涂布液供给装置及操作方法、涂布机、隔垫物的制作方法制造方法及图纸

一种涂布液供给装置及操作方法、涂布机、隔垫物的制作方法，该涂布液供给装置包括依次连接的加压控制阀、涂布液存储容器、缓冲存储容器和吸液泵；在加压控制阀打开的情况下，涂布液存储容器的加压口被施加压力，以使涂布液存储容器中的涂布液流入缓冲存储容器中；缓冲存储容器用于存储来自涂布液存储容器的涂布液；吸液泵用于从缓冲存储容器中吸取涂布液。加压控制阀包括输入口、第一输出口和第二输出口，第一输出口连接涂布液存储容器的加压口，第二输出口在涂布液存储容器中存储有涂布液时保持关闭；或者，加压控制阀为两通阀，其包括输入口以及连接涂布液存储容器的加压口的输出口。该涂布液供给装置可以提高隔垫物高度的一致性。

【技术实现步骤摘要】
涂布液供给装置及操作方法、涂布机、隔垫物的制作方法
本公开实施例涉及一种涂布液供给装置及操作方法、涂布机、隔垫物的制作方法。
技术介绍
在显示面板的生产过程中，通常采用涂布机将涂布液涂在基板上以形成薄膜。例如，在薄膜的制备过程中，使涂布机的涂布头以设定的速度沿待涂布基板表面从基板的一侧边缘移动到相对的另一侧边缘，同时涂布头的涂布口处以设定的速度吐出涂布液，随着涂布头的移动，涂布液被涂布到基板的表面上以形成相应的薄膜。
技术实现思路
本公开实施例提供一种涂布液供给装置及操作方法、涂布机、隔垫物的制作方法，本公开实施例可以提高隔垫物的平均高度的一致性。本公开的至少一个实施例提供一种涂布液供给装置，其包括依次连接的加压控制阀、涂布液存储容器、缓冲存储容器和吸液泵；所述涂布液存储容器用于存储涂布液并且包括加压口和出液口；在所述加压控制阀打开的情况下，所述涂布液存储容器的加压口被施加压力，以使所述涂布液存储容器中的涂布液通过所述出液口流入所述缓冲存储容器中；所述缓冲存储容器用于存储从所述涂布液存储容器的出液口流出的涂布液；所述吸液泵用于从所述缓冲存储容器中吸取涂布液。所述加压控制阀包括输入口、第一输出口和第二输出口，所述第一输出口连接所述涂布液存储容器的加压口，所述第二输出口在所述涂布液存储容器中存储有涂布液时保持关闭；或者，所述加压控制阀为两通阀，其包括输入口以及连接所述涂布液存储容器的加压口的输出口。例如，所述涂布液存储容器还设置有安全阀，所述安全阀在所述涂布液存储容器内的气压超过所述安全阀的规定值的情况下自动打开，以减小所述涂布液存储容器内的气压。例如，在所述加压控制阀包括输入口、第一输出口和第二输出口的情况下，所述安全阀与所述加压控制阀信号连接。例如，所述的液位供给装置还包括液位控制阀，所述液位控制阀与所述涂布液存储容器的出液口和所述缓冲存储容器连接；在所述涂布液存储容器的加压口被施加压力的情况下，所述液位控制阀打开；在所述吸液泵从所述缓冲存储容器中吸取涂布液的过程中，所述液位控制阀关闭。例如，所述的液位供给装置还包括液位传感器，所述液位传感器用于检测所述缓冲存储容器中的涂布液的液位，并且将液位检测结果输出至所述液位控制阀。例如，所述缓冲存储容器包括下进液口、下出液口和上排废口，所述下进液口与所述涂布液存储容器的出液口连接，所述下出液口与所述吸液泵连接，所述上排废口在所述涂布液存储容器中的涂布液流入所述缓冲存储容器的过程中保持打开。例如，所述缓冲存储容器还包括上加压口，所述上加压口在所述吸液泵从所述缓冲存储容器中吸取涂布液的过程中被施加压力。例如，所述的液位供给装置还包括预处理装置，所述预处理装置包括：过滤器，其用于对从所述缓冲存储容器中流出的涂布液进行过滤处理；以及脱气模组，其用于去除从所述过滤器流出的涂布液中的气泡。本公开的至少一个实施例还提供一种涂布机，其包括涂布头以及以上任一项实施例所述的涂布液供给装置，所述涂布液供给装置中的吸液泵用于向所述涂布头提供涂布液。本公开的至少一个实施例还提供一种以上任一项实施例提供的涂布液供给装置的操作方法，其包括：检测所述缓冲存储容器中的液位；在所述缓冲存储容器中的液位低于最低允许液位的情况下，向所述涂布液存储容器的加压口施加压力，以使所述涂布液存储容器中的涂布液流入所述缓冲存储容器中；在所述缓冲存储容器中的液位超过最高允许液位的情况下，停止向所述涂布液存储容器施加压力，并且控制所述吸液泵从所述缓冲存储容器中吸取涂布液。在该操作方法中，在所述涂布液存储容器中的气压不超过所述安全阀的规定值的情况下，保持所述涂布液存储容器内的气压不被释放。例如，所述的操作方法还包括：在所述涂布液存储容器中的气压超过所述安全阀的规定值的情况下，打开所述安全阀和所述加压控制阀的第二输出口，以减小所述涂布液存储容器内的气压。本公开的至少一个实施例还提供一种隔垫物的制作方法，其包括：利用以上所述的涂布机在基板上涂布初始薄膜；对所述初始薄膜进行图案化处理，以形成多个彼此间隔开的隔垫物。本公开实施例提供了一种涂布液供给装置、该涂布液供给装置的操作方法、包括该涂布液供给装置的涂布机、以及利用该涂布机制作隔垫物的制作方法，通过使涂布液存储容器基本上保持恒压状态，减小涂布液中易挥发物质的挥发来提高涂布液的固含量的一致性，进行提高隔垫物的平均高度的一致性。附图说明为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例，而非对本公开的限制。图1A为本公开至少一个实施例提供的涂布液供给装置的结构示意图一；图1B为本公开至少一个实施例提供的涂布液供给装置的结构示意图二。图2A为本公开至少一个实施例提供的涂布液供给装置中涂布液从涂布液存储容器流入缓冲存储容器的示意图；图2B为本公开至少一个实施例提供的涂布液供给装置中吸液泵从缓冲存储容器吸取涂布液的示意图；图3为本公开至少一个实施例提供的涂布机的结构示意图；图4A和图4B为本公开至少一个实施例提供的隔垫物制作方法的步骤图；图5A至图5C为本公开至少一个实施例提供的隔垫物制作方法中对初始薄膜进行图案化处理的步骤图。具体实施方式为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。以液晶显示面板为例，隔垫物高度的一致性对液晶显示面板的性能有较大影响，例如，过高的隔垫物使液晶显示面板在低温测试时出现低温气泡，过低的隔垫物造成液晶显示面板显示发黄等不良。在液晶显示面板的制作过程中，隔垫物是这样制作的：利用同一桶涂布液依次在数百个基板上涂布用于形成隔垫物的薄膜；然后，对这些薄膜进行图案化处理(例如包括曝光、显影、刻蚀和烘干等步骤)以形成隔垫物；之后，测量每个基板上的多个隔垫物的平均高度，并且选取隔垫物的平均高度符合要求的基板以进行后续步骤。本申请的专利技术人在研究中注意到，在上述隔垫物的制作方式中，隔垫物的平均高度的一致性较差，并且本申请的专利技术人发现造成隔垫物的平均高度的一致性较差的原因包括：对于同一桶涂布液而言，被使用的涂布液越多，涂布液桶中剩余的涂布液的固含量(即涂布液中非易挥发物质在涂布液中的质量含量)越高，并且涂布液的固含量在涂布液被使用至桶底时增至峰值，这导致隔垫物的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂布液供给装置，包括依次连接的加压控制阀、涂布液存储容器、缓冲存储容器和吸液泵，其中，所述涂布液存储容器用于存储涂布液并且包括加压口和出液口；在所述加压控制阀打开的情况下，所述涂布液存储容器的加压口被施加压力，以使所述涂布液存储容器中的涂布液通过所述出液口流入所述缓冲存储容器中；所述缓冲存储容器用于存储从所述涂布液存储容器的出液口流出的涂布液；所述吸液泵用于从所述缓冲存储容器中吸取涂布液，其中，所述加压控制阀包括输入口、第一输出口和第二输出口，所述第一输出口连接所述涂布液存储容器的加压口，所述第二输出口在所述涂布液存储容器中存储有涂布液时保持关闭；或者，所述加压控制阀为两通阀，其包括输入口以及连接所述涂布液存储容器的加压口的输出口。

