一种高刚性无尘减振基台板拼装结构制造技术

本发明专利技术公开了一种高刚性无尘减振基台板拼装结构，包括：多个侧边扣梁，每个侧边扣梁的一侧面上形成有长槽，相对的另一侧面上形成有多个固定拼接孔；多个装配基台板单元，每个装配基台板单元包括上下面板以及夹在上下面板之间的夹层；上下面板与夹层在装配基台板单元的两个相对侧面形成榫头，在另外两个相对侧面形成榫槽；及多个拼接连接件；榫头分别插入两侧的侧边扣梁的长槽中与之配合；拼接连接件安装在两个相邻装配基台板单元的相邻榫槽之中，其两端分别插入侧边扣梁的固定拼接孔中，由此将多个装配基台板单元固定在一起；在所述多个侧边扣梁、所述多个装配基台板单元以及所述多个拼接连接件中的任意两两接触的表面处设置有聚氨酯层。

A high rigidity and dust free vibration damping base plate assembly structure

The invention discloses a high rigidity dust-free vibration absorption base plate assembly structure, which comprises: multiple side buckle beams, long grooves formed on one side of each side buckle beam, multiple fixed splicing holes formed on the opposite side; multiple assembly base plate units, each assembly base plate unit including upper and lower panels and clamped on top. The sandwich between the lower panel; the upper and lower panel and the sandwich form tenons on the two opposite sides of the assembly base plate unit and mortise grooves on the other two opposite sides; and a plurality of splicing connectors; the mortise is inserted into the long grooves of the side buckle beams on both sides to cooperate with them; the splicing connectors are installed in two adjacent assembly base plate sheets. In the adjacent mortise groove of the element, the two ends of the mortise groove are respectively inserted into the fixed splicing holes of the side buckle beam, thereby fixing a plurality of assembly base plate units together, and a polyurethane layer is arranged at the surface of any two contacts of the side buckle beam, the plurality of assembly base plate units and the plurality of splicing connectors.

