太阳能电池片湿氧扩散工艺制造技术

本发明专利技术涉及太阳能电池片扩散技术领域，尤其涉及一种太阳能电池片湿氧扩散工艺，采用湿氧氧化，能够提高沉积速率，降低时间，提高硅片氧化膜的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
太阳能电池片湿氧扩散工艺
本专利技术涉及太阳能电池片扩散
，尤其涉及一种太阳能电池片湿氧扩散工艺。
技术介绍
扩散工序是太阳能电池车间的核心工序，通过源扩散制作PN结的质量直接影响整个电池片的效率，其原理是将硅片放置在石英舟上进入炉管内部，然后通气反应生成磷单质附着在硅片表面，再通过高温扩散至内部形成PN结。扩散后的抛光工序，需先将背面进行抛光，为防止正面不被抛光，需在其表面附着一层均匀的厚氧化膜，来防止抛光过程中正面被腐蚀；目前扩散通过干氧氧化得到的厚氧化膜所需的时间较长，且均匀性不佳，在洗磷工序抛光时正面的PN结会受到不同程度的影响，最终影响电池片的开压与填充，严重情况下还会影响外观不良。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是：为了解决扩散后氧化均匀性较差及时间较长的问题，本专利技术提供一种太阳能电池片湿氧扩散工艺。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种太阳能电池片湿氧扩散工艺，包括如下步骤：1)进舟:管内温度控制在800℃±10℃，通有5±0.05L/min的氮气，压力值为100±0.2Kpa，时间1120s，进舟速度为800±10mm/min；2)抽真空：管内温度控制在800℃±10℃，无气体通入，真空泵工作，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；3)检漏：管内温度控制在800℃±10℃，无气体通入，真空泵停止工作，保证炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间60s；4)干氧氧化：管内温度控制在800℃±10℃，通有1.4±0.05L/min的大氮，1.0±0.05L/min的大氧，保证炉管内压力值为15±0.2Kpa，时间500s；5)一次通源：管内温度控制在800℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通过温度在20±1℃的源瓶，将源带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间310s；6)一次推结：管内温度控制在810℃±10℃，升温速率为5±1℃/min，通有2±0.05L/min的氮气，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间205s；7)二次通源：管内温度控制在810℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通过温度在20±1℃的源瓶，将源带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间310s；8)二次推结：管内温度控制在825℃±10℃，升温速率为5±1℃/min，通有2.0±0.05L/min的大氮，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间480s；9)三次通源：管内温度控制在825℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通过温度在20±1℃的源瓶，将源带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间200s；10)三次推结：管内温度控制在845℃±10℃，升温速率为5±1℃/min，通有2.0±0.05L/min的大氮，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；11)恒温氧化：管内温度控制在845℃±10℃，通有0.5±0.05L/min的大氮，2.0±0.05L/min的小氧，其中小氧通过温度在20±1℃的水瓶，将水带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；12)降温氧化：管内温度控制在760℃±10℃，降温速率为6±2℃/min，通有0.5±0.05L/min的大氮，2.0±0.05L/min的小氧，其中小氧通过温度在20±1℃的水瓶，将水带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间2000s；13)充气：管内温度控制在760℃±10℃，降温速率为20±5℃/min，通有3±0.05L/min的氮气，保证炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间200s；14)出舟：管内温度控制在800℃±10℃，通有2±0.05L/min的氮气，炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间1000s，出舟速度为500±10mm/min。本专利技术的有益效果是，本专利技术的太阳能电池片湿氧扩散工艺，采用湿氧氧化，能够提高沉积速率，降低时间，提高硅片氧化膜的均匀性。具体实施方式一种太阳能电池片湿氧扩散工艺，包括如下步骤：1)进舟：清洗后的硅片放入管内，管内温度控制在800℃±10℃，通有5±0.05L/min的氮气，压力值为100±0.2Kpa，时间1120s，进舟速度为800±10mm/min；2)抽真空：管内温度控制在800℃±10℃，无气体通入，真空泵工作，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；3)检漏：管内温度控制在800℃±10℃，无气体通入，真空泵停止工作，保证炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间60s；4)干氧氧化：管内温度控制在800℃±10℃，通有1.4±0.05L/min的大氮，1.0±0.05L/min的大氧，保证炉管内压力值为15±0.2Kpa，时间500s；5)一次通源：管内温度控制在800℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通过温度在20±1℃的源瓶，将源带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间310s；6)一次推结：管内温度控制在810℃±10℃，升温速率为5±1℃/min，通有2±0.05L/min的氮气，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间205s；7)二次通源：管内温度控制在810℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通过温度在20±1℃的源瓶，将源带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间310s；8)二次推结：管内温度控制在825℃±10℃，升温速率为5±1℃/min，通有2.0±0.05L/min的大氮，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间480s；9)三次通源：管内温度控制在825℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