The present application relates to a test fixture and device, which comprises a base and a plurality of baffles. The fitting surface of the baffle is attached to one side of the base, and a plurality of test stations are arranged near the edge of the baffle on the upper surface of the base. The height of the fitting surface is higher than the height of the side, thus forming a flange to enable the chip to be tested to be quickly determined. Position to test station. Through the above technical scheme, the application can limit the chip to be tested, thus realizing the fast positioning of the chip to the test station, improving the feeding speed of the chip to be tested, and improving the detection efficiency, especially for the testing of small semiconductor chips.
【技术实现步骤摘要】
一种测试治具及装置
本申请涉及半导体芯片检测领域,特别是涉及一种测试治具及装置。
技术介绍
Bar条是一种未裂片、未封装的半导体激光器芯片。通常Bar条一般指的是LD(LaserDiode)bar条,就是半导体激光bar条,主要用于全固态激光器的泵浦源,由多个LD组合在一起,以提高泵浦的功率。对半导体激光器芯片Bar条的性能参数(如LIV(Light-Current-Voltage,光强-电流-电压)特性、光谱特性、FFP(Far-FieldPattern,远场图案)特性)进行测试和表征是深刻理解激光器芯片特性、优化芯片结构设计及完善芯片生产工艺的关键,同时也是判断激光器芯片好坏的重要依据。因此对半导体激光器芯片Bar条进行测试不论对于科研单位、生产厂商、使用客户都具有极为重要的意义。通常,对半导体激光器芯片Bar条进行测试,Bar条要与测试治具紧密贴合,一方面既要保证Bar条具有良好的散热效果,另一方面也要保证测试治具良好的吸附Bar条效果,使测试时Bar条不会出现移动造成测试异常。如图1所示,为现有的半导体激光器芯片Bar条测试治具110,测试治具110主要包括,测试工位120和待测芯片130,其中,待测芯片为Bar条,测试工位120设有真空孔,用于吸附固定待测芯片130。其主要存在的缺陷是:1、测试工位120通常采用较大的真空孔吸附Bar条,Bar条与测热治具110接触面积较小,这样Bar条测试时散热效果较差,而温度是限制半导体激光器bar条的关键因素之一,温度变化会引起禁带宽度、阈值电流、输出功率等性能指标的变化,这就导致Bar条测试参数与实际参数 ...
【技术保护点】
1.一种测试治具,其特征在于,所述测试治具包括基座和多个挡板,所述挡板的贴合面贴合在所述基座的一侧面,所述基座的上表面靠近所述挡板的边缘处设有多个测试工位;所述贴合面的高度大于所述侧面的高度,进而形成凸缘,以使待测芯片快速定位至所述测试工位。
【技术特征摘要】
1.一种测试治具,其特征在于,所述测试治具包括基座和多个挡板,所述挡板的贴合面贴合在所述基座的一侧面,所述基座的上表面靠近所述挡板的边缘处设有多个测试工位;所述贴合面的高度大于所述侧面的高度,进而形成凸缘,以使待测芯片快速定位至所述测试工位。2.根据权利要求1所述的测试治具,其特征在于,所述基座的所述测试工位处设有若干导气槽,所述导气槽内通负压,用于吸附放置于所述测试工位处的所述待测芯片。3.根据权利要求2所述的测试治具,其特征在于,所述导气槽竖直开设,若干所述导气槽连通,以平衡每个所述导气槽的吸附压强。4.根据权利要求1所述的测试治具,其特征在于,所述挡板靠近所述待测芯片的上表面为一斜面,所述挡板靠近所述待测芯片一侧的高度大于所述挡板远离所述待测芯片一侧的高度。5.根据权利要求1所述的测试治具,其特征在于,所述基座与所述挡板之间通过若干螺钉连接,所述基座和所述挡板的材料为不锈钢。6.根据权利要求5所述的测试治具,其特征在于,所述基座设有第一台阶,所述挡板通过螺钉安装固定在所述台阶处,以实现所...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡海,李国泉,王泰山,李成鹏,
申请(专利权)人:深圳瑞波光电子有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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