一种扩散泵抽真空系统技术方案

技术编号:19397471 阅读:50 留言:0更新日期:2018-11-10 05:12
本实用新型专利技术涉及抽真空系统,一种扩散泵抽真空系统,包括扩散泵、用于对扩散泵排气口提供负压的机械泵、以及连接扩散泵和机械泵的排气管路,其中扩散泵包括横置斗状的排气管,该排气管大口径端与所述扩散泵口对接,小口径端与所述排气管路连通;所述排气管路包括第一竖管、第一横管和第二竖管,其中第一竖管的下端与所述排气管小口径端对接,第一竖管的第一端与所述第一横贯第一端对接,第一竖管的第二端与所述第二竖管中段对接,第二竖管的下端与机械泵连通,第二竖管的上端设置活动泄压组件;所述泄压组件包括垫片、压盘、以及朝上设置的法兰盘端口。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散泵抽真空系统
本技术涉及抽真空系统,特别是一种用于镁化合物提纯用的抽真空系统。
技术介绍
扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一。油扩散真空泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵,简称油扩散泵。其原理是在分子流条件下,气体分子不断地向蒸流中扩散,并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。现有技术中的扩散泵应用到镁化合物提纯用时,如何保持扩散泵内一直成真空状态,且钟罩及石墨坩埚内空气和液油分离之后,将液油保持在冷却管路内,将液油碰壁在后端机械泵外,成为业内急需解决的问题。
技术实现思路
为解决上述问题,为技术提供一种扩散泵抽真空系统,该系统可以有效避免扩散泵氧化,同时分离液油和空气,并将液油冷凝回流。为实现上述目的,本技术采用的技术方案是:一种扩散泵抽真空系统,包括扩散泵、用于对扩散泵排气口提供负压的机械泵、以及连接扩散泵和机械泵的排气管路,其中扩散泵包括横置斗状的排气管,该排气管大口径端与所述扩散泵对接,小口径端与所述排气管路连通;所述排气管路包括第一竖管、第一横管和第二竖管,其中第一竖管的下端与所述排气管小口径端对接,第一竖管的上端与所述第一横管第一端对接,第一横管的第二端与所述第二竖管中段对接,第二竖管的下端与机械泵连通,第二竖管的上端设置活动泄压组件;第二竖管上具有可自由弯折的波纹管以及在排气方向设置在波纹管后方的电磁真空差压阀;所述泄压组件包括垫片、压盘、以及朝上设置的法兰盘端口,所述法兰盘端口的顶面具有环状的凹槽,所述垫片具有形状与凹槽匹配的下凸起结构,垫片的顶面具有上凹槽结构,所述垫片的下下凸起结构嵌入的安装在凹槽内,盖板压装在垫片的顶面,使所述法兰盘端口顶面、垫片和压盘形成密封结构。作为优选的,所述法兰盘端口的顶面的环形凹槽设置在靠近第一竖管内壁的位置,且所述垫片的内环面与所述第一竖管内壁平行。作为优选的,所述第一横管端具有泄压阀。作为优选的,所述第一竖管和第一横管通过弯管连接,且弯管的两个端部与第一竖管、第一横管端部均通过法兰盘对接。作为优选的,所述扩散泵通过滚轮组件设置在地面上。作为优选的,所述机械泵为滑阀泵。使用本技术的有益效果是:1.本抽真空系统通过扩散泵排气管设置成斗状结构,气流在进入第一竖管后形成气流汇集并形成湍流状态,使得气流中液态的液油汇集,在气流经过第一竖管上升的过程中气态的液油液化,通过第一竖管冷却回流到第一竖管内并返回扩散泵内部,避免液油过度浪费并进入后端机械泵中。2.在第二竖管的顶部设置泄压组件,通过在法兰盘和压盘之间设置垫盘,通过下凸起结构定位在凹槽中定位垫盘,通过在垫盘顶面设置上凹槽结构,在管路内呈现负压的状态时,垫片的上半部通过上凹槽结构形成适当的变形,使得极少的空气进入到第二竖管内,经过机械泵混合排出,使得气压得到平衡,同时最大限度的避免气态的液油进入到机械泵内。3.在电磁真空差压阀的前段设置可万向弯折的波纹管,使得扩散泵、机械泵同时工作振动,振动频率不同的情况下,不会因振动损坏排气管路的密闭性。附图说明图1为本技术扩散泵抽真空系统结构示意图。图2为本技术扩散泵抽真空系统俯视结构示意图。图3为图1中A部局部放大图。附图标记包括:100-扩散泵,110-排气管,210-第一竖管,220-弯管,230-第一横管,231-泄压阀,240-第二竖管,241-波纹管,242-电磁真空差压阀,243-法兰盘端口,250-垫片,251-下凸起结构,252-上凹槽结构,260-压盘,300-机械泵。具体实施方式以下结合附图对本技术进行详细的描述。如图1、图2所示,本实施例提供一种扩散泵抽真空系统,包括扩散泵100、用于对扩散泵100排气口提供负压的机械泵300、以及连接扩散泵100和机械泵300的排气管路,其中扩散泵100包括横置斗状的排气管110,该排气管110大口径端与扩散泵100口对接,小口径端与排气管路连通。