The utility model relates to an elastomer of an adsorption fixture, which is suitable for carrying silicon crystals, comprises a body part and a plurality of adsorption units. The body part comprises a plurality of holes arranged in a matrix. The adsorption unit is formed in the body part and separated from each other, and each adsorption unit includes a ring wall surrounding the stomata. The annular wall has an outer annulus, a first inner annulus which is opposite to the outer annulus and defines the suction port, a second inner annulus which is opposite to the outer annulus and defines the air chamber, and a contact surface which connects the outer annulus and the first inner annulus and is suitable for contacting the silicon crystal. The diameter width of the second inner ring surface and the outer ring surface is larger than that of the first inner ring surface and the outer ring surface. In this way, the strength of the part adjacent to the contact surface of the ring wall is enhanced by using a stratified suction and air chamber without affecting the adsorption aperture. When cutting the silicon crystal, it will not distort or deform, and it can not only support the silicon crystal stably, but also improve the cutting quality of the silicon crystal.
【技术实现步骤摘要】
吸附式治具的弹性体
本技术涉及一种吸附式治具,特别是涉及一种吸附式治具的弹性体。
技术介绍
参阅图1,一种中国台湾专利号第M525541号专利案所公开的现有吸附式治具1。包含一个基座11,及设置在所述基座11上且适用于承载一片硅晶2的一个弹性体12。所述弹性体12包括呈矩阵排列且彼此相隔一个间距的多个气孔121,及环绕所述气孔121且界定出开口朝上的多个吸口122的多个环壁123。所述气孔121连通于一个抽气装置(图未示)。借此,当所述气孔121内因为负压作用而产生吸力时,会通过所述吸口122将所述硅晶2吸附在所述环壁123的顶面,进而能够在所述硅晶2被切割成多个晶片时,达到支撑及固定所述硅晶2与所述晶片的目的。在不损伤所述硅晶2的前提下,所述吸口122的大小,会影响吸附力,因此,吸口122的口径愈大,相对所述硅晶2产生的吸附力就愈强,惟,前述弹性体12通常是软质材料制成,所以,随着所述吸口122的口径愈大,所述环壁123的壁厚就愈薄,且随着所述吸口122的深度愈深,支撑力就愈不足,以致于所述硅晶2被切割时,所述环壁123很容易因为被挤压而扭曲、变形,使所述晶片有边角崩裂的状况。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种能够提供稳定的支撑效果的吸附式治具的弹性体。本技术的吸附式治具的弹性体,适用于承载一片硅晶,所述弹性体包含:本体部,及多个吸附单元。所述本体部包括呈矩阵排列且彼此相间隔的多个气孔,所述吸附单元形成在所述本体部且彼此相间隔,每一吸附单元包括环绕所述气孔的环壁,所述环壁具有外环面、反向于所述外环面且界定出吸口的第一内环面、反向于所述外环面且界定出气室 ...
【技术保护点】
1.一种吸附式治具的弹性体,适用于承载硅晶,所述弹性体包含本体部,及多个吸附单元,所述本体部包括呈矩阵排列且彼此相间隔的多个气孔,所述吸附单元形成在所述本体部且彼此相间隔,其特征在于:每一吸附单元包括环绕所述气孔的环壁,所述环壁具有外环面、反向于所述外环面且界定出吸口的第一内环面、反向于所述外环面且界定出气室的第二内环面,及连接所述外环面一端缘与所述第一内环面一端缘且适用于接触所述硅晶的接触面,所述吸口与所述气室连通于相对位置的气孔,所述第一内环面与所述外环面的径宽小于所述第二内环面与所述外环面的径宽。
【技术特征摘要】
1.一种吸附式治具的弹性体,适用于承载硅晶,所述弹性体包含本体部,及多个吸附单元,所述本体部包括呈矩阵排列且彼此相间隔的多个气孔,所述吸附单元形成在所述本体部且彼此相间隔,其特征在于:每一吸附单元包括环绕所述气孔的环壁,所述环壁具有外环面、反向于所述外环面且界定出吸口的第一内环面、反向于所述外环面且界定出气室的第二内环面,及连接所述外环面一端缘与所述第一内环面一端缘且适用于接触所述硅晶的接触面,所述吸口与所述气室连通于相对位置的气孔,所述第一内环面与所述外环面的径宽小于所述第二内环面与所述外环面的径宽。2.根据权利要求1所述的吸附式治具的弹性体,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:赖奕诚,赖奕儒,
申请(专利权)人:宸榤精机股份有限公司,赖奕诚,赖奕儒,
类型:新型
国别省市:中国台湾,71
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