定位标位置检测方法、装置、计算机和存储介质制造方法及图纸

技术编号:19513078 阅读:20 留言:0更新日期:2018-11-21 08:51
本申请涉及一种定位标位置检测方法、装置、计算机和存储介质,所述方法包括获取包含定位标的图像;解析所述图像,确定所述定位标的第一位置;基于所述定位标的第一位置,检测预设区域内的灰阶的变化,根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置;根据所述定位标的边的位置,确定所述定位标的第二位置。通过在预设区域内检测灰阶的连续变化,确定定位标的边的位置,有效排除胶点或者污点造成的灰阶干扰,进而精确获取到定位标的位置,从而提高了偏移量的检测精度,使得曝光效果更佳。

【技术实现步骤摘要】
定位标位置检测方法、装置、计算机和存储介质
本专利技术涉及液晶制造
,特别是涉及定位标位置检测方法、装置、计算机和存储介质。
技术介绍
近年来,随着液晶器件的蓬勃发展,其生产规模越来越大;再考虑到产能和切割效率的影响,8.5代生产线已经不能满足市场的需要,所以10.5代线或11代生产线应运而生,再伴随着5G网络时代的提出,国内液晶面板厂商开始提出的“8425”战略,其中液晶面板还是主流。传统的8.5代生产线基板尺寸已经达到2200mm*2500mm,而随着生产线的换代升级,基板的尺寸随之增大,并增长到3000mm左右,大尺寸的基板需要成套的配套加工,如原材料、设备以及辅料,其中尤其是在加工的核心光刻工序,即黄光工序的加工更加复杂,首先,大尺寸的基板光刻需要相应的掩膜版,但是掩膜版一般是中间悬空、四周设有支撑,考虑到掩膜版必须保持水平状态才能保证曝光图形的完整性和一致性,如果掩膜版尺寸太大,一旦中间悬空,其会下垂甚至变形,进而导致曝光的图形变形和整个基板的不一致性,不能满足生产要求,所以就要保证掩膜版在保持较为平整的水平度的情况下对基板曝光,掩膜版的尺寸越小其水平效果越好保证,但是大尺寸面板的加工不可能使用太小的掩膜版出现;所以就需要使用相比基板尺寸小的、水平性也较好的掩膜版对基板进行曝光加工,这要求光刻工序必须进行多次曝光才能完成。基于此,现在行业内大世代线4.5代线以上的液晶基板加工一般至少需要2次以上的曝光,甚至是更多次,才能完成光刻工序。基板多次曝光就要考虑是掩膜版和光源移动还是基板移动,由于光源的光学系统的精确性和掩膜版的精密性比较高,所以,行业内采用的是基板移动,通过基板的多次移动实现多次光刻的完成。构成液晶屏的两个基板:ColorFilter(彩色滤光片)基板和Array(阵列)基本上都是需要多道光刻工序,由于基板尺寸较大,一道光刻工序需要多次曝光,所以第一道光刻工序比较重要,它必须先把基本轮廓给定下来,后续的光刻根据这个基本框架在进行对位光刻工序,第一道光刻工序需要定下需要加工图形的轮廓,往往需要测量不同此曝光的图形偏移量,行业内称为图形Shot(定位标)的偏移量,根据这个偏移量判定多次曝光结果的好与差,所以需要专门的检测设备检测这个偏移量。定位标的位置确认是通过抓取定位标的图像,并分析图像的灰阶变化确定定位标的位置,然而由于曝光后的面板在定位标附近容易粘附胶点或者存在污点,胶点或者污点对图像的灰阶造成影响,导致定位标的位置对位不准确,使测试的偏移量出现偏差,导致曝光效果较差。
技术实现思路
基于此,有必要针对上述技术问题,提供一种定位标位置检测方法、装置、计算机和存储介质。一种定位标位置检测方法,所述方法包括:获取包含定位标的图像;解析所述图像,确定所述定位标的第一位置;基于所述定位标的第一位置,检测预设区域内的灰阶的变化,根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置;根据所述定位标的边的位置,确定所述定位标的第二位置。在其中一个实施例中,所述基于所述定位标的第一位置,检测预设区域内的灰阶的变化,根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置的步骤包括:基于所述定位标的所述第一位置,通过定位框选取区域;以所述定位框内选取的区域为所述预设区域,检测所述预设区域内的灰阶的变化,根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置。在其中一个实施例中,所述基于所述定位标的所述第一位置,通过定位框选取区域的步骤中,所述定位框的数量为多个。在其中一个实施例中,所述基于所述定位标的第一位置,检测预设区域内的灰阶的变化,根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置的步骤包括:基于所述定位标的所述第一位置,检测预设区域内的灰阶的变化;根据所述预设区域内灰阶的变化的点的集合,确定所述定位标的边的位置。在其中一个实施例中,所述根据所述预设区域内灰阶的变化的点的集合,确定所述定位标的边的位置的步骤包括:根据所述预设区域内灰阶的连续变化的多个点的集合,确定所述定位标的边的位置。一种定位标位置检测装置,所述装置包括:图像获取模块,用于获取包含定位标的图像;第一位置确定模块,用于解析所述图像,确定所述定位标的第一位置;灰阶检测模块,用于基于所述定位标的第一位置,检测预设区域内的灰阶的变化,根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置;第二位置确定模块,用于根据所述定位标的边的位置,确定所述定位标的第二位置。在其中一个实施例中,所述灰阶检测模块包括:定位框选取单元,用于基于所述定位标的所述第一位置,通过定位框选取区域;灰阶检测单元,用于以所述定位框内选取的区域为所述预设区域,检测所述预设区域内的灰阶的变化,根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置。在其中一个实施例中,所述灰阶检测模块包括:灰阶变化检测单元,用于基于所述定位标的所述第一位置,检测预设区域内的灰阶的变化;边位置确定单元,用于根据所述预设区域内灰阶的变化的点的集合,确定所述定位标的边的位置。一种计算机设备,包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序,所述处理器执行所述计算机程序时实现以下步骤:获取包含定位标的图像;解析所述图像,确定所述定位标的第一位置;基于所述定位标的第一位置,检测预设区域内的灰阶的变化,根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置;根据所述定位标的边的位置,确定所述定位标的第二位置。一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器执行时实现以下步骤:获取包含定位标的图像;解析所述图像,确定所述定位标的第一位置;基于所述定位标的第一位置,检测预设区域内的灰阶的变化,根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置;根据所述定位标的边的位置,确定所述定位标的第二位置。上述定位标位置检测方法、装置、计算机和存储介质,通过在预设区域内检测灰阶的连续变化,确定定位标的边的位置,有效排除胶点或者污点造成的灰阶干扰,进而精确获取到定位标的位置,从而提高了偏移量的检测精度,使得曝光效果更佳。附图说明图1为一个实施例中定位标位置检测方法的应用环境图;图2为一个实施例中定位标位置检测方法的流程示意图;图3为一个实施例中定位标位置检测装置的结构框图;图4为一个实施例中计算机设备的内部结构图;图5为另一个实施例中计算机设备的内部结构图;图6A为传统的定位标位置检测中定位标与背景图像的色阶变化检测位置的图形示意图;图6B为一个实施例中的定位标与背景图像的色阶变化检测位置的图形示意图。具体实施方式为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本申请进行进一步详细说明。应当理解,此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请,并不用于限定本申请。本申请提供的定位标位置检测方法,可以应用于如图1所示的应用环境中。其中,图像传感器102通过数据接口与计算机104进行通信。其中,计算机104可以用独立的服务器或者是多个服务器组成的服务器集群来实现。图像传感器102获取包含定位标的图像,计算机104解析所述图像,确定所述定位标的第一位置,基于所述定位标的第一位置,检测预设区域内的灰阶的变化,根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种定位标位置检测方法,其特征在于,包括:获取包含定位标的图像;解析所述图像,确定所述定位标的第一位置;基于所述定位标的第一位置,检测预设区域内的灰阶的变化,根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置;根据所述定位标的边的位置,确定所述定位标的第二位置。