排气管路包括第一竖管210、第一横管230和第二竖管240,其中第一竖管210的下端与排气管110小口径端对接,第一竖管210的上端与第一第一横管230第一端对接,第一横管230的第二端与第二竖管240中段对接,第二竖管240的下端与机械泵300连通,第二竖管240的上端设置活动泄压组件;第二竖管240上具有可自由弯折的波纹管241以及在排气方向设置在波纹管241后方的电磁真空差压阀242;泄压组件包括垫片250、压盘260、以及朝上设置的法兰盘端口243,法兰盘端口243的顶面具有环状的凹槽,垫片250具有形状与凹槽匹配的下凸起结构251,垫片250的顶面具有上凹槽结构252,垫片250的下下凸起结构251嵌入的安装在凹槽内,盖板压装在垫片250的顶面,使法兰盘端口243顶面、垫片250和压盘260形成密封结构。具体的,本扩散泵抽真空系统用于镁化合物提纯用,在石墨坩埚和钟罩组合成后,通过扩散泵100等组合的内部抽真空,石墨坩埚内的镁化合物通过真空状态,使其杂质降低熔点,并且杂质更容易挥发,以提取镁化合物的纯净物。扩散泵100内部的液油气化后通过排气管110进入排气管路,本抽真空系统通过扩散泵100排气管110设置成斗状结构,气流在进入第一竖管210后形成气流汇集并形成湍流状态,使得气流中液态的液油汇集,在气流经过第一竖管210上升的过程中气态的液油液化,通过第一竖管210冷却回流到第一竖管210内并返回扩散泵100内部,避免液油过度浪费并进入后端机械泵300中。如图3所示,在第二竖管240的顶部设置泄压组件,通过在法兰盘和压盘260之间设置垫盘,通过下凸起结构251定位在凹槽中定位垫盘,通过在垫盘顶面设置上凹槽结构252,在管路内呈现负压的状态时,垫片250的上半部通过上凹槽结构252形成适当的变形,使得极少的空气进入到第二竖管240内,经过机械泵300混合排出,使得气压得到平衡,同时最大限度的避免气体的液油进入到机械泵300内。在电磁真空差压阀242的前段设置可万向弯折的波纹管241,使得扩散泵100、机械泵300同时工作振动,振动频率不同的情况下,不会因振动损坏排气管路的密闭性。在下凸起结构251和法兰盘端口243顶部凹槽之间形成的迷宫结构,避免过多空气进入到第二竖管240内,仅通过垫片250顶部的变形完成少量进气。在本实施例中,法兰盘端口243的顶面的环形凹槽设置在靠近第一竖管210内壁的位置,且垫片250的内环面与第一竖管210内壁平行。第一横管230端具有泄压阀231,便于快速平衡管内外气压。第一竖管210和第一横管230通过弯管220连接,且弯管220的两个端部与第一竖管210、第一横管230端部均通过法兰盘对接。扩散泵100通过滚轮组件设置在地面上。机械泵300为滑阀泵。以上内容仅为本技术的较佳实施例,对于本领域的普通技术人员,依据本技术的思想,在具体实施方式及应用范围上可以作出许多变化,只要这些变化未脱离本技术的构思,均属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散泵抽真空系统,其特征在于:包括扩散泵、用于对扩散泵排气口提供负压的机械泵、以及连接扩散泵和机械泵的排气管路,其中扩散泵包括横置斗状的排气管,该排气管大口径端与所述扩散泵对接,小口径端与所述排气管路连通;所述排气管路包括第一竖管、第一横管和第二竖管,其中第一竖管的下端与所述排气管小口径端对接,第一竖管的上端与所述第一横管第一端对接,第一横管的第二端与所述第二竖管中段对接,第二竖管的下端与机械泵连通,第二竖管的上端设置活动泄压组件;第二竖管上具有可自由弯折的波纹管以及在排气方向设置在波纹管后方的电磁真空差压阀;所述泄压组件包括垫片、压盘、以及朝上设置的法兰盘端口,所述法兰盘端口的顶面具有环状的凹槽,所述垫片具有形状与凹槽匹配的下凸起结构,垫片的顶面具有上凹槽结构,所述垫片的下下凸起结构嵌入的安装在凹槽内,盖板压装在垫片的顶面,使所述法兰盘端口顶面、垫片和压盘形成密封结构。

【技术特征摘要】
1.一种扩散泵抽真空系统,其特征在于:包括扩散泵、用于对扩散泵排气口提供负压的机械泵、以及连接扩散泵和机械泵的排气管路,其中扩散泵包括横置斗状的排气管,该排气管大口径端与所述扩散泵对接,小口径端与所述排气管路连通;所述排气管路包括第一竖管、第一横管和第二竖管,其中第一竖管的下端与所述排气管小口径端对接,第一竖管的上端与所述第一横管第一端对接,第一横管的第二端与所述第二竖管中段对接,第二竖管的下端与机械泵连通,第二竖管的上端设置活动泄压组件;第二竖管上具有可自由弯折的波纹管以及在排气方向设置在波纹管后方的电磁真空差压阀;所述泄压组件包括垫片、压盘、以及朝上设置的法兰盘端口,所述法兰盘端口的顶面具有环状的凹槽,所述垫片具有形状与凹槽匹配的下凸起结构,垫片的顶面具有...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘生利吴为民刘春
申请(专利权)人:营口市荣兴达科技实业股份有限公司
类型:新型
国别省市:辽宁,21

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