光扫描装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供光扫描装置，其中用与以往不同的方法抑制振铃的产生。本光扫描装置具有：反射镜，具有光反射面；一对驱动梁，配置于上述反射镜的两侧；以及驱动源，设置于上述驱动梁且使上述反射镜绕通过上述光反射面的中心的规定轴摆动，上述驱动梁具备向与上述规定轴垂直的方向延伸的多个梁、以及连结相邻的上述梁的端部彼此的折回部，整体是Z字形状，多个上述梁包括配置于上述反射镜的两侧的相邻的第一梁、第二梁、以及第三梁，上述折回部包括连结上述第一梁和上述第二梁的第一折回部、以及连结上述第二梁和上述第三梁的第二折回部，上述第一折回部和上述第二折回部的重量不同。

【技术实现步骤摘要】
光扫描装置
本专利技术涉及光扫描装置。
技术介绍
以往，公知有使反射镜部绕旋转轴旋转来使光扫描的光扫描装置。在这种光扫描装置中，驱动源使用锯齿状波形的电压，但存在驱动时由于反射镜部的共振振动而产生振铃的情况。振铃的产生导致通过光扫描装置的扫描形成的图像的画质劣化。因此，研究出各种抑制反射镜部的振铃的技术。作为一个例子，能够举出一种光扫描装置，具备：传感器，将与反射镜部的旋转角对应的振幅的传感器信号输出到控制装置；以及控制装置，生成输出到压电促动器并使反射镜部绕旋转轴线旋转驱动的驱动信号。在该光扫描装置中，控制装置对于通过对传感器信号进行傅里叶变换而生成的频率区域信号，使用通过对基准传感器信号进行傅里叶变换而生成的基准频率区域信号的振幅以及相位，来生成修正驱动信号的频率区域信号，并通过对于生成的频率区域信号进行逆傅里叶变换，来生成修正驱动信号作为驱动信号(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016-118726号公报然而，在上述的光扫描装置中不仅需要复杂的信号处理，还因为信号处理对振铃的抑制使锯齿波的直线位移区域迟钝，使扫描线品质恶化，而要求利用光扫描装置的形状变更等机械方法抑制振铃的产生。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述的点而完成的，其目的在于，在光扫描装置中，用与以往不同的方法抑制振铃的产生。本光扫描装置1000具有：反射镜110，具有光反射面；一对驱动梁170A、170B，配置于上述反射镜110的两侧；以及驱动源171A、171B，设置于上述驱动梁170A、170B且使上述反射镜110绕通过上述光反射面的中心的规定轴摆动，上述驱动梁170A、170B具备向与上述规定轴垂直的方向延伸的多个梁、以及连结相邻的上述梁的端部彼此的折回部171X1～171X5、171Y1～171Y5，整体是Z字形状，多个上述梁包括配置于上述反射镜110的两侧的相邻的第一梁、第二梁、以及第三梁，上述折回部171X1～171X5、171Y1～171Y5包括连结上述第一梁和上述第二梁的第一折回部、以及连结上述第二梁和上述第三梁的第二折回部，上述第一折回部和上述第二折回部的重量不同。此外，上述括号内的参照附图标记是为了容易理解而标注的，只不过是一个例子，并不局限于图示的方式。根据公开的技术，在光扫描装置中，能够用与以往不同的方法抑制振铃的产生。附图说明图1是表示第一实施方式的光扫描装置的一个例子的立体图(其1)。图2是表示第一实施方式的光扫描装置的一个例子的立体图(其2)。图3是表示第一实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的上面侧的立体图。图4是对折回部的高度进行说明的图。图5是表示第一实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的下面侧的立体图。图6是表示第一实施方式的光扫描装置的光扫描部的其他的例子的上面侧的立体图。图7是表示第一实施方式的光扫描装置的光扫描部的其他的例子的下面侧的立体图。图8是对施加于驱动源的电压波形与反射镜的动作波形的关系进行说明的图。图9是对使用光扫描装置进行图像显示时的状态进行说明的图。图10是对反射镜动作波形的迟钝进行说明的图。图11是对光扫描装置的频率特性进行说明的图。图12是对固有振动模式进行说明的图。图13是表示第二实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的上面侧的立体图。图14是表示第二实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的下面侧的立体图。图15是表示第三实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的上面侧的立体图。图16是对折回部的高度进行说明的图。附图标记说明100、100A...光扫描部；110...反射镜；120...反射镜支撑部；122...狭缝；125...肋；130A、130B...梁；140A、140B、172A、172B...连结梁；150A、150B、150C、150D...第一驱动梁；151A、151B、151C、151D、171A、171B、171C、171D...驱动源；151X1～151X3、151Y1～151Y3、171X1～171X5、171Y1～171Y5...折回部；160...可动框；170A、170B、170C、170D...