The invention relates to a silicon wafer cutting waste liquid treatment method and a processing system. The treatment system includes: a waste liquid collecting pond for collecting waste liquid generated during silicon wafer cutting; an acid adding device connected with one end of the waste liquid collecting pond for adjusting the pH value of the waste liquid collecting pond; and a plate-frame filter pressing device connected with the other end of the waste liquid collecting pond for convection through the plate. The waste liquid of the frame pressure filter device is filtered by pressure; the ceramic membrane module connected with the plate and frame pressure filter device is used for membrane filtration of the filtrate after pressure filtration; the ion exchange tank connected with the ceramic membrane module is used for ion exchange of filtrate after membrane filtration to obtain the clear liquid; and the ceramic membrane module is connected with the ion exchange tank. Clear liquid utilization end. The treatment system of the silicon wafer cutting waste liquor has simple structure, and can realize the purification treatment of the silicon wafer cutting waste liquor, thereby meeting the water demand of the production process with high water quality requirements.
【技术实现步骤摘要】
硅片切割废液的处理方法及处理系统
本专利技术涉及硅片切割领域,特别是涉及一种硅片切割废液的处理方法及处理系统。
技术介绍
目前硅片切割领域,普遍采用金刚线对硅锭进行切割,而在切割过程中需要不断在金刚线表面喷淋冷却液以防止局部过热损害切割设备和金刚线。但是冷却液多为聚合高分子化合物,成本高,但使用过后的冷却液又会携带硅片切割过程中脱落的硅粉、碳化硅及胶质杂质而成为硅片切割废液,传统方法还无法对上述废液进行有效的二次利用。
技术实现思路
基于此,有必要针对无法对硅片切割废液进行二次利用的问题,提供一种硅片切割废液的处理方法及处理系统,经该处理系统处理后的清液可满足对水质要求较高的生产工艺的用水需求。一种硅片切割废液的处理系统,包括依次设置有:废液收集池,用于收集硅片切割过程中产生的废液;与所述废液收集池一端连通的加酸装置,用于调节所述废液收集池的pH值;与所述废液收集池另一端连通的板框压滤装置,用于对流经所述板框压滤装置的废液进行压滤;与所述板框压滤装置连通的陶瓷膜组件,用于对压滤后的压滤液进行膜过滤;与所述陶瓷膜组件连通的离子交换罐,用于对膜过滤后的透滤液进行离子交换得到清液;以及与所述离子交换罐连通的清液利用端。上述硅片切割废液的处理系统结构简单,可以实现对硅片切割废液的净化处理,进而可满足对水质要求较高的生产工艺的用水需求,例如:供再次作为硅片切割冷却液进行重复使用。具体而言,该废液处理系统中含有加酸装置,可在废液进入板框压滤装置前,将废液收集池中的酸碱度调制为最佳,进而有利于废液在板框压滤装置中得到充分净化,以防止因废液中的pH值过高,而浆液的pH升高后, ...
【技术保护点】
1.一种硅片切割废液的处理系统,其特征在于,包括依次设置有:废液收集池,用于收集硅片切割过程中产生的废液;与所述废液收集池一端连通的加酸装置,用于调节所述废液收集池的pH值;与所述废液收集池另一端连通的板框压滤装置,用于对流经所述板框压滤装置的废液进行压滤;与所述板框压滤装置连通的陶瓷膜组件,用于对压滤后的压滤液进行膜过滤;与所述陶瓷膜组件连通的离子交换罐,用于对膜过滤后的透滤液进行离子交换得到清液;以及与所述离子交换罐连通的清液利用端。
【技术特征摘要】
1.一种硅片切割废液的处理系统,其特征在于,包括依次设置有:废液收集池,用于收集硅片切割过程中产生的废液;与所述废液收集池一端连通的加酸装置,用于调节所述废液收集池的pH值;与所述废液收集池另一端连通的板框压滤装置,用于对流经所述板框压滤装置的废液进行压滤;与所述板框压滤装置连通的陶瓷膜组件,用于对压滤后的压滤液进行膜过滤;与所述陶瓷膜组件连通的离子交换罐,用于对膜过滤后的透滤液进行离子交换得到清液;以及与所述离子交换罐连通的清液利用端。2.根据权利要求1所述的硅片切割废液的处理系统,其特征在于,所述离子交换罐包括依次设置的阳离子树脂罐和阴离子树脂罐。3.根据权利要求2所述的硅片切割废液的处理系统,其特征在于,所述阳离子树脂罐中的阳离子树脂为强酸性苯乙烯系阳离子交换树脂,阳离子树脂的粒径为0.315-1.250mm。4.根据权利要求2所述的硅片切割废液的处理系统,其特征在于,所述阴离子树脂罐中的阴离子树脂为强碱性苯...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈江俊,
申请(专利权)人:阜宁协鑫光伏科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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