具有双进气口的太阳能电池烘干机制造技术

一种用于烘干半导体装置的烘干机，具有：包括进口、出口和传输机的处理区，所述传输机在所述进口和所述出口之间延伸，用来传输半导体装置，使其从所述进口到所述出口穿过所述处理区；位于所述处理区的加热器模块，用于加热穿过所述处理区输送来的半导体装置；进口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的半导体装置的进口；以及出口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的出口。

【技术实现步骤摘要】
具有双进气口的太阳能电池烘干机
本专利技术涉及用于例如太阳能电池等半导体装置的烘干机。
技术介绍
太阳能电池是将光能转变为电能的光电设备。太阳能电池制作于单晶体或多晶体硅衬底上。太阳能电池通常具有金属触点，其包含例如银和铝等一种或多种金属并形成在硅衬底的正反面。丝网印刷是在硅衬底的正反面形成金属触点的诸多工艺之一。将金属触点的图案沉积或印刷在硅衬底表面后，需要等被印刷的金属触点干燥后才能将印刷后的硅衬底送入后面的制作工序。这样是为了保证印刷的金属触点能够承受后面的高温退火处理等制作工序。红外加热器可用于烘干印刷的金属触点。然而，传统的红外加热器烘干过程通常耗时长，导致太阳能电池的产量较低，生产成本较高。此外，印刷的金属触点通常包含可溶物质，例如挥发性有机化合物（VOC），其在烘干过程中气化。在烘干过程中，如果气态可溶物质没有从加热器的处理区清除，可溶物质会凝结并污染硅衬底和加热器。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供一种用于太阳能电池的烘干机，与现有技术相比，其更快烘干太阳能电池并能减少污染。因此，本专利技术提供一种用于烘干半导体装置的烘干机，具有：包含进口、出口和传输机的处理区，所述传输机在所述进口和所述出口之间延伸，用来传输半导体装置，使其从所述进口到所述出口穿过所述处理区；位于所述处理区的加热器模块，用来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置；进口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的所述进口；以及出口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的所述出口。借助所附权利要求、说明书部分和附图将会更好理解上述及其他特征、特性和优点。附图说明现在本专利技术的实施例将仅通过附图来描述，附图说明如下。图1为本专利技术优选实施例中提供的烘干机的正视图。图2为从图1的C方向看的烘干机的侧视图。图中，相同的附图标记表示相同的部件。具体实施方式图1为本专利技术优选实施例提供的烘干机100的正视图。所述烘干机100包括进口加热器模块208、出口加热器模块212、辐射加热模块220、热交换器205以及传输机203。所述传输机203位于所述烘干机100的顶部和底部中间。所述进口加热器模块208、所述出口加热器模块212以及所述辐射加热模块220位于所述传输机203上方，并被所述烘干机100的所述顶部的顶盖201密封。所述热交换器205位于所述传输机203的下方，并被所述烘干机100的所述底部的底盖202密封。所述传输机203沿所述烘干机100延伸。所述传输机203穿过处理区330将硅衬底110等衬底通过所述烘干机100一端的进口310传送进所述烘干机100，并将其通过所述烘干机100相对端的出口320传送出所述烘干机100。如图1所示，所述传输机203从所述烘干机100的左手边（即进口310）传送所述硅衬底110并从所述烘干机100（即出口320）的右手边将其传出。所述传输机203包括传送带225，用于穿过所述处理区330支撑并传送所述硅衬底110。所以，所述传送带225需要由能承受所述加工区330的加工温度等加工条件的材料制成。所述加工区330具有约200ºC至300ºC的环境温度，而且所述处理区330的所述硅衬底110的温度为约250ºC至350ºC。所述传送带225可由任意合适的材料制成，例如金属或玻璃纤维。所述辐射加热模块220包括多个加热器，例如红外线灯221。所述红外线灯221位于所述处理区330的顶端，沿所述处理区330基本平行于所述传输机203传送所述衬底110的方向。所述红外线灯221向所述硅衬底110的表面发出电磁红外线，使所述硅衬底110升温。所述红外线灯221加热所述硅衬底110，更快的烘干述硅衬底110上印刷的金属触点。发射的所述电磁辐射的波长需要适合于处理后的衬底或金属触点的不同类型。也可以使用其他类型的加热器。对流加热组件包括所述进口加热器模块208、所述出口加热器模块212以及所述热交换器205。与所述热交换器205流体连通的鼓风机204通过位于所述传输机203下方的所述热交换器205向所述烘干机100的所述底部吹气，来预热所述处理区330。所述预热的气流的温度约为50ºC至150ºC。预热气流的优点是为后面加热气流至所述处理温度节省时间和能量。