用于镜筒定位的微机电系统装置制造方法及图纸

一种微机电系统（MEMS），其利用热微驱动器（31）将镜筒（20）定位于智能设备，例如手机的摄像模组。该微驱动器相对一镜筒放射状延伸，其中每一微驱动器都可以受热弯曲。控制单元（32）包括可运行地连接于该微驱动器的加热电路（321），以将热能可控制地应用于每一微驱动器，其中每一微驱动器相应弯曲，以相对一基座（10）移动该镜筒，从而控制该镜筒的三轴定位。该微驱动器的操作不受环境温度变化的影响。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请，说明书已公开。

【技术保护点】
PCT国内申请，权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03....

【专利技术属性】
技术研发人员：张玉文，林成义，陈振宇，刘义强，朱传贵，
申请(专利权)人：宁波舜宇光电信息有限公司，南洋理工大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33