半导体处理装备的30NM排队式液体颗粒计数器测试和清洁制造技术

本文中所述的实施方式一般涉及30nm排队式液体颗粒计数测试装备，所述装备分析和清洁半导体处理装备。更具体而言，所述的实施方式涉及用于稀释、分析和调整流体以允许观察流体的成分的系统。稀释物取样工具与液体颗粒检测器耦合以读取包含来自清洁槽中的半导体处理装备(诸如衬垫、屏蔽物、面板或喷头)的颗粒的提取液的成分。如此，可获得减少颗粒检测器的过饱和的准确液体颗粒读数。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】半导体处理装备的30NM排队式液体颗粒计数器测试和清洁背景
本公开内容的实施方式一般涉及半导体处理装备的测试和清洁，并且更具体地涉及用于稀释、分析和调整流体以改善流体成分的观察的装置和方法。
技术介绍
可采用光学/流动系统以向成像和光学分析区域运输分析仪器内的流体。一般将液体试样输送进腔室的孔，并且以某种方式询问(interrogate)试样以产生关于试样的本质或性质的分析信息。试样可以是停滞的或流动的。在某些布置中，可使光源朝向腔室以照亮腔室中的成分。获取散射光已是并且仍是检测和观察试样(特别是流体试样)的成分的合理方式。在进行询问时理想的是避免在视野中有太多颗粒，使得可以有效的方式辨别成分。关注的流体可能在它们的粘度和颗粒或固体密度上大大地变化。相对于包括高固体含量的流体，更容易观察到具有低固体含量的流体的成分信息。尽管如此，存在载有可能需要分析的高固体成分的流体。通过各种观察和分析工具来检验重度负载的流体的成分是可能的。不幸地，这些分析工具或这些重度负载的流体可能需要可观的时间来充分调节流体以接收成分的合理描述，并且评估过程本身可能是耗时的和相对昂贵的。在半导体处理技术中，在从来自清洁槽里面的半导体腔室部件的提取液(extractionsolution)测量液体颗粒时仍然存在额外的挑战。通常，提取液一但与从半导体腔室部件移除的颗粒结合即包含大量的大于或等于30nm的颗粒，如果直接从提取液取样，这可能使液体颗粒计数检测器饱和，因此导致不准确的读数。因此，需要允许高效和准确地分析具有高的30+nm固体成分的流体的成分的系统和方法。本领域中还需要用于稀释清洁槽中的试样，使得可在不使检测器饱和的情况下高效和准确地检测和计数30+nm液体颗粒的装置和方法。
技术实现思路
本文中所述的实施方式一般涉及30nm排队式(in-line)液体颗粒计数测试装备，所述装备分析和清洁半导体处理装备。更具体而言，所述的实施方式涉及用于稀释、分析和调整溶液以允许观察溶液的成分的系统。稀释物取样工具与液体颗粒检测器耦合以用于读取包含来自在清洁槽中的半导体处理装备(例如衬垫、屏蔽物、面板、喷头等等)的颗粒的提取液的成分。如此，由于减少颗粒检测器的饱和，可获取准确的液体颗粒读数。在一个实施方式中，公开一种液体颗粒计数系统。所述液体颗粒计数系统包括：存储槽；第一泵，操作地连接至存储槽；和稀释系统，操作地连接至第一泵。液体颗粒计数系统还包括：稀释源，操作地连接至稀释系统；液体颗粒计数器，操作地连接至稀释系统下游；和至少一个流量计，操作地连接至液体颗粒计数器。在另一实施方式中，公开一种液体颗粒计数系统。所述液体颗粒计数系统包括存储槽。所述存储槽包括存储区域和通过第一壁与存储区域分隔的声波发生器(sonicator)。所述液体颗粒计数系统进一步包括：第一泵，通过第一管耦合至存储区域下游；稀释系统，通过第二管耦合至第一泵下游；稀释源，通过第三管耦合至稀释系统下游；和液体颗粒计数器，通过第四管耦合至稀释系统下游。在又一实施方式中，公开一种用于计数半导体部件的液体颗粒的方法。所述方法包括以下步骤：将半导体部件浸入在存储槽里面，其中存储槽包括提取液；和将各种水平的超声振荡能量传递至存储槽，以形成颗粒溶液，其中颗粒溶液包括提取液和来自半导体部件的多个颗粒。所述方法进一步包括以下步骤：将颗粒溶液泵送至稀释系统；以去离子水稀释颗粒溶液以形成稀释的溶液；和将稀释的溶液传输至液体颗粒计数器，其中液体颗粒计数器实时确定稀释的溶液中液体颗粒的数量。所述方法还包括以下步骤：将稀释的溶液传输通过流量计；和在存储槽中将稀释的溶液与提取液结合。附图说明可通过参照实施方式(一些实施方式图示于附图中)来得到以上简要概述的本公开内容的更具体说明，使得可详细地理解本公开内容的上述特征的方式。然而，要注意的是，附图仅图示示例性实施方式并且因此不被视为本公开内容的范围的限制，可容许其他等效的实施方式。依据本文中所述的实施方式，图1图示液体颗粒计数系统的示意性侧视图。依据本文中所述的实施方式，图2图示示意图，所述示意图图示用于计数半导体部件的液体颗粒的方法的操作。依据本文中所述的实施方式，图3图示被计数的液体颗粒与存储槽中去离子水的液体颗粒计数器基线运行的时间的关系曲线的数据图，其中将0.1微米过滤器的过滤系统应用至存储槽。为了促进理解，已尽可能使用相同参考数字指定附图共有的相同元件。设想一个实施方式的元件和特征可在没有进一步记载的情况下有益地并入其他实施方式中。