【技术实现步骤摘要】
一种高刚性无尘减振基台板拼装结构
本专利技术涉及振动控制
，尤其涉及一种高刚性无尘减振基台板拼装结构。
技术介绍
目前，对于电子厂房精密仪器的设备基础，多采用混凝土基台板、气浮式高精度减振平台以及成形一体化的减振基台等。它们在运输过程、现场施工安装及自身成本上存在一些问题。总结之，传统精密设备基础具有以下缺陷：(1)混凝土基台板施工污染、效率低。一般配有精密生产线的电子厂房都具有洁净度要求，最低级也是在洁净度万级水平，那么传统的混凝土基台板的施工，对洁净环境具有较大环境污染，其处理措施繁杂，代价高昂，周期较长，效率低下。(2)气浮式高精度减振平台成本高，利用率低。也可以采用采用洁净气源的气浮式被动振动控制平台，这种平台本身也具有精密性，但成本相比较高，而且需要安装和维护空间。最重要的是高精度气浮平台的隔振性能较高，但是大规模电子工业厂房生产线容许振动标准与其差距较大，往往会造成性能虽高，但是利用率低，例如外界环境振动VC-B(25μm/s)水平，采用气浮平台可达VC-E(3.0μm/s)水平，但是生产线精密设备容许标准为VC-C(12μm/s)标准，就会造成巨大浪费。(3)成形一体化减振基台运输困难。对于预制好的完整一体化的减振基台，随省去了现场施工的麻烦，但由于其体积较大，重量较沉，会给运输过程带来了很大的困难，提高了运输的成本。因此，需要新的振动控制技术，能够克服现有技术中存在的上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术中存在的上述问题，面向目前电子工业厂房如超大规模集成电路、薄膜晶体板等生产线上大批精密设备运行时受周边振动影响，降低良品率问题，针对精密设备基础，提出一种高刚性无尘化减振基台板拼装结构，通过采用铸钢和不锈钢材料，将较大的设备基础分割设计成为若干标准型装配基台板单元，并在单元上设置一些拼接预留固定接口，利用连接方钢和侧边扣梁共同组合成为一块整体较刚、稳定性较强的基台板结构，利于基台板减振，同时实现了轻量化和无尘化。根据本专利技术的一方面，提供一种高刚性无尘减振基台板拼装结构，包括：多个侧边扣梁10，每个侧边扣梁的一侧面上形成有长槽11，相对的另一侧面上形成有多个固定拼接孔12；多个装配基台板单元20，每个装配基台板单元20包括上下面板(21、21’)以及夹在上下面板之间的夹层22；上下面板(21、21’)与夹层22在装配基台板单元20的两个相对侧面形成榫头23，在另外两个相对侧面形成榫槽24；以及多个拼接连接件30；其中，装配基台板单元20的榫头23分别插入两侧的侧边扣梁10的长槽11中与之配合；拼接连接件30安装在两个相邻装配基台板单元20的相邻榫槽24之中，并且其两端分别插入所述两侧的侧边扣梁10的固定拼接孔12中，由此将多个装配基台板单元20固定在一起；其中，在所述多个侧边扣梁10、所述多个装配基台板单元20以及所述多个拼接连接件30中的任意两两接触的表面处设置有聚氨酯层40。根据本专利技术的一个实施方案，其中所述多个侧边扣梁10为两个，所述多个装配基台板单元20为三个，所述多个拼接连接件30为两个，每个侧边扣梁10的长度与三个装配基台板单元20的榫头23所在的边的长度之和相同。根据本专利技术的一个实施方案，其中所述侧边扣梁10以及装配基台板单元20由不锈钢制成。根据本专利技术的一个实施方案，其中所述高刚性无尘减振基台板拼装结构还包括用于固定连接所述多个侧边扣梁10和所述多个装配基台板单元20的多个螺栓。根据本专利技术的一个实施方案，其中所述固定拼接孔12的尺寸为60mm×60mm。根据本专利技术的一个实施方案，其中拼接连接件30为连接方钢，由铸钢形成。根据本专利技术的一个实施方案，其中每个侧边扣梁的长度为约3.0m，每个装配基台板单元20的榫头23所在的边长为约1.0m，所述拼接连接件30的长度为约1.2m。本专利技术基于刚性封闭体能量耗散原理，提出一种面向电子厂房生产线大规模精密设备的无尘减振拼装结构，本专利技术通过设计一种装配式的结构体系，将若干小的标准部件进行拼接，形成大块的刚性设备基础，既能保持洁净、高效，还能有效减振。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的技术方案。图1为根据本专利技术一个实施方案的高刚性无尘减振基台板拼装结构的爆炸结构示意图。图2为根据本专利技术一个实施方案的高刚性无尘减振基台板拼装结构的组合示意图。图3为图2所示的高刚性无尘减振基台板拼装结构组合示意图中的侧边扣梁的透视示意图以及局部放大图。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本专利技术各实施方式中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本申请各权利要求所要求保护的技术方案。