所述预热的气流经过主源导管206进入所述烘干机100的所述顶部，其中所述主源导管206分为进口源导管207及出口源导管211。所述进口源导管207通向所述进口加热器模块208并且所述出口源导管211通向所述出口加热器模块212。所述入口加热器模块208和所述出口加热器模块212各自包括一个散热块209，用于将所述加热器模块208和212产生的热量传递给经过它们的气流。所述散热块209具有较大的表面积，用于将热量传递给周围气流。所述气流被加热至约200ºC至300ºC。所述加热器模块208和212需要将所述周围空气加热至具体多高的温度是可选的，这样，移动至所述处理区330后，所述气流可处于理想的处理温度。在所述处理区330，所述气流的所述处理温度介于约200ºC至300ºC之间。所述热风从靠近进口入口210的所述进口加热器模块208移动到与所述烘干机100的所述进口310相邻的所述进口入口210，并且所述热风从靠近出口入口213的所述出口加热器模块212移动到与所述烘干机100的所述出口320相邻的所述出口入口213。所述进口入口210沿着基本平行于所述传输机203所述表面的方向及所述硅衬底110在所述传输机203上的传送方向将所述热风引导进入所述进口入口210。来自所述进口入口210的所述热风沿着与所述硅衬底110在所述传输机203上的传送方向相同的方向流过所述硅衬底110的所述表面。当流经所述硅衬底110的所述表面时，所述热风加热所述传输机203上的所述硅衬底110。这样可加快烘干所述硅衬底110上印刷的金属触点。来自所述进口入口210的所述热风进入所述处理区330并通过位于所述进口入口210和所述出口入口213之间的排气进口端300从所述处理区330出来。当所述热风流经所述硅衬底110的所述表面时，所述热风还可以清除所述处理区330的污染物（例如从所述硅衬底110气化的可溶物质）。所述排气入口端300和所述进口入口210之间的距离基本等于所述排气入口端300和所述出口入口213之间的距离。另外，当所述热风不断流经所述硅衬底110的所述表面同时清除所述处理区330的气态可溶物质时，所述处理区330的所述可溶物质的分压较低。所述可溶物质的蒸发率受所述处理区330的所述可溶物质的所述分压影响，其反过来影响烘干所述印刷的金属触点所需的时间。因此，通过使所述处理区330的所述可溶物质保持较低的所述分压，所述可溶物质蒸发较快且所述印刷的金属触点会更快烘干。此外，热风的高温和定向流动促进所述处理区330的所述气态可溶物质的凝结。相反的，所述出口入口213沿着基本平行于所述传输机203的所述表面的方向及所述硅衬底110在所述传输机203上的传送方向将所述热风引导出所述出口入口213。来自所述出口入口213的所述热风进入所述处理区330并通过所述排气入口端300从所述处理区330排出。相对于从所述进口本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于烘干半导体装置的烘干机，包括：处理区，包括进口和出口；传输机，在所述进口和所述出口之间延伸，用来传输半导体装置，使其从所述进口到所述出口穿过所述处理区；加热器模块，位于所述处理区，用来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置；进口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的所述进口；以及出口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的所述出口。

【技术特征摘要】
1.一种用于烘干半导体装置的烘干机，包括：处理区，包括进口和出口；传输机，在所述进口和所述出口之间延伸，用来传输半导体装置，使其从所述进口到所述出口穿过所述处理区；加热器模块，位于所述处理区，用来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置；进口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的所述进口；以及出口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的所述出口。2.如权利要求1所述的烘干机，其特征在于：还包括位于所述进口入口和所述出口入口之间的排气入口，用于清除从所述处理区穿过所述进口入口和所述出口入口引入的所述热风。3.如权利要求2所述的烘干机，其特征在于：所述排气入口和所述进口入口之间的距离基本等于所述排气入口和所述出口入口之间的距离。4.如权利要求2所述的烘干机，其特征在于，还包括：排气导管，位于所述处理区下方，用于将从所述处理区清除的所述热风远离所述处理区向下输送；及热交换器，位于所述处理区下方，用于从所述排气导管接收所述热风。5.如权利要求4所述的烘干机，其特征在于，还包括：鼓风机，与向所述处理区供气的所述热交换器流体连通，其中所述鼓风机用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧玉璋，张青龙，贾广利，欧钢，
申请(专利权)人：先进科技新加坡有限公司，
类型：发明
国别省市：新加坡,SG