流体控制装置以及气体管线部的装卸方法制造方法及图纸

技术编号:19395490 阅读:28 留言:0更新日期:2018-11-10 04:32
本发明专利技术提供一种能够容易地将气体管线部相对于框架进行安装的流体控制装置及气体管线部的装卸方法。框架(2)的第一横框架部件(10)具备沿左右方向延伸的勾挂部件(16)、以及位于比勾挂部件(16)更靠下侧且形成有在前方开口的多个第一槽(13c)的下侧部(13)。沿上下方向延伸的管线支承部件(30)具有平板状的设备载置部(31)、以及从设备载置部(31)的左右两缘向后方突出的一对侧板部(32)。各侧板部(32)具有位于比勾挂部件(16)更靠下侧的基部(36)、以及位于比基部(36)更靠上侧且位于勾挂部件(16)后侧的上方部(37)。基部(36)中形成有向后方开口并嵌入至第一槽(13c)的第二槽(36a),上方部(37)中设置有向前方突出并从上侧与勾挂部件(16)抵接的突起部(37A)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流体控制装置以及气体管线部的装卸方法
本专利技术涉及一种用于半导体制造装置等的流体控制装置、以及气体管线部的装卸方法。
技术介绍
以往,提出了一种流体控制装置,其可固定于半导体制造装置的筐体的垂直壁面(例如参照专利文献1)。对于各气体管线部的管线保持部件,通过将其钩状的上端部勾挂于上横框架部件的切口,将管线保持部件的下端嵌入下横框架的狭缝,利用螺栓将上部罩及下部罩相对于上横框架部件及下横框架部件固定,从而将管线保持部件的上端部及下端部相对于上横框架部件及下横框架部件固定。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利公开2012-241823号公报
技术实现思路
(一)要解决的技术问题然而,在专利文献1中的流体控制装置中,在对管线保持部件进行装卸时,需要拆卸上部罩及下部罩,但由于与其他设备的关系,在上部罩的上侧空间不足,难以拆卸上部罩。另外,在将管线保持部件相对于上横框架部件进行装卸时,需要使管线保持部件的上端部通过一次上横框架的上侧,但由于在上部罩的上侧空间不足,因此难以装卸管线保持部件。此外,由于使用螺栓来固定管线保持部件,因此作业效率不佳。因此,本专利技术的目的在于,提供一种可效率良好且容易地将气体管线部相对于框架进行安装的流体控制装置及气体管线部的装卸方法。(二)技术方案为了解决上述目的,作为本专利技术的一方式的流体控制装置,其中具备安装有流体控制设备的管线支承部件的气体管线部可装卸地安装于框架,在所述流体控制装置中所述框架具有第一横框架部件以及位于其下侧的第二横框架部件,所述第一横框架部件具备沿左右方向延伸的勾挂部件、以及位于比所述勾挂部件更靠下侧且形成有在前方开口的多个第一槽的下侧部,所述管线支承部件具有设备载置部、以及从所述设备载置部的左右两缘向后方突出的一对侧板部,各侧板部具有位于比所述勾挂部件下侧的基部、以及位于比所述基部更靠上侧且位于所述勾挂部件后侧的上方部,所述基部中形成有向后方开口且嵌入所述第一槽的第二槽,所述上方部中设置有向前方突出且从上侧与所述勾挂部件抵接的突起部。此外,也可以是,在所述上方部的后端形成有以随着从其上端向下方前进而远离所述设备载置部的方式倾斜的倾斜面。此外,也可以是,在所述管线支承部件的下端设置有通过螺栓而固定于所述第二横框架部件的螺栓固定部,所述螺栓固定部在未通过所述螺栓固定于所述第二横框架部件的状态下,以随着向下方前进而朝向前方的方式倾斜。此外,也可以是,在所述第二横框架部件中形成有在左右方向上排列的多个第一固定孔,在所述管线支承部件的下端设置有形成了第二固定孔的螺栓固定部,通过在所述第二固定孔及对应的所述第一固定孔插入螺栓,从而所述螺栓固定部固定于所述第二横框架部件。此外,也可以是,在所述第二横框架部件中形成有沿左右方向延伸并向前方开口的狭缝,在所述管线支承部件的下端设置有形成了第二固定孔的螺栓固定部,通过在所述第二固定孔及所述狭缝插入螺栓,从而所述螺栓固定部固定于所述第二横框架部件。此外,作为本专利技术的一方式的气体管线部相对于框架的安装方法,其是如下所述气体管线部相对于如下所述框架的装卸方法,其中,所述框架具有第一横框架部件以及位于所述第一横框架部件下侧的第二横框架部件,所述第一横框架部件具备沿左右方向延伸的勾挂部件、以及位于比所述勾挂部件更靠下侧且形成有在前方开口的多个第一槽的下侧部;所述气体管线部具备管线支承部件,该管线支承部件具有可安装流体控制设备的设备载置部、以及从所述设备载置部的左右两缘向后方突出的一对侧板部,各侧板部具有基部、以及位于比所述基部更靠上侧的上方部,所述基部中形成有向后方开口的第二槽,所述上方部中设置有向前方突出的突起部,其中,在使所述气体管线部相对于上下方向倾斜的状态下,将所述管线支承部件的各基部的所述第二槽嵌入至所述第一横框架部件的所述下侧部的所述第一槽,并使所述上方部位于所述勾挂部件的后侧,以所述第二槽为中心,使所述气体管线部旋转以使得所述上方部朝向前方,使所述上方部的所述突起部从上侧与所述第一横框架部件的所述勾挂部件抵接,使所述气体管线部相对于所述第一横框架部件为悬吊状态。此外,也可以是,在所述上方部与所述第一槽之间设置有阶梯部,该阶梯部具有面向下方的阶梯面,在使所述气体管线部相对于上下方向倾斜的状态下,将所述阶梯部的所述阶梯面载置于所述第一横框架部件的所述下侧部的上表面,使所述气体管线部向斜上方移动,将所述管线支承部件的各基部的所述第二槽嵌入至所述第一横框架部件的所述下侧部的所述第一槽。(三)有益效果根据本专利技术,能够提供一种可容易地将气体管线部相对于框架进行安装的流体控制装置及气体管线部的装卸方法。附图说明图1表示本实施方式的流体控制装置的立体图。图2为表示一个气体管线部安装于框架的状态的图。图3的(a)表示将第一横框架部件的一部分省略的立体图,图3的(b)表示第一横框架部件的局部放大图。图4表示第二横框架部件的局部省略立体图。图5的(a)表示管线支承部件的局部省略立体图,图5的(b)表示管线支承部件的局部省略侧视图。图6表示将气体管线部安装于第一横框架部件及第二横框架部件的状态的局部省略侧视图。图7表示将管线支承部件安装于第一横框架部件及第二横框架部件的状态下的管线支承部件的卡合部及固定部附近的放大立体图。图8表示气体管线部向框架的安装方法的说明图。图9为表示第二横框架部件的变形例的图。具体实施方式参照附图对本专利技术的实施方式的流体控制装置1及气体管线部3的装卸方法进行说明。在以下的说明中,如图1所示地对上下方向、左右方向以及前后方向进行定义。图1表示本实施方式的流体控制装置1的立体图。图2为表示一个气体管线部3安装于框架2的状态的图。如图1所示,流体控制装置1具备框架2、以及多个气体管线部3(为了简化附图,仅对一个气体管线部3标记参照编号)。框架2例如可固定于半导体制造装置的筐体的垂直壁面。框架2呈方形的框状,并具备第一横框架部件10、第二横框架部件20、第一纵框架部件4、以及第二纵框架部件5。第二横框架部件20与第一横框架部件10平行,并位于第一横框架部件10的下侧。第一纵框架部件4及第二纵框架部件5与第一横框架部件10及第二横框架部件20正交,并分别与它们的端部连接。各框架部件10、20、4、5由例如不锈钢构成。如图2所示,各气体管线部3被支承于第一横框架部件10及第二横框架部件20,并具备管线支承部件30、多个接头6、以及多个流体控制设备7。