一种上下镀膜旋转靶机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种上下镀膜旋转靶机，包括一组单靶靶机和一组双靶靶机，所述单靶靶机和双靶靶机均包括靶机装配座、腔体、基板、传输轮和下腔体盖板组成，所述基板和传输轮安装在腔体内，基板设置在传输轮上方，所述单靶靶机腔体内上下各设有一支靶材背管，所述双靶靶机腔体内上下各设有两支靶材背管，每一支靶材背管对应装配一底座模块，所述底座模块内分别设有独立的冷却水路模块、传动模块及靶材背管连接固定座模块。本实用新型专利技术实现正面镀、背面镀或一次性双面同时镀膜运用需求，安装简便维修快速，共享性设计可充分满足使用者对多变的市场需求一机多用、多样且弹性的共享性装配，大大的降低了设备的占地面积、人员成本、设备成本及生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种上下镀膜旋转靶机
本技术涉及镀膜生产设备
，尤其涉及一种上下镀膜旋转靶机。
技术介绍
目前在物理气象沉积(PVD)真空设备中，所采用的传统”旋转靶机”设计方式，传统靶机为固定的配置模式，当产品必须正面镀膜时，传统靶机就必须由正面安装，并由正面吊装维修，由背面镀膜时，传统靶机就必须由背面安装，并由背面吊装维修，当双面镀膜时，势必需要在设备两侧配置吊装设备及足够的空间才能进行装配及维修，增加设备费用，浪费维修空间，时间及多余人力；传统靶机为客制化单一固定尺寸之模块设计，无法直接因应多变的产品或市场需求，以进行随意的正面或背面随意且弹性现地调整；传统靶机在目前物理气象沉积(PVD)真空设备对应之各种产业之产品镀膜，尤其对需要双面镀膜的工艺，靶机数量及设备长度衍生的基本成本一直受到直接的限制，无法提升产品的净利润，限制了市场竞争力；此传统旋转阴极设计方式造成靶机数量居高不下，更直接左右整体设备制造成本。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种上下镀膜旋转靶机。为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：一种上下镀膜旋转靶机，包括一组单靶靶机和一组双靶靶机，所述单靶靶机和双靶靶机均包括靶机装配座、腔体、基板、传输轮和下腔体盖板，所述基板和传输轮安装在腔体内，基板设置在传输轮上方，所述单靶靶机腔体内上下各设有一支靶材背管，所述双靶靶机腔体内上下各设有两支靶材背管，每一支靶材背管对应装配一底座模块，所述底座模块内分别设有独立的冷却水路模块、传动模块及靶材背管连接固定座模块。进一步的，所述双靶靶机上下各两支靶材背管两两对应并列设置。进一步的，所述冷却水路模块采用独立冷却循环管路设计。由上述对本技术结构的描述可知，和现有技术相比，本技术具有如下优点：本技术实现正面镀、背面镀或一次性双面同时镀膜运用需求,并可以由同一安装方向,快速完成靶机吊装及靶才更换，安装简便维修快速，附加之共享性设计可充分满足使用者对多变的市场需求直接进行一机多用、多样且弹性的共享性装配，有效降低设计及后续产品运用之成本，成功提升物理气象沉积真空溅镀设备产业运用之多向性及永续性，大大的降低了设备的占地面积、人员成本、设备成本及生产成本，以更有效的满足现行各种产业之物理气象沉积(PVD)真空溅镀设备之被镀物镀膜方式的运用。附图说明构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术一种上下镀膜旋转靶机的结构示意图；图2为本技术一种上下镀膜旋转靶机的侧视结构示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。实施例参考图1、图2，一种上下镀膜旋转靶机，包括一组单靶靶机1和一组双靶靶机2，所述单靶靶机1和双靶靶机2均包括靶机装配座3、腔体4、基板5、传输轮6和下腔体盖板7，所述基板5和传输轮6安装在腔体4内，基板5设置在传输轮6上方，所述单靶靶机1腔体内上下各设有一支靶材背管8，所述双靶靶机2腔体内上下各设有两支靶材背管8，所述双靶靶机2上下各两支靶材背管8两两对应并列设置，每一支靶材背管8对应装配一底座模块9，所述底座模块9内分别设有独立的冷却水路模块、传动模块及靶材背管连接固定座模块，所述冷却水路模块采用独立冷却循环管路设计。