【技术特征摘要】
1.一种定位标位置检测方法,其特征在于,包括:获取包含定位标的图像;解析所述图像,确定所述定位标的第一位置;基于所述定位标的第一位置,检测预设区域内的灰阶的变化,根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置;根据所述定位标的边的位置,确定所述定位标的第二位置。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基于所述定位标的第一位置,检测预设区域内的灰阶的变化,根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置的步骤包括:基于所述定位标的所述第一位置,通过定位框选取区域;以所述定位框内选取的区域为所述预设区域,检测所述预设区域内的灰阶的变化,根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置。3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述基于所述定位标的所述第一位置,通过定位框选取区域的步骤中,所述定位框的数量为多个。4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基于所述定位标的第一位置,检测预设区域内的灰阶的变化,根据所述预设区域内的灰阶的变化确定所述定位标的边的位置的步骤包括:基于所述定位标的所述第一位置,检测预设区域内的灰阶的变化;根据所述预设区域内灰阶的变化的点的集合,确定所述定位标的边的位置。5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述根据所述预设区域内灰阶的变化的点的集合,确定所述定位标的边的位置的步骤包括:根据所述预设区域内灰阶的连续变化的多个点的集合...

【专利技术属性】
技术研发人员:陆书鑫方金波仝建军李伟界黄伟东李建华
申请(专利权)人:信利惠州智能显示有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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