具体实施方式本文中所述的实施方式一般涉及30nm排队式液体颗粒计数测试装备，所述装备分析和清洁半导体处理装备。更具体而言，所述的实施方式涉及用于稀释、分析和调整溶液以允许观察溶液的成分的系统。稀释物取样工具与液体颗粒检测器耦合以用于读取包含来自在清洁槽中的半导体处理装备(诸如衬垫、屏蔽物、面板、喷头等等)的颗粒的提取液的成分。如此，可获得减少颗粒检测器的过饱和的准确的液体颗粒读数。依据一个实施方式，图1示意性图示液体颗粒计数系统100。液体颗粒计数系统100允许稀释、分析和调整溶液，使得可进行溶液的观察。液体颗粒计数系统100包括存储槽102。存储槽102可包括聚丙烯材料、石英材料、聚乙烯材料、聚四氟乙烯材料、其他合适材料或上述材料的混合物和组合。并且，在某些实施方式中，可例如由升降台(未示出)升高或升起存储槽102。存储槽102可被配置为在存储槽102中存储液体溶液，诸如(仅以示例的方式)去离子水。在某些实施方式中，存储槽102可包括第一存储区域104和第二存储区域106。第一存储区域104可被配置为在第一存储区域104中存储液体溶液，如上所述。第二存储区域106可临近第一存储区域104设置，并且设置在相同的存储槽102内。在某些实施方式中，第二存储区域106也可被配置为存储液体溶液材料。第一存储区域104和第二存储区域106可由第一壁116分隔。第一壁可包括聚丙烯材料、石英材料、聚乙烯材料、聚四氟乙烯材料、其他合适材料或上述材料的混合物和组合。第一壁116可允许能量或波传播通过所述第一壁。第一壁116可延伸存储槽102或存储槽的一部分的长度。在某些实施方式中，半导体处理装备或半导体处理装备的部分(例如衬垫、屏蔽物、面板、喷头等等)可设置在第一存储区域104内。并且，在某些实施方式中，经使用的半导体处理装备可设置在第一存储区域104内以供进行清洁和/或分析。第一存储区域104可进一步包括提取液，诸如去离子水。半导体处理装备设置在包括提取液的第一存储区域104内，使得半导体处理装备浸入在提取液内。第二存储区域106可包括布置在第二存储区域106中的声波发生器108。在某些实施方式中，声波发生器108可耦合至第二存储区域106的侧壁110、底面112和/或盖114。在其他实施方式中，声波发生器108可设置在第二存储区域106内的液体溶液(诸如提取液(例如去离子水))中。并且，在某些实施方式中，声波发生器108可接触存储槽102。在某些实施方式中，声波发生器108可操作地连接至电源。在操作时，声波发生器108可在液体溶液内搅动、振动、摇动和/或超声波振荡，以扰动围绕声波发生器108的区域，并且在第二存储区域106和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液体颗粒计数系统，包括：存储槽；第一泵，操作地连接至所述存储槽；稀释系统，操作地连接至所述第一泵；液体颗粒计数器，操作地连接至所述稀释系统下游；和至少一个流量计，操作地连接至所述液体颗粒计数器。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.14 US 62/322,5231.一种液体颗粒计数系统，包括：存储槽；第一泵，操作地连接至所述存储槽；稀释系统，操作地连接至所述第一泵；液体颗粒计数器，操作地连接至所述稀释系统下游；和至少一个流量计，操作地连接至所述液体颗粒计数器。2.如权利要求1所述的液体颗粒计数系统，进一步包括：稀释源，操作地连接至所述稀释系统；和声波发生器，接触所述存储槽。3.如权利要求1所述的液体颗粒计数系统，其中所述存储槽包括聚丙烯材料、石英材料、聚乙烯材料、聚四氟乙烯材料或上述材料的组合。4.如权利要求1所述的液体颗粒计数系统，其中所述至少一个流量计操作地耦合至第一管的第一端并且操作地耦合至所述存储槽。5.如权利要求1所述的液体颗粒计数系统，其中所述第一泵是蠕动泵。6.如权利要求1所述的液体颗粒计数系统，进一步包括：第二泵，操作地耦合至所述存储槽，其中所述第二泵是重力给料的；和至少一个颗粒过滤器，在第一端处操作地耦合至所述第二泵并且操作地耦合至所述存储槽的入口。7.一种液体颗粒计数系统，包括：存储槽，包括：第一存储区域；第二存储区域；和声波发生器，设置在所述第二存储区域中，其中所述第二存储区域通过第一壁与所述第一存储区域分隔；第一泵，通过第一管耦合至所述第一存储区域下游；稀释系统，通过第二管耦合至所述第一泵下游；稀释源，通过第三管耦合至所述稀释系统；和液体颗粒计数器，通过第四管耦合至所述稀释系统下游。8.如权利要求7所述的液体颗粒计数系统，其中所述第一壁包括聚丙烯材料、石英材料、聚乙烯材料或上述材料的组合。9.如权利要求7所述的液体颗粒计数系...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建奇，威廉·明谕·吕，宜兴·林，凯文·A·帕克，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US