一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构制造技术

本发明专利技术公开了一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构，包括真空室、磁导向装置，还包括多根横向穿过真空室两侧侧板的连接杆，多条磁导向装置纵向固定在连接杆上，连接杆的一端固定在安装板上，在安装板与真空室之间的连接杆外套有波纹管，连接杆的另一端套在密封套筒内，在真空室的两端还各设有一根横向穿过真空室两侧侧板的传动杆，在传动杆上固定有夹具，传动杆一端与固定在安装板上的旋转马达连接，另一端套在密封套筒内，所述安装板与平移驱动装置连接，平移驱动装置可带动安装板往返移动。本发明专利技术可以实现多个基片架在单箱体真空环境下的左右平移，使基片架在平移过程中的保持平稳，整个工作过程中不会造成真空度的变化。

A vacuum guide plate translation mechanism for vacuum coating machine

The invention discloses a magnetic guiding translation mechanism in a vacuum chamber of a vacuum coating machine, which comprises a vacuum chamber and a magnetic guiding device, and also comprises a plurality of connecting rods crossing both sides of the vacuum chamber, a plurality of magnetic guiding devices are longitudinally fixed on the connecting rod, one end of the connecting rod is fixed on the installation plate, and between the installation plate and the vacuum chamber. The outer sleeve of the connecting rod is provided with bellows, and the other end of the connecting rod is sleeved in the sealed sleeve. At each end of the vacuum chamber, there is a transmission rod crossing the two side plates of the vacuum chamber transversely. Fixtures are fixed on the transmission rod. One end of the transmission rod is connected with a rotary motor fixed on the installation plate, and the other end is sleeved in the sealed sleeve. The mounting plate is connected with the translation driving device, and the translational driving device can drive the mounting plate to move back and forth. The invention can realize the left and right translation of multiple substrates under the vacuum environment of a single box, so that the substrates can keep stable in the translation process, and the vacuum degree will not change during the whole working process.

