【技术实现步骤摘要】
MEMS麦克风
本技术涉及电声转换领域,尤其涉及一种MEMS麦克风。
技术介绍
近年来移动通信技术已经得到快速发展,消费者越来越多地使用移动通信设备,例如便携式电话、能上网的便携式电话、个人数字助理或专用通信网络进行通信的其他设备,其中麦克风则是其中重要的部件之一,特别是MEMS麦克风。微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)麦克风是一种利用微机械加工技术制作出来的电能换声器,其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展,MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。相关技术中的MEMS麦克风包括具有背腔的基底及固定设置于所述基底上的电容系统,所述电容系统包括相互间隔设置的背板和振膜,所述背板包括背板绝缘层及设置于所述背板绝缘层的背板导电层。然而相关技术中,背板导电层的外边缘是齐平的,背板导电层的外边缘的轮廓线不穿过任何背板孔,在MEMS加工工艺过程中,背板导电层和背板绝缘层的交界处会出现裂纹,很容易导致背板断裂等结构失效。因此,有必要提供一种改进的MEMS麦克风来解决上述问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种结构稳定、可靠性强的MEMS麦克风。为解决上述技术问题,本技术提供了一种MEMS麦克风,包括具有背腔的基底及固定设置于所述基底上的电容系统,所述电容系统包括相互间隔设置的背板和振膜,所述背板包括背板绝缘层及设置于所述背板绝缘层的背板导电层,所述背板导电层的外边缘设有缺口,所述背板绝缘层设有贯通的第一通孔,所述第一通孔包括与所述缺口对应位置设有第一声孔,所述缺口 ...
【技术保护点】
1.一种MEMS麦克风,包括具有背腔的基底及固定设置于所述基底上的电容系统,所述电容系统包括相互间隔设置的背板和振膜,所述背板包括背板绝缘层及设置于所述背板绝缘层的背板导电层,其特征在于:所述背板导电层的外边缘设有缺口,所述背板绝缘层设有贯通的第一通孔,所述第一通孔包括与所述缺口对应位置设有第一声孔,所述缺口和所述第一声孔相连通。
【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风,包括具有背腔的基底及固定设置于所述基底上的电容系统,所述电容系统包括相互间隔设置的背板和振膜,所述背板包括背板绝缘层及设置于所述背板绝缘层的背板导电层,其特征在于:所述背板导电层的外边缘设有缺口,所述背板绝缘层设有贯通的第一通孔,所述第一通孔包括与所述缺口对应位置设有第一声孔,所述缺口和所述第一声孔相连通。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述缺口设有多个,对应的,所述第一声孔也设有多个。3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述背板导电层设有贯通的第二通孔,所述第一通孔还包括与所述第二通孔对应的第二声孔,所述第二声孔和第二通孔连通。4.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:柏杨,张睿,
申请(专利权)人:瑞声声学科技深圳有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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