【技术特征摘要】
1.一种涂布液供给装置，包括依次连接的加压控制阀、涂布液存储容器、缓冲存储容器和吸液泵，其中，所述涂布液存储容器用于存储涂布液并且包括加压口和出液口；在所述加压控制阀打开的情况下，所述涂布液存储容器的加压口被施加压力，以使所述涂布液存储容器中的涂布液通过所述出液口流入所述缓冲存储容器中；所述缓冲存储容器用于存储从所述涂布液存储容器的出液口流出的涂布液；所述吸液泵用于从所述缓冲存储容器中吸取涂布液，其中，所述加压控制阀包括输入口、第一输出口和第二输出口，所述第一输出口连接所述涂布液存储容器的加压口，所述第二输出口在所述涂布液存储容器中存储有涂布液时保持关闭；或者，所述加压控制阀为两通阀，其包括输入口以及连接所述涂布液存储容器的加压口的输出口。2.根据权利要求1所述的涂布液供给装置，其中，所述涂布液存储容器还设置有安全阀，所述安全阀在所述涂布液存储容器内的气压超过所述安全阀的规定值的情况下自动打开，以减小所述涂布液存储容器内的气压。3.根据权利要求2所述的涂布液供给装置，其中，在所述加压控制阀包括输入口、第一输出口和第二输出口的情况下，所述安全阀与所述加压控制阀信号连接。4.根据权利要求1所述的液位供给装置，还包括液位控制阀，其中，所述液位控制阀与所述涂布液存储容器的出液口和所述缓冲存储容器连接；在所述涂布液存储容器的加压口被施加压力的情况下，所述液位控制阀打开；在所述吸液泵从所述缓冲存储容器中吸取涂布液的过程中，所述液位控制阀关闭。5.根据权利要求4所述的液位供给装置，还包括液位传感器，其中，所述液位传感器用于检测所述缓冲存储容器中的涂布液的液位，并且将液位检测结果输出至所述液位控制阀。6.根据权利要求1-5中任一项所述的液位供给装置，其中，所述缓冲存储容器包括下进...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈洪伟，郝明迁，潘才，宋杨，牛宗，庞辉，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11