一种磁性材料真空镀膜设备制造技术

本发明专利技术公开了一种磁性材料真空镀膜设备，其真空室内位于镀膜材料蒸发装置上方设有磁性材料装载架，磁性材料装载架的左端与第一轴体转动连接；第一轴体的右端轴连接第一齿轮，第一轴体的左端固定于真空室左侧壁上；磁性材料装载架的右端与第二轴体左端相固定，第二轴体通过第二轴承与真空室侧壁转动连接，第二轴体与第一电机的输出轴轴连接；磁性材料装载架内还设有多个夹持转动机构，各夹持转动机构均包括一与第一齿轮相啮合的第二齿轮，通过第一、第二齿轮之间的动力传递，实现各夹持转动机构带动其所夹持的磁性材料体转动。本发明专利技术在镀膜过程中能够实现整体磁性材料转动，还能够实现每个磁性材料体单独转动，从而能够对多个磁性材料体均匀镀膜。

【技术实现步骤摘要】
一种磁性材料真空镀膜设备
本专利技术涉及磁性材料真空镀膜领域，特别涉及一种磁性材料真空镀膜设备。
技术介绍
NdFeB永磁体具备较高的综合磁性能，其价格相对低廉，并且具备充足的资源储备，因此，能够广泛取代传统的Sm-Co永磁体，得以广泛应用。然而NdFeB永磁体在通常环境下很容易受到腐蚀，尤其是在较高温度或较大湿度时，会加快被氧化速度，致使其永磁体性能严重恶化并导致结构失效。因此提高NdFeB永磁体的抗高温高湿氧化性便成为本领域技术人员研究的一个重要方向。目前改善NdFeB永磁体抗氧化性的方法主要为对其表面通过电镀的方式镀上铝层，然而电镀会导致大量污水产生，污水中含大量强酸、强碱及重金属离子甚至氰化物等有害化学品，这些有毒有害物质通过废水和废渣排入环境，造成大量污染。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种高效的能够均匀镀膜的磁性材料真空镀膜设备，能够同时对多个磁性材料体进行均匀镀膜，在镀膜的过程中不但整体磁性材料在转动，而且每个磁性材料体还在单独转动，从而使得在各个磁性材料体上能够同时镀上均匀的保护膜。本专利技术的技术方案是：一种磁性材料真空镀膜设备，包括真空室，真空室与抽真空装置连接，真空室内部的下端设置镀膜材料蒸发装置，所述真空室内部位于所述镀膜材料蒸发装置上方设有磁性材料装载架，磁性材料装载架的左端被第一轴体穿入，其中第一轴体固定套接于第一轴承的内圈中，第一轴承的外圈与磁性材料装载架相固定；所述第一轴体的右端轴连接有第一齿轮，第一轴体的左端固定于真空室的左侧壁上；所述磁性材料装载架的右端与第二轴体的左端相固定，第二轴体固定套接于第二轴承的内圈中，第二轴承的外圈与真空室侧壁相固定，第二轴体的右端与第一电机的输出轴轴连接，第一电机固定于真空室的侧壁上；所述磁性材料装载架的内部还设有多个用于分别夹持住不同的磁性材料体并使被夹持住的各个磁性材料体在镀膜的过程中进行转动的夹持转动机构，各夹持转动机构均包括一与所述第一齿轮相啮合的第二齿轮，通过第一齿轮和第二齿轮之间的动力传递，使得各夹持转动机构能够带动其所夹持的磁性材料体转动。上述夹持转动机构包括左半部夹持转动体和右半部夹持转动体，其中左半部夹持转动体包括转轴，所述转轴的左端通过第二轴承与磁性材料装载架的左端连接，转轴的右端与左夹持块固定连接，左夹持块的与磁性材料体相接触的面上设有多个用于增大夹持摩擦力的突起，转轴的中部固定套接所述第二齿轮；所述右半部夹持转动体包括设有内螺纹的套筒，套筒的左端与右夹持块相固定，套筒内螺纹连接有螺杆，螺杆的右端通过另一个第二轴承与磁性材料装载架的右端连接，所述右夹持块的与磁性材料体相接触的面上也设有多个用于增大夹持摩擦力的突起，所述螺杆上还设有便于旋转螺杆的把手。上述夹持转动机构的数量为2-4个，且它们在所述磁性材料装载架内绕所述第一齿轮的周向均匀分布；所述转轴与第一轴体相平行。