图1为根据本专利技术一个实施方案的高刚性无尘减振基台板拼装结构的爆炸结构示意图。图2为根据本专利技术一个实施方案的高刚性无尘减振基台板拼装结构的组合示意图。参考图1和图2,本专利技术的高刚性无尘减振基台板拼装结构包括：两个侧边扣梁10，每个侧边扣梁的一侧面上形成有长槽11，相对的另一侧面上形成有多个固定拼接孔12；三个装配基台板单元20，每个装配基台板单元20包括上下面板(21、21’)以及夹在上下面板之间的夹层22；上下面板(21、21’)与夹层22在装配基台板单元20的两个相对侧面形成榫头23，在另外两个相对侧面形成榫槽24；以及两个拼接连接件30。如图1和2所示，装配基台板单元20的榫头23能够分别插入两侧的侧边扣梁10的长槽11中与之配合；拼接连接件30安装在两个相邻装配基台板单元20的相邻榫槽24之中，并且其两端分别插入所述两侧的侧边扣梁10的固定拼接孔12中，由此将多个装配基台板单元20固定在一起。参考附图，每个侧边扣梁10的长度与三个装配基台板单元20的榫头23所在的边的长度之和相同。例如每个侧边扣梁的长度为约3.0m，每个装配基台板单元20的榫头23所在的边长为约1.0m，所述拼接连接件30的长度为约1.2m。根据本专利技术的一个实施方案，所述侧边扣梁10以及装配基台板单元20可以由不锈钢制成。例如每个装配基台板单元边长1米，厚0.25米，由上下两块大钢板，内夹多块小钢板组成。根据本专利技术的一个实施方案，拼接连接件30为可以连接方钢，由铸钢形成。连接方钢的尺寸例如可以为尺寸为1200×60×60(单位：mm)，通过侧边扣梁上的固定拼接孔和基台板单元上的榫槽进行拼接，用于基台的竖向固定，提高了基台整体的刚度。根据本专利技术，所述固定拼接孔12的尺寸与拼接连接件30的尺寸相配合，例如固定拼接孔12也可以为约60mm×60mm。根据本专利技术的一个实施方案，其中所述高刚性无尘减振基台板拼装结构还包括用于固定连接所述侧边扣梁10和所述装配基台板单元20的多个螺栓(未示出)。也即，可以利用螺栓(例如也可以配合锚固件、螺母等)将各部分例如侧边扣梁10和装配基台板单元20二者锁死。结合现有技术以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高刚性无尘减振基台板拼装结构，包括：多个侧边扣梁(10)，每个侧边扣梁的一侧面上形成有长槽(11)，相对的另一侧面上形成有多个固定拼接孔(12)；多个装配基台板单元(20)，每个装配基台板单元(20)包括上下面板(21、21’)以及夹在上下面板之间的夹层(22)；上下面板(21、21’)与夹层(22)在装配基台板单元(20)的两个相对侧面形成榫头(23)，在另外两个相对侧面形成榫槽(24)；以及多个拼接连接件(30)；其中，装配基台板单元(20)的榫头(23)分别插入两侧的侧边扣梁(10)的长槽(11)中与之配合；拼接连接件(30)安装在两个相邻装配基台板单元(20)的相邻榫槽(24)之中，并且其两端分别插入所述两侧的侧边扣梁(10)的固定拼接孔(12)中，由此将多个装配基台板单元(20)固定在一起；其中，在所述多个侧边扣梁(10)、所述多个装配基台板单元(20)以及所述多个拼接连接件(30)中的任意两两接触的表面处设置有聚氨酯层(40)。

【技术特征摘要】
1.一种高刚性无尘减振基台板拼装结构，包括：多个侧边扣梁(10)，每个侧边扣梁的一侧面上形成有长槽(11)，相对的另一侧面上形成有多个固定拼接孔(12)；多个装配基台板单元(20)，每个装配基台板单元(20)包括上下面板(21、21’)以及夹在上下面板之间的夹层(22)；上下面板(21、21’)与夹层(22)在装配基台板单元(20)的两个相对侧面形成榫头(23)，在另外两个相对侧面形成榫槽(24)；以及多个拼接连接件(30)；其中，装配基台板单元(20)的榫头(23)分别插入两侧的侧边扣梁(10)的长槽(11)中与之配合；拼接连接件(30)安装在两个相邻装配基台板单元(20)的相邻榫槽(24)之中，并且其两端分别插入所述两侧的侧边扣梁(10)的固定拼接孔(12)中，由此将多个装配基台板单元(20)固定在一起；其中，在所述多个侧边扣梁(10)、所述多个装配基台板单元(20)以及所述多个拼接连接件(30)中的任意两两接触的表面处设置有聚氨酯层(40)。2.根据权利要求1所述的高...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐建，胡明祎，张同亿，
申请(专利权)人：中国机械工业集团有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11