第二驱动梁；175A、175B、176A1～176A5、176B1～176B5...肋；180...固定框；190A...端子组；190B...端子组；191、192、195、196...压电传感器；200...陶瓷封装；300...封装盖；300A...开口部；1000...光扫描装置。具体实施方式以下，参照附图对用于实施专利技术的形态进行说明。在各附图中，存在对同一构成部分标注同一附图标记，省略重复的说明的情况。<第一实施方式>首先，对第一实施方式的光扫描装置进行说明。图1以及图2是表示第一实施方式的光扫描装置的一个例子的立体图，图1示出拆下封装盖的状态的光扫描装置，图2示出安装有封装盖的状态的光扫描装置。如图1以及图2所示，光扫描装置1000具有光扫描部100、安装光扫描部100的陶瓷封装200、以及配置在陶瓷封装200上且覆盖光扫描部100的封装盖300。光扫描装置1000也可以在陶瓷封装200的下侧具备基板或控制电路等。在光扫描装置1000中，在封装盖300的大致中央部设置有将具有光反射面的反射镜110的附近露出的开口部300A。开口部300A为不遮挡向反射镜110的激光入射光Li以及来自反射镜110的激光射出光Lo(扫描光)。此外，在开口部300A中，激光入射光Li通过的一侧比激光射出光Lo通过的一侧较小地开口。即，激光入射光Li侧呈大致半圆形状地较窄地开口，相对于此，激光射出光Lo侧呈大致矩形状地较宽地开口。这是因为激光入射光Li从恒定的方向入射所以仅将其方向开口即可，相对于此，激光射出光Lo被二维扫描，所以需要将被扫描的全部范围开口以免遮挡被二维扫描的激光射出光Lo。接下来，对光扫描装置1000的光扫描部100进行说明。图3是表示第一实施方式的光扫描装置的光扫描部的一个例子的上面侧的立体图。如图3所示，光扫描部100是使反射镜110摆动而使从光源照射的激光入射光扫描的部分。光扫描部100例如是通过压电元件驱动反射镜110的MEMS(MicroElectroMechanicalSystems：微机电系统)反射镜等。光扫描部100具有：反射镜110，具有光反射面；可动框160，从外侧支撑反射镜110；以及一对驱动梁170A、170B，从两侧支撑可动框160。可动框连接部A11是连接有可动框160和第二驱动梁170A的部分。另外，固定框连接部A12是连接有固定框180和第二驱动梁170A的部分。可动框连接部A11对于通过反射镜110的光反射面的中心通的轴(以下，也称为“垂直旋转轴V”)配置于与配置有固定框连接部A12的一侧大致相反的一侧。另外，可动框连接部A13是连接有可动框160和第二驱动梁170B的部分。另外，固定框连接部A14是连接有固定框180和第二驱动梁170B的部分。可动框连接部A13对于垂直旋转轴V配置于与配置有固定框连接部A14的一侧大致相反的一侧。另外，可动框连接部A11、A13也可以为其端部包括垂直旋转轴V，对于垂直旋转轴V配置于与配置有固定框本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光扫描装置，具有：反射镜，具有光反射面；一对驱动梁，配置于上述反射镜的两侧；以及驱动源，设置于上述驱动梁，且使上述反射镜绕通过上述光反射面的中心的规定轴摆动，上述驱动梁具备向与上述规定轴垂直的方向延伸的多个梁、以及连结相邻的上述梁的端部彼此的折回部，整体是Z字形状，多个上述梁包括配置于上述反射镜的两侧的相邻的第一梁、第二梁以及第三梁，上述折回部包括连结上述第一梁和上述第二梁的第一折回部、以及连结上述第二梁和上述第三梁的第二折回部，上述第一折回部和上述第二折回部的重量不同。

【技术特征摘要】
2017.04.28 JP 2017-0906891.一种光扫描装置，具有：反射镜，具有光反射面；一对驱动梁，配置于上述反射镜的两侧；以及驱动源，设置于上述驱动梁，且使上述反射镜绕通过上述光反射面的中心的规定轴摆动，上述驱动梁具备向与上述规定轴垂直的方向延伸的多个梁、以及连结相邻的上述梁的端部彼此的折回部，整体是Z字形状，多个上述梁包括配置于上述反射镜的两侧的相邻的第一梁、第二梁以及第三梁，上述折回部包括连结上述第一梁和上述第二梁的第一折回部、以及连结上述第二梁和上述第三梁的第二折回部，上述第一折回部和上述第二折回部的重量不同。2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，上述反射镜支撑于可动框，多个上述梁包括从两侧支撑上述可动框且配置于上述可动框的两侧的与上述第三梁相邻的第四梁，上述折回部包括连结上述第三梁和上述第四梁的第三折回部，上述第三折回部和上述第二折回部的重量不同。3.根据权利要求2所述的光扫描装置，其特征在于，上述第三折回部和上述第一折回部的重量不同。4.根据权利要求3所述的光扫描装置，其特征在于，多个上述梁包括配置于上述可动框的两侧的与上述第四梁相邻的第五梁，上述折回部包括连结上述第四梁和上述第五梁的第四折回部，上述第四折回部和上述第三折回部的重量不同。5.根据权利要求4所述的光扫描装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：山田司，
申请(专利权)人：三美电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP