【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】三维干涉仪和用于确定电场相位的方法
本专利技术涉及一种三维干涉仪、一种用于确定三维干涉仪的干涉区域的至少一个点处的相位差的方法、一种用于确定在三维干涉仪的干涉区域中的一部分的电场相位的方法以及用于执行所述方法的一种计算机程序和计算机程序产品。
技术介绍
干涉仪可以根据其空间安排进行区分。常见的干涉仪例如马赫-曾德尔(Mach-Zehnder)干涉仪、迈克尔逊(Michelson)干涉仪或萨尼亚克(Sagnac)干涉仪是二维干涉仪。在二维和三维干涉仪之间的分界线在总体说明部分中给出。在现有技术中还已知全息图像。全系图像是干涉型技术,它允许存储、重建或测量波前的振幅信息和相位信息。应用这种技术的结果称为全息图。在数字全息图像的情况下将全息图以数字方式存储。全息图像型摄影机是记录全息图的设备。在本申请的范围内,全息图像型摄影机理解为如下设备:所述设备对于入射的场、尤其光场测量相位或者相位和振幅。另外,现有技术中已知用于测量光场的振幅和相位的全息图像型测量系统。用于全息图像的常见结构由光源、分束器组成,所述分束器将光分成参比射束和物体射束,其中物体射束被指向待测量的物体,在其上反射/散射并且然后与参比射束发生干涉。这种技术的前提是存在真实的物体,也就是说待成像的物体不能是虚拟物体。空间相位测量的另一个例子是特怀曼-格林(Twyman-Green)干涉仪,迈克尔逊干涉仪的一种特殊形式。特怀曼-格林干涉仪是二维干涉仪,其中干涉仪臂之一包含待探测的物体,例如透镜、棱镜或表面。空间测量因此不涉及输入场而是涉及干涉仪的特性。因此,这里并非是对输入场的空间测量。干涉图包含关于 ...
【技术保护点】
1.一种三维干涉仪(100),所述三维干涉仪(100)用于测量由物体(110)产生的光场,尤其用于确定电场(E1ij,E2ij)、特别是所述电场(E1ij,E2ij)的相位(Φ1ij,Φ2ij)或者相位(Φ1ij,Φ2ij)和强度或者绝对值,所述三维干涉仪(100)具有:第一干涉仪臂(150),所述第一干涉仪臂(150)能够如此被配置或调节为、尤其被配置为,使第一射束延伸穿过所述第一干涉仪臂(150),第二干涉仪臂(152),所述第二干涉仪臂(152)能够如此被配置或调节为、尤其被配置为,使第二射束延伸穿过所述第二干涉仪臂(152),分束器(101),所述分束器(101)被定位在一方面所述物体(110)的物点(112)与另一方面所述第一干涉仪臂(150)和第二干涉仪臂(152)之间;所述分束器(101)被配置为将在所述分束器(101)处从所述物点(112)发出的射束分割成所述第一射束和所述第二射束,检测平面(131)或检测表面,所述检测平面(131)或检测表面被定位在所述第一干涉仪臂(150)和所述第二干涉仪臂(152)之后并且被配置为使得所述第一射束和所述第二射束在所述检测平面(13 ...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.02.24 DE 102016103295.61.一种三维干涉仪(100),所述三维干涉仪(100)用于测量由物体(110)产生的光场,尤其用于确定电场(E1ij,E2ij)、特别是所述电场(E1ij,E2ij)的相位(Φ1ij,Φ2ij)或者相位(Φ1ij,Φ2ij)和强度或者绝对值,所述三维干涉仪(100)具有:第一干涉仪臂(150),所述第一干涉仪臂(150)能够如此被配置或调节为、尤其被配置为,使第一射束延伸穿过所述第一干涉仪臂(150),第二干涉仪臂(152),所述第二干涉仪臂(152)能够如此被配置或调节为、尤其被配置为,使第二射束延伸穿过所述第二干涉仪臂(152),分束器(101),所述分束器(101)被定位在一方面所述物体(110)的物点(112)与另一方面所述第一干涉仪臂(150)和第二干涉仪臂(152)之间;所述分束器(101)被配置为将在所述分束器(101)处从所述物点(112)发出的射束分割成所述第一射束和所述第二射束,检测平面(131)或检测表面,所述检测平面(131)或检测表面被定位在所述第一干涉仪臂(150)和所述第二干涉仪臂(152)之后并且被配置为使得所述第一射束和所述第二射束在所述检测平面(131)或检测表面上在干涉区域(132)中发生干涉,以及重叠装置(106),所述重叠装置(106)被定位在一方面所述检测平面(131)与另一方面所述第一干涉仪臂(150)和第二干涉仪臂(152)之间,其中所述分束器(101)、所述第一干涉仪臂(150)、所述第二干涉仪臂(152)、所述重叠装置(106)和所述检测平面(131)能够被配置或调节为、尤其被配置为,对于所述物体(110)的物点(112)存在正好一条从所述物点(112)发出的中央光线(114),所述中央光线(114)在所述分束器(101)处被分割成第一中央光线(120)和第二中央光线(121),其中所述中央光线(114)为所述射束的一部分,所述第一中央光线(120)为所述第一射束的一部分并穿过所述第一干涉仪臂(150),并且所述第二中央光线(121)为所述第二射束的一部分并穿过所述第二干涉仪臂(152),并且其中所述第一中央光线(120)和所述第二中央光线(121)在所述检测平面(131)上在所述干涉区域(132)中在中央像点(133)中重叠;以及对于从所述物体(110)的所述物点(112)发出并且为所述射束一部分但不是所述中央光线(114)的每条光线(115),给出穿过所述第一干涉仪臂(150)的第一光线(125)和穿过所述第二干涉仪臂(152)的第二光线(126),所述第一光线(125)和第二光线(126)在所述分束器(101)处从所述光线(115)分割并且在不同的点(134,135)处击中所述检测平面(131),并且对于所述干涉区域(132)的不是中央像点(133)的每个像点(134),存在正好一条第三光线(116)并且存在正好一条第四光线(117),所述第三光线(116)从所述物点(112)发出、不是所述中央光线(114)、穿过所述第一干涉仪臂(150)并且击中所述检测平面(131)上的所述像点(134),所述第四光线(117)从所述物点(112)发出、不是在所述分束器之前的所述第三光线(116)、不是所述中央光线(114)、穿过所述第二干涉仪臂(152)并且在所述检测平面(131)上在所述像点(134)处与所述第三光线(116)重叠,其中在所述分束器(101)之前的所述第三光线(116)和所述第四光线(117)为所述射束的一部分。2.根据权利要求1所述的干涉仪(100),进一步具有:评价单元,所述评价单元被配置为,测量在所述检测平面(131)的所述干涉区域(132)的至少一个点(134)处发生干涉的两条光线之间的相位差(Ψ)和/或击中的光线的相位(Φ)。3.根据权利要求1或2所述的干涉仪(100),进一步具有:计算机程序产品,所述计算机程序产品存储在能够用于计算机中的介质中,所述计算机程序产品包括:计算机可读的程序手段,通过所述程序手段,计算机能够实施根据权利要求12所述的方法和/或一种用于确定在第一电场(E1ij)与第二电场(E2ij)之间的干涉区域(132)的至少一个像点(134)处、尤其检测表面(131)的像素格栅(i,j)的点或像素处的相位差(Ψij)的方法,所述第一电场(E1ij)和第二电场(E2ij)在所述至少一个像点(134)处发生干涉,其中所述第一电场(E1ij)源自第一干涉臂(152)并且所述第二电场(E2ij)源自第二干涉臂(152)。4.根据以上权利要求之一所述的干涉仪(100),进一步具有:检测器(130),所述检测器(130)在所述检测平面(131)中。5.根据以上权利要求之一所述的干涉仪(100),其中所述第一干涉仪臂(150)和/或所述第二干涉仪臂(152)在所述分束器(101)与所述重叠装置(106)之间具有至少一个射束偏转元件(171,172,181,182)。6.根据以上权利要求之一所述的干涉仪(100),其中所述分束器(101)、所述第一干涉仪臂(150)、所述第二干涉仪臂(152)、所述重叠装置(106)和所述检测平面(131)能够被配置或调节为,尤其被配置为,使得对于第五光线和第六光线的射束偏转的总和为5、6或7次,所述第五光线在所述分束器(101)之前为所述中央光线(114)并且在所述分束器(101)之后...
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