各接头6通过未图示的螺栓固定于管线支承部件30。多个流体控制设备7由自动阀、手动阀、调节器、压力计以及流量控制设备(例如质量流量控制器(MFC:MassFlowController))等构成,并通过螺栓8相对于接头6(为了简化附图,仅对一个螺栓8标记参照编号)固定。接下来,参照图3对第一横框架部件10的详细结构进行说明。图3的(a)表示第一横框架部件10的局部省略立体图,图3的(b)表示第一横框架部件10的局部放大图。如图3的(a)、(b)所示,第一横框架部件10通过将金属板折弯而形成,呈在前方具有开口10a的截面大致“コ”字状,并具备第一上侧部11、第一后侧部12、以及第一下侧部13。第一上侧部11沿左右方向延伸,并呈与上下方向正交的平板状,在其两端分别设置有用于安装第一、二纵框本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体控制装置,其中具备安装有流体控制设备的管线支承部件的气体管线部可装卸地安装于框架,在所述流体控制装置中,所述框架具有第一横框架部件以及位于其下侧的第二横框架部件,所述第一横框架部件具备沿左右方向延伸的勾挂部件、以及位于比所述勾挂部件更靠下侧且形成有在前方开口的多个第一槽的下侧部,所述管线支承部件具有设备载置部、以及从所述设备载置部的左右两缘向后方突出的一对侧板部,各侧板部具有位于比所述勾挂部件更靠下侧的基部、以及位于比所述基部更靠上侧且位于所述勾挂部件后侧的上方部,所述基部中形成有向后方开口且嵌入所述第一槽的第二槽,所述上方部中设置有向前方突出且从上侧与所述勾挂部件抵接的突起部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.01.28 JP 2016-0149171.一种流体控制装置,其中具备安装有流体控制设备的管线支承部件的气体管线部可装卸地安装于框架,在所述流体控制装置中,所述框架具有第一横框架部件以及位于其下侧的第二横框架部件,所述第一横框架部件具备沿左右方向延伸的勾挂部件、以及位于比所述勾挂部件更靠下侧且形成有在前方开口的多个第一槽的下侧部,所述管线支承部件具有设备载置部、以及从所述设备载置部的左右两缘向后方突出的一对侧板部,各侧板部具有位于比所述勾挂部件更靠下侧的基部、以及位于比所述基部更靠上侧且位于所述勾挂部件后侧的上方部,所述基部中形成有向后方开口且嵌入所述第一槽的第二槽,所述上方部中设置有向前方突出且从上侧与所述勾挂部件抵接的突起部。2.根据权利要求1所述的流体控制装置,其特征在于,在所述上方部的后端形成有以随着从其上端向下方前进而远离所述设备载置部的方式倾斜的倾斜面。3.根据权利要求1或2所述的流体控制装置,其特征在于,在所述管线支承部件的下端设置有通过螺栓而固定于所述第二横框架部件的螺栓固定部,所述螺栓固定部在未通过所述螺栓固定于所述第二横框架部件的状态下,以随着向下方前进而朝向前方的方式倾斜。4.根据权利要求1至3中任一项所述的流体控制装置,其特征在于,在所述第二横框架部件中形成有沿左右方向排列的多个第一固定孔,在所述管线支承部件的下端设置有形成了第二固定孔的螺栓固定部,通过在所述第二固定孔及对应的所述第一固定孔插入螺栓,从而所述螺栓固定部固定于所述第二横框架部件。5.根据权利要求1至3中任一项所述的流体控制装置,其特征在于,所述第二横框架部件中形成有沿左右方向...

【专利技术属性】
技术研发人员:落石将彦松田隆博宇波博志才记由次
申请(专利权)人:株式会社富士金株式会社国际电气
类型:发明
国别省市:日本,JP

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