一种退火设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种退火设备，包括：退火容器，其内部具有用于盛装导热液的封闭的容纳腔，容纳腔顶壁为具有较强热传导能力的金属或合金等材料；加热装置，安装在容纳腔内；和温控装置，与加热装置电连接，用于根据容纳腔上设定位置的温度来调整加热装置的加热温度。本实用新型专利技术提供的退火设备，容纳腔内盛装有导热液，加热装置对导热液进行加热，导热液传导热能到容纳腔顶壁上，容纳腔顶壁各位置温度一致，在对待退火件进行退火时，待退火件放置于容纳腔顶壁上，使得待退火件各位置均匀受热，提升待退火件各位置的温度可控性，待退火件任意两点温度差小于1～2摄氏度，有效减小了待退火件上各位置的温度偏差，实现了提升待退火件退火后性能的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种退火设备
本文涉及热处理设备
，尤指一种退火设备。
技术介绍
在显示面板制造工艺中，玻璃基板需要放置在高温炉内进行退火处理，以改善玻璃基板的性能，退火温度一般设定为200～350摄氏度之间，时间一般为0.5～2h。退火处理一般采用电阻丝直接以热传导或热辐射的方式进行，由于玻璃基板较大，这两种退火方式在退火时玻璃基板各位置受热不均，各位置的温度偏差较大，会降低玻璃基板退火后的性能。
技术实现思路
为了解决上述技术问题中的至少之一，本文提供了一种退火设备，在对玻璃基板进行退火时，可使得玻璃基板各位置均匀受热，有效减小玻璃基板上各位置的温度偏差，以此来提升玻璃基板退火后的性能。本文提供的退火设备，包括：退火容器，其内部具有用于盛装导热液的容纳腔；加热装置，安装在所述容纳腔内；和温控装置，与所述加热装置电连接，用于检测所述容纳腔上设定位置的温度、以及根据所述设定位置的温度来调整所述加热装置的加热温度。可选地，所述退火设备还包括：搅拌装置，安装在所述容纳腔上，用于搅动所述容纳腔内盛装的导热液。可选地，所述退火设备还包括：升降装置，安装在所述容纳腔上，用于在所述容纳腔顶壁的上表面提升和下放待退火件。可选地，所述搅拌装置包括：第一驱动件；和搅拌件，位于所述容纳腔内、并与所述第一驱动件传动配合，所述第一驱动件用于驱动所述搅拌件转动。可选地，所述第一驱动件为电机，所述搅拌件为搅拌轮。可选地，所述升降装置包括：第二驱动件；和支撑件，可上下移动地穿装在所述容纳腔的底壁和顶壁上、并与所述第二驱动件传动配合，所述第二驱动件用于驱动所述支撑件上下移动。可选地，所述第二驱动件为气缸，所述支撑件为支撑杆。可选地，所述温控装置包括：温度检测件，安装在所述容纳腔上，用于检测所述容纳腔的内部和顶壁上表面设定位置的温度；和温度控制件，所述加热装置与所述温度检测件均与所述温度控制件电连接，所述温度控制件用于根据所述设定位置的温度来调整所述加热装置的加热温度。可选地，所述温度检测件为温度传感器，所述温度控制件为控制器。可选地，所述加热装置为电阻丝。与现有技术相比，本技术提供的退火设备，容纳腔内盛装有导热液，加热装置对导热液进行加热，导热液传导热能到容纳腔顶壁上，容纳腔顶壁各位置温度一致，在对待退火件进行退火时，待退火件放置于容纳腔顶壁上，使得待退火件各位置均匀受热，提升待退火件各位置的温度可控性，待退火件任意两点温度差小于1～2摄氏度，有效减小了待退火件上各位置的温度偏差，实现了提升待退火件退火后性能的目的。本文的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本文而了解。本文的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。附图说明附图用来提供对本文技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本文的技术方案，并不构成对本文技术方案的限制。图1为本技术一个实施例所述的退火设备的立体结构示意图，其中，容纳腔的顶壁未示出；图2为图1中的退火设备对玻璃基板进行退火时的局部结构示意图。其中，图1和图2中附图标记与部件名称之间的对应关系为：1退火容器，11容纳腔，2加热装置，3温控装置，4搅拌装置，5升降装置，6支架，7玻璃基板。具体实施方式为使本文的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下文中将结合附图对本文的实施例进行详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本文，但是，本文还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施，因此，本文的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。下面结合附图描述本文一些实施例的退火设备。