料燃烧或进行简单回收变成化工用低品质溶剂，在该过程中往往会产生二次污染。由于目前市面上许多电子产品在制造过程中都含有光刻胶剥离工艺，从而使得新鲜剥离液用量大，生产成本高，导致该类企业产品竞争力不强。考虑到该现状，急切需要可达到循环使用标准的废剥离液回收技术，其不仅能提供废剥离液中有机溶剂的基本回收，还能廉价地生产高纯度、可重复使用的剥离液溶剂。在专利CN201310473524.8中，提到了将使用完毕的废剥离液进行气化分离、回收并再使用，但需要三塔连续操作，设备投资和占地面积大，操作过程复杂。与目前节能环保、循环经济的趋势不符。
技术实现思路
本专利技术的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种废剥离液再生装置及其应用。本专利技术的目的可以通过以下技术方案来实现：一种废剥离液再生装置，包括脱轻塔及产品塔：所述脱轻塔塔底设置再沸器，塔顶部设置冷凝器，塔中部经管道与废剥离液储罐连通，塔釜出料经管道与所述产品塔连通；所述产品塔塔底设置再沸器，塔顶设置冷凝器；所述脱轻塔塔釜出料管道或产品塔塔釜出料管道上设有刮膜式蒸发器，将废液中的固体颗粒物、重金属离子及光刻胶去除。所述脱轻塔为常压或负压塔，所述产品塔为负压侧线采出塔，侧线采出塔设有专门的液体收集-再分布器。所述脱轻塔塔顶操作压力为20-120kPa，优选80-101kPa；产品塔塔顶操作压力为0.5-20kPa，优选1-8kPa。所述脱轻塔塔顶操作温度为70-120℃，优选90-108℃，塔釜操作温度为100-150℃，优选125-135℃；所述产品塔塔顶操作温度为15-40℃，优选25-32℃，侧线出料口操作温度为70-120℃，优选85-100℃，塔釜操作温度为80-130℃，优选90-110℃。所述脱轻塔的塔板为10-50块，优选25-35块，产品塔的塔板为5-40块，优选15-30块。所述脱轻塔的回流比为0.5-5，优选0.8-2，产品塔的回流比为0.8-12，优选2-6。所述脱轻塔及所述产品塔内装有高效分离填料，包括板波纹、丝网规整填料，或者高效散堆填料。所述产品塔采出位置在塔从上往下计1/6-2/3处，优选1/3-3/5处。废剥离液再生装置的应用，利用脱轻塔从废剥离液中分离除去其中低沸点成分，利用刮膜式蒸发器分离去除废剥离液中高沸点成分，从脱轻后的残留液中分离回收精制剥离液，通过两塔分离流程，将液晶显示板制造工序产生的废剥离液中轻组分水、重组分光刻胶、金属离子去除，得到精制合格剥离液。所述废剥离液包括水、有机胺化物和二醇醚的混合物，其中：所述有机胺化物包括单乙醇胺(MEA)、(2-氨基乙氧基)-1-乙醇(AEE)、氨基乙基乙醇胺(AEEA)、单甲醇胺、N-甲基氨基乙醇(MMEA)、3-氨基丙醇(AP)、二乙醇胺(DEA)、二乙氨基乙醇(DEEA)、三乙醇胺(TEA)或三亚乙基四胺中的一种或几种；所述二醇醚包括二乙二醇单丁基醚(BDG)、(2-羟乙基)醚、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丁醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丁醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丙醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇单丙醚、二丙二醇单丁醚、三乙二醇单甲醚、三乙二醇单乙醚、三乙二醇单丙醚、三乙二醇单丁醚、三丙二醇单甲醚、三丙二醇单乙醚、三丙二醇单丙醚或三丙二醇单丁醚中的一种或几种。与现有技术相比，本专利技术能适用于不同含水量的废剥离液回收，该装置可根据不同含水量自动调整脱轻塔的采出量及回流比，产品塔可继续脱除前段精馏剩余的少量水分，保证产品塔侧线得到合格稳定的产品。同时侧线采出可节约设备投资及占地。本专利技术不仅可以用于含水量低的有机系废剥离液分离，还可以用于含水量较高的水系废剥离液分离，该方法及装置可以将废剥离液中的轻组分水、重组分光刻胶和金属离子去除干净，分离得到的精制剥离液可循环应用于剥离生产工段，具有工艺流程简单，能耗低，通用性强的特点。附图说明图1为废剥离液再生装置的结构示意图；图2为实施例4中废剥离液再生装置的结构示意图；图3为实施例5中废剥离液再生装置的结构示意图。