上述第一电机通过电机支架固定于真空室侧壁上；所述第二轴承的外圈通过支撑架固定于真空室侧壁上。上述镀膜材料蒸发装置包括蒸发舟，蒸发舟设于转台上，转台包括台面，台面通过转动轴与第二电机轴连接，第二电机固定于真空室的下壁上，所述蒸发舟固定于台面上。本专利技术的有益效果：本专利技术实施例中，提供了一种磁性材料真空镀膜设备，通过第一电机的转动，能够带动磁性材料装载架、第一齿轮以及第二齿轮同时转动，进而带动夹持有磁性材料体的各个夹持转动机构各自转动，从而实现在镀膜的过程中，整体磁性材料转动的同时，各个磁性材料体也同时实现各自转动的目的，通过磁性材料的该转动方式能够同时对多个磁性材料体进行均匀镀膜，由于在镀膜的过程中不但整体磁性材料在转动，而且每个磁性材料体还在单独转动，因此使得在各个磁性材料体上能够同时镀上均匀的保护膜。附图说明图1为本专利技术的整体结构示意图；图2为本专利技术夹持转动机构的右半部夹持转动体结构示意图；图3为本专利技术夹持转动机构的左半部夹持转动体结构示意图；图4为磁性材料体装载在磁性材料装载架内的右视分布示意图。具体实施方式下面结合附图，对本专利技术的一个具体实施方式进行详细描述，但应当理解本专利技术的保护范围并不受具体实施方式的限制。参见图1，本专利技术实施例提供了一种磁性材料真空镀膜设备，一种磁性材料真空镀膜设备，包括真空室1，真空室1与抽真空装置连接，真空室1内部的下端设置镀膜材料蒸发装置，所述真空室1内部位于所述镀膜材料蒸发装置上方设有磁性材料装载架2，磁性材料装载架2的左端被第一轴体11穿入，其中第一轴体11固定套接于第一轴承13的内圈中，第一轴承13的外圈与磁性材料装载架2相固定；所述第一轴体11的右端轴连接有第一齿轮10，第一轴体11的左端固定于真空室1的左侧壁上；所述磁性材料装载架2的右端与第二轴体12的左端相固定，第二轴体12固定套接于第二轴承14的内圈中，第二轴承14的外圈与真空室1侧壁相固定，第二轴体12的右端与第一电机15的输出轴轴连接，第一电机15固定于真空室1的侧壁上；所述磁性材料装载架2的内部还设有多个用于分别夹持住不同的磁性材料体17并使被夹持住的各个磁性材料体17在镀膜的过程中进行转动的夹持转动机构，各夹持转动机构均包括一与所述第一齿轮10相啮合的第二齿轮5，通过第一齿轮10和第二齿轮5之间的动力传递，使得各夹持转动机构能够带动其所夹持的磁性材料体17转动。本专利技术通过第一电机的转动，能够带动磁性材料装载架、第一齿轮以及第二齿轮同时转动，进而带动夹持有磁性材料体的各个夹持转动机构各自转动，从而实现在镀膜的过程中，整体磁性材料转动的同时，各个磁性材料体也同时实现各自转动的目的，通过磁性材料的该转动方式能够同时对多个磁性材料体进行均匀镀膜，由于在镀膜的过程中不但整体磁性材料在转动，而且每个磁性材料体还在单独转动，因此使得在各个磁性材料体上能够同时镀上均匀的保护膜。本专利技术通过合适的蒸发舟能够实现将铝材料均匀的蒸发镀膜到磁性材料体上，其中蒸发舟可采用BN蒸发舟。进一步地，所述夹持转动机构包括左半部夹持转动体和右半部夹持转动体，参见图3，其中左半部夹持转动体包括转轴9，所述转轴9的左端通过第二轴承8与磁性材料装载架2的左端连接，转轴9的右端与左夹持块7固定连接，左夹持块7的与磁性材料体17相接触的面上设有多个用于增大夹持摩擦力的突起21，转轴9的中部固定套接所述第二齿轮5；参见图2，所述右半部夹持转动体包括设有内螺纹的套筒4，套筒4的左端与右夹持块22相固定，套筒4内螺纹连接有螺杆6，螺杆6的右端通过另一个第二轴承8与磁性材料装载架2的右端连接，所述右夹持块22的与磁性材料体17相接触的面上也设有多个用于增大夹持摩擦力的突起21，所述螺杆6上还设有便于旋转螺杆6的把手3。