通过温度在20±1℃的源瓶，将源带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间200s；10)三次推结：管内温度控制在845℃±10℃，升温速率为5±1℃/min，通有2.0±0.05L/min的大氮，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；11)恒温氧化：管内温度控制在845℃±10℃，通有0.5±0.05L/min的大氮，2.0±0.05L/min的小氧，其中小氧通过温度在20±1℃的水瓶，将水带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；12)降温氧化：管内温度控制在760℃±10℃，降温速率为6±2℃/min，通有0.5±0.05L/min的大氮，2.0±0.05L/min的小氧，其中小氧通过温度在20±1℃的水瓶，将水带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间2000s；13)充气：管内温度控制在760℃±10℃，降温速率为20±5℃/min，通有3±0.0本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能电池片湿氧扩散工艺，其特征在于：包括如下步骤：1)进舟：管内温度控制在800℃±10℃，通有5±0.05L/min的氮气，压力值为100±0.2Kpa，时间1120s，进舟速度为800±10mm/min；2)抽真空：管内温度控制在800℃±10℃，无气体通入，真空泵工作，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；3)检漏：管内温度控制在800℃±10℃，无气体通入，真空泵停止工作，保证炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间60s；4)干氧氧化：管内温度控制在800℃±10℃，通有1.4±0.05L/min的大氮，1.0±0.05L/min的大氧，保证炉管内压力值为15±0.2Kpa，时间500s；5)一次通源：管内温度控制在800℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通过温度在20±1℃的源瓶，将源带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间310s；6)一次推结：管内温度控制在810℃±10℃，升温速率为5±1℃/min，通有2±0.05L/min的氮气，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间205s；7)二次通源：管内温度控制在810℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通过温度在20±1℃的源瓶，将源带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间310s；8)二次推结：管内温度控制在825℃±10℃，升温速率为5±1℃/min，通有2.0±0.05L/min的大氮，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间480s；9)三次通源：管内温度控制在825℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通过温度在20±1℃的源瓶，将源带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间200s；10)三次推结：管内温度控制在845℃±10℃，升温速率为5±1℃/min，通有2.0±0.05L/min的大氮，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；11)恒温氧化：管内温度控制在845℃±10℃，通有0.5±0.05L/min的大氮，2.0±0.05L/min的小氧，其中小氧通过温度在20±1℃的水瓶，将水带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；12)降温氧化：管内温度控制在760℃±10℃，降温速率为6±2℃/min，通有0.5±0.05L/min的大氮，2.0±0.05L/min的小氧，其中小氧通过温度在20±1℃的水瓶，将水带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间2000s；13)充气：管内温度控制在760℃±10℃，降温速率为20±5℃/min，通有3±0.05L/min的氮气，保证炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间200s；14)出舟：管内温度控制在800℃±10℃，通有2±0.05L/min的氮气，炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间1000s，出舟速度为500±10mm/min。...

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池片湿氧扩散工艺，其特征在于：包括如下步骤：1)进舟：管内温度控制在800℃±10℃，通有5±0.05L/min的氮气，压力值为100±0.2Kpa，时间1120s，进舟速度为800±10mm/min；2)抽真空：管内温度控制在800℃±10℃，无气体通入，真空泵工作，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；3)检漏：管内温度控制在800℃±10℃，无气体通入，真空泵停止工作，保证炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间60s；4)干氧氧化：管内温度控制在800℃±10℃，通有1.4±0.05L/min的大氮，1.0±0.05L/min的大氧，保证炉管内压力值为15±0.2Kpa，时间500s；5)一次通源：管内温度控制在800℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通过温度在20±1℃的源瓶，将源带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间310s；6)一次推结：管内温度控制在810℃±10℃，升温速率为5±1℃/min，通有2±0.05L/min的氮气，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间205s；7)二次通源：管内温度控制在810℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通过温度在20±1℃的源瓶，将源带出，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间310s；8)二次推结：管内温度控制在825℃±1...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁华斌，王晨，符亮，张凯胜，姚伟忠，孙铁囤，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32