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构
本专利技术涉及真空镀膜
，具体说，是一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构。
技术介绍
真空镀膜生产线是在同一水平平面上分布有多个真空箱体，被镀玻璃在传送装置的输送下，经过每一个真空箱体进行处理，实现表面镀膜。立式真空镀膜生产线的基片架传送时，基片架垂直于真空室底板，其底部由机械传送机构驱动，上部采用磁导向装置导向，所述的磁导向装置是在承载玻璃的基片架上部设置磁钢，然后，使基片架上部卡装在两侧壁上设置有多组磁导向单元的U形槽中，利用磁钢同极排斥的作用，实现对基片架无接触定位、导向目的。目前真空环境下的磁导向装置采用的是固定式。
技术实现思路
针对上述现有技术中存在的技术问题，本专利技术提供一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构，可以实现多个基片架在单箱体真空环境下的左右平移。本专利技术采用的技术方案如下：一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构，包括真空室、磁导向装置，还包括多根横向穿过真空室两侧侧板的连接杆，多条磁导向装置纵向固定在连接杆上，连接杆的一端固定在安装板上，在安装板与真空室之间的连接杆外套有波纹管，波纹管两端分别与安装板及真空室侧板密闭连接，连接杆的另一端套在密封套筒内，密封套筒固定在真空室侧板上，在真空室的两端还各设有一根横向穿过真空室两侧侧板的传动杆，在传动杆上固定有与磁导向装置一一对应的夹具，传动杆一端与固定在安装板上的旋转马达连接，在安装板与真空室之间的传动杆外套有波纹管，波纹管两端分别于安装板及真空室侧板密闭连接，传动杆的另一端套在密封套筒内，密封套筒固定在真空室侧板上，所述安装板与平移驱动装置连接，所述平移驱动装置可带动安装板往返移动。进一步地，所述平移驱动装置包括平移马达、与平移马达连接的丝杠、与丝杠配合的丝杠螺母，所述丝杠螺母与安装板连接。进一步地，还包括平移导向装置，所述平移导向装置包括直线滑轨、固定在安装板上与直线滑轨配合的滑块。进一步地，所述连接杆、传动杆与真空室侧板之间通过直线轴承连接。本专利技术的有益效果是：本专利技术可以实现多个基片架在单箱体真空环境下的左右平移，解决了基片架在水平移动过程中上端的摆动以及整个框架的晃动问题，使基片架在平移过程中的保持平稳，整个平移机构都是在真空环境下进行，在整个工作过程中不会造成真空度的变化。附图说明图1是本专利技术的立体结构示意图。图2是本专利技术使用状态的纵向截面图。图3是本专利技术使用状态的横向截面图。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本专利技术作更全面、细致地描述，但本专利技术的保护范围并不限于以下具体的实施例。如图1—图3所示，本实施例的一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构，包括真空室、磁导向装置1，还包括多根横向穿过真空室两侧侧板15的连接杆2，多条磁导向装置1纵向固定在连接杆2上，连接杆2的一端固定在安装板8上，在安装板8与真空室之间的连接杆外套有波纹管6，波纹管6两端分别与安装板8及真空室侧板15密闭连接，连接杆2的另一端套在密封套筒3内，密封套筒3固定在真空室侧板上，在真空室的两端还各设有一根横向穿过真空室两侧侧板的传动杆4，在传动杆4上固定有与磁导向装置1一一对应的夹具5，传动杆4一端与固定在安装板8上的旋转马达7连接，在安装板与真空室之间的传动杆外套有波纹管，波纹管两端分别于安装板及真空室侧板密闭连接，传动杆4的另一端套在密封套筒内，密封套筒固定在真空室侧板上，所述安装板8与平移驱动装置连接，所述平移驱动装置包括平移马,9、与平移马达9连接的丝杠10、与丝杠10配合的丝杠螺母11，所述丝杠螺母11与安装板8连接，所述平移驱动装置可带动安装板往返移动。进一步地，还包括平移导向装置，所述平移导向装置包括直线滑轨12、固定在安装板8上与直线滑轨12配合的滑块13。进一步地，所述连接杆2、传动杆4与真空室侧板15之间通过直线轴承16连接。本专利技术的一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构工作时，由平移马达9驱动丝杠10带动安装板8左右移动，从而可以带动磁导向装置1以及基片架14平移，移动时，旋转马达7驱动传动杆4转动，从而使固定在传动杆4上的夹具5放下实现对基片架14两端的夹持，移动到位后，旋转马达驱动传动杆反向转动，从而使夹具脱离对基片架两端的夹持。在前述说明书与相关附图中存在的教导的帮助下，本专利技术所属领域的技术人员将会想到本专利技术的许多修改和其它实施方案。因此，要理解的是，本专利技术不限于公开的具体实施方案，修改和其它实施方案被认为包括在所附权利要求的范围内。尽管本文中使用了特定术语，它们仅以一般和描述性意义使用，而不用于限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构，包括真空室、磁导向装置，其特征在于：还包括多根横向穿过真空室两侧侧板的连接杆，多条磁导向装置纵向固定在连接杆上，连接杆的一端固定在安装板上，在安装板与真空室之间的连接杆外套有波纹管，波纹管两端分别与安装板及真空室侧板密闭连接，连接杆的另一端套在密封套筒内，密封套筒固定在真空室侧板上，在真空室的两端还各设有一根横向穿过真空室两侧侧板的传动杆，在传动杆上固定有与磁导向装置一一对应的夹具，传动杆一端与固定在安装板上的旋转马达连接，在安装板与真空室之间的传动杆外套有波纹管，波纹管两端分别于安装板及真空室侧板密闭连接，传动杆的另一端套在密封套筒内，密封套筒固定在真空室侧板上，所述安装板与平移驱动装置连接，所述平移驱动装置可带动安装板往返移动。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构，包括真空室、磁导向装置，其特征在于：还包括多根横向穿过真空室两侧侧板的连接杆，多条磁导向装置纵向固定在连接杆上，连接杆的一端固定在安装板上，在安装板与真空室之间的连接杆外套有波纹管，波纹管两端分别与安装板及真空室侧板密闭连接，连接杆的另一端套在密封套筒内，密封套筒固定在真空室侧板上，在真空室的两端还各设有一根横向穿过真空室两侧侧板的传动杆，在传动杆上固定有与磁导向装置一一对应的夹具，传动杆一端与固定在安装板上的旋转马达连接，在安装板与真空室之间的传动杆外套有波纹管，波纹管两端分别于安装板及真空室侧板密闭连接，传动杆的另一...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘光斗，舒逸，李赞，
申请(专利权)人：湖南玉丰真空科学技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南,43