进一步地，所述夹持转动机构的数量为2-4个，且它们在所述磁性材料装载架2内绕所述第一齿轮10的周向均匀分布，其中图4所示为夹持转动机构的数量为4个时，4个磁性材料体装载在磁性材料装载架内的右视分布示意图；所述转轴9与第一轴体11相平行。进一步地，所述第一电机15通过电机支架16固定于真空室1侧壁上；所述第二轴承14的外圈通过支撑架固定于真空室1侧壁上。所述第一电机15通过第一电机控制开关与电源电连接。进一步地，所述镀膜材料蒸发装置包括蒸发舟18，蒸发舟18设于转台上，转台包括台面19，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁性材料真空镀膜设备，包括真空室(1)，真空室(1)与抽真空装置连接，真空室(1)内部的下端设置镀膜材料蒸发装置，其特征在于，所述真空室(1)内部位于所述镀膜材料蒸发装置上方设有磁性材料装载架(2)，磁性材料装载架(2)的左端被第一轴体(11)穿入，其中第一轴体(11)固定套接于第一轴承(13)的内圈中，第一轴承(13)的外圈与磁性材料装载架(2)相固定；所述第一轴体(11)的右端轴连接有第一齿轮(10)，第一轴体(11)的左端固定于真空室(1)的左侧壁上；所述磁性材料装载架(2)的右端与第二轴体(12)的左端相固定，第二轴体(12)固定套接于第二轴承(14)的内圈中，第二轴承(14)的外圈与真空室(1)侧壁相固定，第二轴体(12)的右端与第一电机(15)的输出轴轴连接，第一电机(15)固定于真空室(1)的侧壁上；所述磁性材料装载架(2)的内部还设有多个用于分别夹持住不同的磁性材料体(17)并使被夹持住的各个磁性材料体(17)在镀膜的过程中进行转动的夹持转动机构，各夹持转动机构均包括一与所述第一齿轮(10)相啮合的第二齿轮(5)，通过第一齿轮(10)和第二齿轮(5)之间的动力传递，使得各夹持转动机构能够带动其所夹持的磁性材料体(17)转动。...

【技术特征摘要】
1.一种磁性材料真空镀膜设备，包括真空室(1)，真空室(1)与抽真空装置连接，真空室(1)内部的下端设置镀膜材料蒸发装置，其特征在于，所述真空室(1)内部位于所述镀膜材料蒸发装置上方设有磁性材料装载架(2)，磁性材料装载架(2)的左端被第一轴体(11)穿入，其中第一轴体(11)固定套接于第一轴承(13)的内圈中，第一轴承(13)的外圈与磁性材料装载架(2)相固定；所述第一轴体(11)的右端轴连接有第一齿轮(10)，第一轴体(11)的左端固定于真空室(1)的左侧壁上；所述磁性材料装载架(2)的右端与第二轴体(12)的左端相固定，第二轴体(12)固定套接于第二轴承(14)的内圈中，第二轴承(14)的外圈与真空室(1)侧壁相固定，第二轴体(12)的右端与第一电机(15)的输出轴轴连接，第一电机(15)固定于真空室(1)的侧壁上；所述磁性材料装载架(2)的内部还设有多个用于分别夹持住不同的磁性材料体(17)并使被夹持住的各个磁性材料体(17)在镀膜的过程中进行转动的夹持转动机构，各夹持转动机构均包括一与所述第一齿轮(10)相啮合的第二齿轮(5)，通过第一齿轮(10)和第二齿轮(5)之间的动力传递，使得各夹持转动机构能够带动其所夹持的磁性材料体(17)转动。2.如权利要求1所述的一种磁性材料真空镀膜设备，其特征在于，所述夹持转动机构包括左半部夹持转动体和右半部夹持转动体，其中左半部夹持转动体包括转轴(9)，所述转轴(9)的左端通过第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨亦云，
申请(专利权)人：安康学院，
类型：发明
国别省市：陕西,61