工作原理：本技术共有三种实施运用模式，具体说明如下：模式一：(上/下靶同时镀膜)(正/背面同时镀膜)传动方式：上/下各单靶及上/下各双靶背管均采用上下独立传动控制方式，当采用上/下同时(正/背)镀膜时,上/下靶背管可以被个别独立驱动；被镀基板通过镀膜方式：被镀之基板由上/下靶材背管之中间通过并完成该靶机之上/下同时镀膜；冷却方式：上/下各单靶及上/下各双靶背管均采用单靶独立冷却循环管路设计，当采用上/下同时(正/背)镀膜时,上/下靶背管可以被个别独立冷却；电源控制方式：上/下各单靶及上/下各双靶均采用各单靶独立电源控制，当采用上/下同时(正/背)镀膜时,上/下靶之电源可以被独立开启及控制；模式二：(上靶镀膜)(正面镀膜)传动方式：上/下各单靶及上/下各双靶背管均采用上下独立传动控制方式；当采用上靶(正面)镀膜时,上/下靶背管可以被个别独立驱动；被镀基板通过镀膜方式：被镀之基板由上靶材背管之下方或下靶材背管上方通过，并完成该靶机之上面(正面)镀膜；冷却方式：上/下各单靶及上/下各双靶背管均采用各单靶独立冷却循环管路设计，当采用上靶(正面)镀膜时,上/下靶背管可以被个别独立冷却；电源控制方式：上/下各单靶及上/下各双靶均采用单靶独立电源控制，当采用上靶(正面)镀膜时,下靶之电源关闭，上靶之电源可以被独立开启及控制；模式三：(下靶镀膜)(背面镀膜)传动方式：上/下各上单靶及上/下各双靶背管均采用上下独立传动控制方式，当采用下靶(背面)镀膜时,上/下靶背管可以被个别独立驱动；被镀基板通过镀膜方式：被镀之基板由上靶材背管之下方或下靶材背管上方通过，并完成该靶机之上面(正面)镀膜；冷却方式：上/下各单靶及上/下各双靶背管均采用各单靶独立冷却循环管路设计，当采用上靶(正面)镀膜时,上/下靶背管可以被个别独立冷却；电源控制方式：上/下各单靶及上/下各双靶均采用单靶独立电源控制，当采用上靶(正面)镀膜时,下靶之电源关闭，上靶之电源可以被独立开启及控制。本专利技术实现正面镀、背面镀或一次性双面同时镀膜运用需求,并可以由同一安装方向,快速完成靶机吊装及靶才更换，安装简便维修快速，附加之共享性设计可充分满足使用者对多变的市场需求直接进行一机多用、多样且弹性的共享性装配，有效降低设计及后续产品运用之成本，成功提升物理气象沉积真空溅镀设备产业运用之多向性及永续性，大大的降低了设备的占地面积、人员成本、设备成本及生产成本，以更有效的满足现行各种产业之物理气象沉积(PVD)真空溅镀设备之被镀物镀膜方式的运用。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种上下镀膜旋转靶机，其特征在于：包括一组单靶靶机(1)和一组双靶靶机(2)，所述单靶靶机(1)和双靶靶机(2)均包括靶机装配座(3)、腔体(4)、基板(5)、传输轮(6)和下腔体盖板(7)，所述基板(5)和传输轮(6)安装在腔体(4)内，基板(5)设置在传输轮(6)上方，所述单靶靶机(1)腔体内上下各设有一支靶材背管(8)，所述双靶靶机(2)腔体内上下各设有两支靶材背管(8)，每一支靶材背管(8)对应装配一底座模块(9)，所述底座模块(9)内分别设有独立的冷却水路模块、传动模块及靶材背管连接固定座模块。

【技术特征摘要】
1.一种上下镀膜旋转靶机，其特征在于：包括一组单靶靶机(1)和一组双靶靶机(2)，所述单靶靶机(1)和双靶靶机(2)均包括靶机装配座(3)、腔体(4)、基板(5)、传输轮(6)和下腔体盖板(7)，所述基板(5)和传输轮(6)安装在腔体(4)内，基板(5)设置在传输轮(6)上方，所述单靶靶机(1)腔体内上下各设有一支靶材背管(8)，所述双靶靶机(2)腔体内上下各设...

【专利技术属性】
技术研发人员：林朝晖，张建德，张延任，王俊尧，王树林，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35