本技术实施例提供的退火设备，如图1所示，包括：退火容器1，其内部具有用于盛装导热液的封闭的容纳腔11；加热装置2，安装在所述容纳腔11内；和温控装置3，与所述加热装置2电连接，用于根据所述容纳腔11上设定位置的温度来调整所述加热装置2的加热温度。本技术提供的退火设备，容纳腔11内盛装有导热液，加热装置2对导热液进行加热，导热液传导热能到容纳腔顶壁上，容纳腔顶壁各位置温度一致，在对待退火件进行退火时，待退火件放置于容纳腔顶壁上(如图2所示)，使得待退火件各位置均匀受热，提升待退火件各位置的温度可控性，待退火件任意两点温度差小于1～2摄氏度，有效减小了待退火件上各位置的温度偏差，实现了提升待退火件退火后性能的目的。可选地，如图1所示，所述退火设备还包括：搅拌装置4，安装在所述容纳腔11上，用于搅动所述容纳腔11内盛装的导热液，使得导热液各位置的温度相一致，提升传热稳定性，这样在进行退火处理时，容纳腔11顶壁的温度一致，放置于容纳腔11顶壁上的待退火件上各位置的温度偏差较小，待退火件退火后的性能较好。具体地，所述搅拌装置4包括：第一驱动件，位于所述退火容器1的下方、并安装在所述退火容器1上；和搅拌件，位于所述容纳腔11内、并与所述第一驱动件传动配合，所述第一驱动件用于驱动所述搅拌件摆动或转动。其中，所述第一驱动件可以为电机，所述搅拌件可以为搅拌轮。当然，电机和搅拌轮之间还可以设置传动齿轮来辅助传动。可选地，如图1所示，所述退火设备还包括：升降装置5，安装在所述容纳腔11上，用于在所述容纳腔11顶壁的上表面提升和下放待退火件，升降装置5升起，完成机械手取出和放入待退火件于升降装置5上的动作，升降装置5落下，将待退火件放置在容纳腔顶壁上(待退火件的下表面与容纳腔顶壁的上表面接触)进行退火处理。具体地，所述升降装置5包括：第二驱动件，位于所述退火容器1的下方、并安装在所述退火容器1上；和支撑件，可上下移动地穿装在所述容纳腔11的底壁和顶壁上、并与所述第二驱动件传动配合，所述第二驱动件用于驱动所述支撑件上下移动。其中，所述第二驱动件可以为气缸或油缸(或齿轮齿条传动结构等)，所述支撑件可以为支撑杆。支撑杆的直径越小越好，这样能够减小支撑杆处的温度偏差。可选地，所述温控装置3包括：温度检测件，安装在所述容纳腔11上，用于检测所述容纳腔11的内部和顶壁上表面设定位置的温度；和温度控制件，所述加热装置2与所述温度检测件均与所述温度控制件电连接，所述温度控制件用于根据所述设定位置的温度来调整所述加热装置2的加热温度。温度检测件优选检测导热液各位置的温度和待退火件下表面各位置的温度。当需要对待退火件进行退火处理时，提前打开温度控制件，设定好所需的温度，打开搅拌装置4，待导热液的温度达到设定温度并且稳定之后，升降装置5升起，机械手将待退火件放置于升降装置5上，然后升降装置5落下，将待退火件放置在容纳腔顶壁上进行退火处理，待退火处理完成后升降装置5升起，将待退火件抬起，再由机械手取走待退火件，导热液始终不与待退火件接触，不会污染待退火件。具体地，所述温度检测件为温度传感器，所述温度控制件为控制器或控制板，所述加热装置2为电阻丝(电阻丝的分布、粗细、长度、形状可根据仿真得出最佳搭配结果)，所述待退火件为玻璃基板7(如图2所示)，所述导热液为导热油(如：合成烷基苯导热油、烷基萘型导热油、烷基联苯型导热油、联苯和联苯醚低熔混合物型导热油等)。容纳腔11本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种退火设备，其特征在于，包括：退火容器，其内部具有用于盛装导热液的容纳腔；加热装置，安装在所述容纳腔内；和温控装置，与所述加热装置电连接，用于检测所述容纳腔上设定位置的温度、以及根据所述设定位置的温度来调整所述加热装置的加热温度。

【技术特征摘要】
1.一种退火设备，其特征在于，包括：退火容器，其内部具有用于盛装导热液的容纳腔；加热装置，安装在所述容纳腔内；和温控装置，与所述加热装置电连接，用于检测所述容纳腔上设定位置的温度、以及根据所述设定位置的温度来调整所述加热装置的加热温度。2.根据权利要求1所述的退火设备，其特征在于，还包括：搅拌装置，安装在所述容纳腔上，用于搅动所述容纳腔内盛装的导热液。3.根据权利要求1所述的退火设备，其特征在于，还包括：升降装置，安装在所述容纳腔上，用于在所述容纳腔顶壁的上表面提升和下放待退火件。4.根据权利要求2所述的退火设备，其特征在于，所述搅拌装置包括：第一驱动件；和搅拌件，位于所述容纳腔内、并与所述第一驱动件传动配合，所述第一驱动件用于驱动所述搅拌件转动。5.根据权利要求4所述的退火设备，其特征在于，所述第一驱动件为电机，所述搅拌件为搅拌轮。6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：张扬，马睿，周斌，胡迎宾，王庆贺，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34