图中，V101-废剥离液储罐；P1-第一输送泵；P2-第二输送泵；P3-第三输送泵；P4-第四输送泵；CW1-冷凝上水；CW2-冷凝上水；HW1-冷凝回水；HW2-冷凝回水；T1-脱轻塔；T2-产品塔；E101-脱轻塔再沸器；E102-脱轻塔冷凝器；E103-产品塔再沸器；E104-刮膜蒸发器；E105-产品塔冷凝器。具体实施方式下面结合具体实施例对本专利技术进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本专利技术，但不以任何形式限制本专利技术。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进。这些都属于本专利技术的保护范围。一种废剥离液再生装置，包括脱轻塔及产品塔，脱轻塔塔底设置再沸器，塔顶部设置冷凝器，塔中部经管道与废剥离液储罐连通，塔釜出料经管道与产品塔连通，使用的脱轻塔为常压或负压塔，塔顶操作压力为20-120kPa，更佳的实施方式可以采用80-101kPa，塔顶操作温度为70-120℃，更佳的实施方式可以采用90-108℃，塔釜操作温度为100-150℃，更佳的实施方式可以采用125-135℃，塔板为10-50块，更佳的实施方式可以采用25-35块，回流比为0.5-5，更佳的实施方式可以采用0.8-2。产品塔塔底设置再沸器，塔顶设置冷凝器，使用的产品塔为负压侧线采出塔，侧线采出塔设有专门的液体收集-再分布器，塔顶操作压力为0.5-20kPa，更佳的实施方式可以采用1-8kPa，塔塔顶操作温度为15-40℃，更佳的实施方式可以采用25-32℃，侧线出料口操作温度为70-120℃，更佳的实施方式可以采用85-100℃，塔釜操作温度为80-130℃，更佳的实施方式可以采用90-110℃，塔板为5-40块，更佳的实施方式可以采用15-30块，回流比为0.8-12，更佳的实施方式可以采用2-6。产品塔采出位置在塔从上往下计1/6-2/3处，更佳的实施方式可以采用1/3-3/5处。脱轻塔及产品塔内装有高效分离填料，包括板波纹、丝网规整填料，或者高效散堆填料。另外在脱轻塔塔釜出料管道或产品塔塔釜出料管道上设有刮膜式蒸发器，将废液中的固体颗粒物、重金属离子及光刻胶去除。废剥离液再生装置在应用时，利用脱轻塔从废剥离液中分离除去其中低沸点成分，利用刮膜式蒸发器分离去除废剥离液中高沸点成分，从脱轻后的残留液中分离回收精制剥离液，通过两塔分离流程，将液晶显示板制造本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种废剥离液再生装置，其特征在于，该装置包括脱轻塔及产品塔：所述脱轻塔塔底设置再沸器，塔顶部设置冷凝器，塔中部经管道与废剥离液储罐连通，塔釜出料经管道与所述产品塔连通；所述产品塔塔底设置再沸器，塔顶设置冷凝器；所述脱轻塔塔釜出料管道或产品塔塔釜出料管道上设有刮膜式蒸发器。

【技术特征摘要】
1.一种废剥离液再生装置，其特征在于，该装置包括脱轻塔及产品塔：所述脱轻塔塔底设置再沸器，塔顶部设置冷凝器，塔中部经管道与废剥离液储罐连通，塔釜出料经管道与所述产品塔连通；所述产品塔塔底设置再沸器，塔顶设置冷凝器；所述脱轻塔塔釜出料管道或产品塔塔釜出料管道上设有刮膜式蒸发器。2.根据权利要求1所述的一种废剥离液再生装置，其特征在于，所述脱轻塔为常压或负压塔，所述产品塔为负压侧线采出塔。3.根据权利要求1或2所述的一种废剥离液再生装置，其特征在于，所述脱轻塔塔顶操作压力为20-120kPa，优选80-101kPa；产品塔塔顶操作压力为0.5-20kPa，优选1-8kPa。4.根据权利要求1或2所述的一种废剥离液再生装置，其特征在于，所述脱轻塔塔顶操作温度为70-120℃，优选90-108℃，塔釜操作温度为100-150℃，优选125-135℃；所述产品塔塔顶操作温度为15-40℃，优选25-32℃，侧线出料口操作温度为70-120℃，优选85-100℃，塔釜操作温度为80-130℃，优选90-110℃。5.根据权利要求1或2所述的一种废剥离液再生装置，其特征在于，所述脱轻塔的塔板为10-50块，优选25-35块，产品塔的塔板为5-40块，优选15-30块。6.根据权利要求1或2所述的一种废剥离液再生装置，其特征在于，所述脱轻塔的回流比为0.5-5，优选0.8-2，产品塔的回流比为0.8-12，优选2-6。7.根据权利要求1或2所述的一种废剥离液再生装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：许保云，吴高胜，艾波，李瑜哲，
申请(专利权)人：上海化工研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31