清洁装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种可自对象物的表面上高效率地去除比较大的异物及微细的异物两者的清洁装置。本发明专利技术是一种清洁装置，其一面搬送板状或膜状的对象物一面去除表面的异物，其特征在于：包括刷辊，在相对于搬送方向反转的方向上，通过与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动；清洁辊，在相对于搬送方向正转的方向上，通过与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动；第1相向辊，通过所述对象物而与所述刷辊相向地且大致平行地配设；以及第2相向辊，通过所述对象物而与所述清洁辊相向地且大致平行地配设。优选为所述第1相向辊的表面硬度比所述第2相向辊的表面硬度高。优选为所述第1相向辊为金属辊。

Cleaning device

The object of the present invention is to provide a cleaning device capable of removing large foreign bodies and fine foreign bodies efficiently from the surface of the object. The invention relates to a cleaning device, which carries a plate or film object on one side and removes foreign objects on the other side. The features of the device include: brushing rollers, which are rotated and driven by a rotating shaft which is roughly perpendicular to the direction of conveying and roughly parallel to the conveying surface in the direction of reversing the relative direction of conveying; cleaning rollers, which are relative to each other. In the direction of forward rotation of the conveying direction, the drive is rotated by a rotating shaft which is roughly perpendicular to the conveying direction and roughly parallel to the conveying surface; the first phase roll is arranged with the brush roll facing and roughly parallel to the object; and the second phase roll is facing and roughly flat with the cleaning roll through the object. Land allocation. Preferably, the surface hardness of the first phase facing roller is higher than the surface hardness of the second opposite roller. Preferably, the first phase facing roller is a metal roller.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】清洁装置
本专利技术涉及一种清洁装置。
技术介绍
近年来，开发有一种清洁装置，用以去除附着于平板显示器(FlatPanelDisplay，FPD)用的玻璃基板、或树脂基板、或搭载电子零件的印刷基板、或用以形成层叠陶瓷电容器等的陶瓷生片(ceramicgreensheet)、或树脂薄板、或膜等对象物的表面上的尘埃等异物。作为此种清洁装置，例如提出有如下的清洁装置：利用带电刷去除对象物表面的异物，并利用电场力(electricfieldforce)且利用清洁辊来搬送及回收所述经去除的异物(参照日本专利特开2011-92846号公报)。但是，在所述清洁装置中，比较大的毫米尺寸的异物可利用带电刷来去除，但因产生带电刷不接触对象物表面的部分，故存在无法充分地去除所述非接触部分上所存在的异物(特别是微细的异物)之虞。另外，在所述清洁装置中，如上所述不仅利用带电刷自对象物表面上去除异物的效率难言充分，利用清洁辊的异物的搬送效率及回收效率也难言充分。因此，所述清洁装置在异物的去除效率等方面存在改善的余地。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2011-92846号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题本专利技术是基于如上述情况而成者，其目的在于提供一种可自对象物的表面上高效率地去除比较大的异物及微细的异物两者的清洁装置。解决问题的技术手段为了解决所述课题而成的专利技术是一种清洁装置，其一面搬送板状或膜状的对象物一面去除表面的异物，其特征在于：包括刷辊，在相对于搬送方向反转的方向上，通过与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动；清洁辊，在相对于搬送方向正转的方向上，通过与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动；第1相向辊，通过所述对象物而与所述刷辊相向地且大致平行地配设；以及第2相向辊，通过所述对象物而与所述清洁辊相向地且大致平行地配设。根据所述清洁装置，可利用刷辊而自对象物上去除比较大的异物，并且可利用清洁辊而自对象物上高效率地去除微细的异物。另外，所述清洁装置通过具备与刷辊相向的第1相向辊、及与清洁辊相向的第2相向辊，可更高效率地进行利用刷辊的比较大的异物的去除、及利用清洁辊的微细的异物的去除。优选为所述第1相向辊的表面硬度比所述第2相向辊的表面硬度高。如此，通过使第1相向辊的表面硬度比第2相向辊高，可分别利用第1相向辊及第2相向辊使刷辊及清洁辊适当地抵接于对象物上，因此可进一步提升异物去除效率。优选为所述第1相向辊为金属辊。如此，通过将第1相向辊设为作为比较硬质的辊的金属辊，可使刷辊适当地抵接于对象物上，因此可更有效地去除比较大的异物。所述第2相向辊为弹性辊。如此，通过将第2相向辊设为弹性辊，可在第2相向辊与清洁辊之间确保适宜的夹持宽度。其结果，可提高清洁辊与对象物的密接性，可更有效地进行自对象物的表面上的微细的异物的去除。所述弹性辊优选为包括：导电性芯棒；内层部，包覆所述导电性芯棒的外表面，并具有导电性；以及外层部，包覆所述内层部的外表面。如此，通过弹性辊具有内层部及外层部，可一面通过内层部来确保弹性，一面通过外层部来确保防污性或耐磨耗性。其结果，可适宜地维持弹性辊与清洁辊的密接性，因此可长时间适宜地进行利用清洁辊的微细的异物的去除。另外，通过芯棒及内层部具有导电性，可在弹性辊与清洁辊之间更确实地形成所期望的电场，可利用清洁辊来有效地去除异物。优选为所述外层部的硬度比所述内层部的硬度高。如此，通过外层部的硬度比内层部的硬度高，可更显著地获得由设置内层部所带来的清洁辊与对象物的密接性提升效果、或由设置外层部所带来的防污性、耐磨耗性等的提升效果。作为所述内层部的日本工业标准(JapaneseIndustrialStandard，JIS)-A硬度，优选为15°以上、70°以下，作为所述外层部的JIS-A硬度，优选为50°以上。如此，通过将内层部及外层部的JIS-A硬度分别设为所述范围，可更显著地获得由设置内层部所带来的清洁辊与对象物的密接性提升效果、或由设置外层部所带来的防污性、耐磨耗性等的提升效果。优选为所述刷辊及所述清洁辊带电，且将所述第1相向辊及所述第2相向辊的电位设为固定电位。如此，通过使刷辊及清洁辊带电，且将第1相向辊及第2相向辊的电位设为固定电位，可分别在刷辊与第1相向辊之间、及清洁辊与第2相向辊之间有效地形成电场，因此可自对象物上更高效率地去除比较大的异物及微细的异物两者。再者，在本说明书的各辊的旋转方向的说明中，将在相对于对象物或其他辊的运动方向连带旋转的方向上旋转的情况称为“在正转方向上旋转”，反之称为“在反转方向上旋转”。另外，所谓“大致垂直”，是指相对于垂直线的交叉角度为±10°以内，也可为垂直。进而，所谓“大致平行”，是指两条直线所形成的角的锐角超过0°、且为10°以内，或为平行。在本说明书中，对象物的“表侧”及“背侧”仅是为了方便的区分，未必对应于使用对象物时的表侧及背侧。专利技术的效果本专利技术的清洁装置不仅可去除毫米尺寸的比较大的异物，也可去除微细的异物，因此可适宜地用于附着于板状或膜状的对象物的表面上的尘埃等异物的去除。附图说明[图1]表示本专利技术的一实施例的清洁装置的立体图。[图2]图1中所示的清洁装置的示意剖面图。[图3]图1中所示的清洁装置的刷辊的示意剖面图。[图4]图1中所示的清洁装置的回收辊的示意剖面图。[图5]图1中所示的清洁装置的搬送辊的示意正面图。[图6]图5的X-X线处的示意剖面图。[图7]表示可应用于本专利技术的一实施例的清洁装置的高度调节机构的一例的示意剖面图。[图8]表示使用图7的高度调节机构的高度调节的一工序的示意剖面图。[图9]表示图8的高度调节机构的示意立体图。[图10]图1中所示的清洁装置的清洁辊的示意剖面图。[图11]表示可应用于本专利技术的一实施例的清洁装置的单元侧端子的示意立体图。[图12]表示可应用于本专利技术的一实施例的清洁装置的固定器侧端子的示意立体图。[图13]表示可应用于本专利技术的一实施例的清洁装置的电压施加机构的示意剖面图。[图14]与图1不同的清洁装置的示意剖面图。[图15]表示对象物、刷及异物的带电序列的图。[图16]用以说明刷辊单元中的刷辊的施加电压的最适宜化的实验方法的示意图。[图17]表示相对于刷辊的施加电压的异物的吸附宽度的测定结果的图表。[图18]表示清洁性能的确认结果的对象物表面的摄像结果。[图19]表示清洁性能的确认结果的对象物表面的摄像结果。[图20]表示清洁性能的确认结果的对象物表面的摄像结果。具体实施方式以下，一面适宜参照附图一面对本专利技术的清洁装置的一例进行详细说明。关于本专利技术的具体的构成及细节，当然可在利用本专利技术的本质的范围内适宜变更。<清洁装置>图1及图2中所示的所述清洁装置是一面在搬送方向D上搬送平板状的对象物S，一面去除其表面(表侧表面S1及背侧表面S2)的异物者。所述清洁装置主要具备固定器1、外部搬送机构(上游侧外部搬送机构2A及下游侧外部搬送机构2B)、及清洁机构3。〔对象物〕对象物S在图2中为平板状的构件，但只要是板状或膜状的构件，则并无特别限制。具体而言，对象物的表面可如图2中所示那样平坦，但也可存在凹陷。进而，在对象物中也可存在孔等。作为板状的对象物，例如可列本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种清洁装置，其一面搬送板状或膜状的对象物一面去除表面的异物，其特征在于包括：刷辊，在相对于搬送方向反转的方向上，通过与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动；清洁辊，在相对于搬送方向正转的方向上，通过与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动；第1相向辊，通过所述对象物而与所述刷辊相向地且大致平行地配设；以及第2相向辊，通过所述对象物而与所述清洁辊相向地且大致平行地配设。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.09 JP 2016-0463691.一种清洁装置，其一面搬送板状或膜状的对象物一面去除表面的异物，其特征在于包括：刷辊，在相对于搬送方向反转的方向上，通过与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动；清洁辊，在相对于搬送方向正转的方向上，通过与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动；第1相向辊，通过所述对象物而与所述刷辊相向地且大致平行地配设；以及第2相向辊，通过所述对象物而与所述清洁辊相向地且大致平行地配设。2.根据权利要求1所述的清洁装置，其中所述第1相向辊的表面硬度比所述第2相向辊的表面硬度高。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：三桥浩，金子加津寛，谷新太，松本英树，
申请(专利权)人：阪东化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP