一种带有光波导的场效应管制造技术

技术编号:19596235 阅读:31 留言:0更新日期:2018-11-28 05:52
本发明专利技术公开了一种带有光波导的场效应管,包括源极、栅极和漏极,源极和漏极之间为耗尽区,栅极设置有连通耗尽区的光通道,只要入射光的光子能量大于效应管中的源极与漏极之间的通道半导体材料的禁带宽度,就可以在其中激发出光生离子,从而对场效应管的工作状态起到控制作用,对入射光源的要求不高,可作为高速调制的光源得解调器(即高光检测器件),也可作为机载有源相控阵雷达的基本微波有源驱动单元,在光纤的输入下完成微波振荡器的光注入锁定及相位控制,能够通过光源照射实现光电信号之间的相互控制,具有结构简单,灵敏度高等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种带有光波导的场效应管
本专利技术涉及一种电子元器件,特别是一种场效应管。
技术介绍
场效应管广泛应用于通信、雷达设备和民用电器中,在电子市场中是一种不可缺的微波器件,随着光纤技术与电子技术的相互融合,光信号与电信号的相互转换和相互作用与控制成为一种常态,以往的场效应管与光相关的研究都是基于用光束照射场效应管的管芯的方法或借助于其他光电器件来进行研究,其存在着结构复杂,生产成本高,灵敏度低等问题,无法满足器件在光电相互作用方面的功能。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足,本专利技术提供一种结构简单、灵敏度高的带有光波导的场效应管。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种带有光波导的场效应管,包括源极、栅极和漏极,所述源极和漏极之间为耗尽区,所述栅极设置有连通所述耗尽区的光通道。所述光通道内设置有光波导。本专利技术的有益效果是:本专利技术在栅极设置了连通耗尽区的光通道,只要入射光的光子能量大于效应管中的源极与漏极之间的通道半导体材料的禁带宽度,就可以在其中激发出光生离子,从而对场效应管的工作状态起到控制作用,对入射光源的要求不高,可作为高速调制的光源得解调器(即高光检测器件),也可作为机载有源相控阵雷达的基本微波有源驱动单元,在光纤的输入下完成微波振荡器的光注入锁定及相位控制,能够通过光源照射实现光电信号之间的相互控制,具有结构简单,灵敏度高等优点。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的结构示意图。具体实施方式参照图1,一种带有光波导的场效应管,包括衬底7,所述衬底7为半导体衬底,所述衬底7的上表面设置有作为沟道的两个P型或N型区(根据衬底而定,如采用P型衬底,则选取N型区作为沟道,如果采用N型衬底,则选用P型区作为沟道),所述两个P型或N型区的表面设置有二氧化硅氧化层8,所述二氧化硅氧化层8的表面覆盖有金属铝层9,两个P型或N型区分别引出源极1和漏极3,金属铝层9引出栅极2,所述源极1和漏极3之间为耗尽区4。所述栅极2设置有连通所述耗尽区4的光通道5,光通道5可以不填充任何位置,以空气作为光传导媒介,也可以在光通道5内设置有光波导6,光波导6可以是与场效应管兼容的半导体材料如二氧化硅等,对于光通道5和光波导6的形状没有要求,可以是正方形或圆柱形等,光波导6的尺寸以适于在红外到可见光范围内为多模波导为准,确保能够满足各种光源的输入。没有光线入射光通道5时,场效应管的性能与常规场效应管一样,当有光入射所述光通道5时,且入射光的光子能量大于光波导6的禁带宽度,则入射光可在光通道5内产生光生等离子,使得场效应管内部的光学参数和电学参数发生变化,从而对场效应管的工作状态进行控制,本实施例中,对入射光源的要求不高,可使用白炽光、LED发出的各种单色光或激光等作为入射光源,通过调节光照强度即可改变光生等离子的浓度,从而控制场效应管的工作状态(如控制输出电流的大小),控制简单且灵敏度高。本专利技术可作为高速调制的光源得解调器(即高光检测器件),也可作为机载有源相控阵雷达的基本微波有源驱动单元,在光纤的输入下完成微波振荡器的光注入锁定及相位控制,能够通过光源照射实现光电信号之间的相互控制,具有结构简单,灵敏度高等优点。以上的实施方式不能限定本专利技术创造的保护范围,专业
的人员在不脱离本专利技术创造整体构思的情况下,所做的均等修饰与变化,均仍属于本专利技术创造涵盖的范围之内。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种带有光波导的场效应管,包括源极(1)、栅极(2)和漏极(3),所述源极(1)和漏极(3)之间为耗尽区(4),其特征在于所述栅极(2)设置有连通所述耗尽区(4)的光通道(5)。

【技术特征摘要】
1.一种带有光波导的场效应管,包括源极(1)、栅极(2)和漏极(3),所述源极(1)和漏极(3)之间为耗尽区(4),其特征在于所述栅极(2...

【专利技术属性】
技术研发人员:喻志远徐立周李梦男陈东佛邓春健
申请(专利权)人:电子科技大学中山学院
类型:发明
国别省市:广东,44

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