The invention discloses a method for making a radio frequency filter and a radio frequency filter. It includes: S110, providing piezoelectric substrate; S120, forming metal electrode layer on piezoelectric substrate and graphical; coating photoresist layer on graphical metal electrode layer, and exposing and developing photoresist layer to form a pattern consistent with graphical metal electrode layer; forming initial on piezoelectric substrate. The thickness of the initial temperature compensation layer is the same as that of the metal electrode layer; the photoresist layer after exposure and development is peeled off, and the final temperature compensation layer is formed on the graphical metal electrode layer and the initial temperature compensation layer; the passivation layer is formed on the surface of the final temperature compensation layer. The fabrication process is simple, and the surface of temperature compensation layer need not be treated by chemical mechanical abrasion process. Thus, the fabrication process of RF filter can be simplified, the fabrication cost of RF filter can be reduced, and the economic benefit can be improved.
【技术实现步骤摘要】
射频滤波器的制作方法和射频滤波器
本专利技术涉及无线通信射频前端器件
,具体涉及一种射频滤波器的制作方法以及一种射频滤波器。
技术介绍
随着无线通讯应用的发展,人们对于数据传输速度的要求越来越高。在移动通信领域,第一代是模拟技术,第二代实现了数字化语音通信,第三代(3G)以多媒体通信为特征,第四代(4G)将通信速率提高到1Gbps、时延减小到10ms,第五代(5G)是4G之后的新一代移动通信技术,虽然5G的技术规范与标准还没有完全明确,但与3G、4G相比,其网络传输速率和网络容量将大幅提升。如果说从1G到4G主要解决的是人与人之间的沟通,5G将解决人与人之外的人与物、物与物之间的沟通,即万物互联,实现“信息随心至,万物触手及”的愿景。与数据率上升相对应的是频谱资源的高利用率以及通讯协议的复杂化。由于频谱有限,为了满足数据率的需求,必须充分利用频谱;同时为了满足数据率的需求,从4G开始还使用了载波聚合技术,使得一台设备可以同时利用不同的载波频谱传输数据。另一方面,为了在有限的带宽内支持足够的数据传输率,通信协议变得越来越复杂,因此对射频系统的各种性能也提出了严格的需求。在射频前端模块中,射频滤波器起着至关重要的作用。它可以将带外干扰和噪声滤除以满足射频系统和通讯协议对于信噪比的需求。随着通信协议越来越复杂,对频带内外的要求也越来越高,使得滤波器的设计越来越有挑战。另外,随着手机需要支持的频带数目不断上升,每一款手机中需要用到的滤波器数量也在不断上升。目前射频滤波器最主流的实现方式是声表面波滤波器和基于薄膜体声波谐振器技术的滤波器。薄膜体声波谐振器主要用 ...
【技术保护点】
1.一种射频滤波器的制作方法,其特征在于,包括:步骤S110、提供压电基板;步骤S120、在所述压电基板上形成金属电极层,并对所述金属电极层进行图形化;步骤S130、在图形化的金属电极层上涂覆光刻胶层,并对所述光刻胶层进行曝光、显影,以形成与所述图形化的金属电极层相一致的图形;步骤S140、在所述压电基板上形成初始的温度补偿层,所述初始的温度补偿层的厚度与所述金属电极层的厚度一致;步骤S150、剥离曝光、显影后的光刻胶层,并在图形化的金属电极层和所述初始的温度补偿层上形成最终的温度补偿层,所述最终的温度补偿层具有预设的厚度;步骤S160、在所述最终的温度补偿层的表面形成钝化层。
【技术特征摘要】
1.一种射频滤波器的制作方法,其特征在于,包括:步骤S110、提供压电基板;步骤S120、在所述压电基板上形成金属电极层,并对所述金属电极层进行图形化;步骤S130、在图形化的金属电极层上涂覆光刻胶层,并对所述光刻胶层进行曝光、显影,以形成与所述图形化的金属电极层相一致的图形;步骤S140、在所述压电基板上形成初始的温度补偿层,所述初始的温度补偿层的厚度与所述金属电极层的厚度一致;步骤S150、剥离曝光、显影后的光刻胶层,并在图形化的金属电极层和所述初始的温度补偿层上形成最终的温度补偿层,所述最终的温度补偿层具有预设的厚度;步骤S160、在所述最终的温度补偿层的表面形成钝化层。2.根据权利要求1所述的射频滤波器的制作方法,其特征在于,所述步骤S120中,采用干法刻蚀或者剥离工艺形成图形化的金属电极层。3.根据权利要求2所述的射频...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘建生,陈海龙,张树民,王国浩,汪泉,
申请(专利权)人:杭州左蓝微电子技术有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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