减压容器、处理装置、以及处理系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种减压容器，其包括外壁，所述外壁包括第一构件。第一构件包括第一基部和第一肋部。第一基部包括具有四边形形状的第一表面。第一肋部设置在所述第一表面上。第一肋部包括：围绕所述第一表面的中心的第一肋；多个第二肋，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸；以及多个第三肋，所述多个第三肋分别设置成与所述第一表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开。本实用新型专利技术还涉及一种处理装置和一种处理系统。

【技术实现步骤摘要】
减压容器、处理装置、以及处理系统
本技术涉及内部减压的减压容器、包括减压容器的处理装置、以及包括处理装置的处理系统。
技术介绍
例如，在用于制造半导体装置或平板显示器(FPD)的处理装置(譬如成膜装置)中，诸如成膜处理这样的处理在减压容器中进行。在这种类型的减压容器中，容器内部被减压且因此压力被施加至容器的壁部。此时，如果容器的壁部的强度较低，则壁部将变形，并且因此将产生诸如空气通过接合部等进入容器中且因此无法维持容器内部的压力、或者壁部的变形影响到设置在容器中的内藏物这样的问题。因此，减压容器需要具有耐压强度。另外，由于所施加的压力随着容器的尺寸变大而变高，因此在增大容器的尺寸时需要增加容器的强度。因此，加大的减压容器变得更重。例如，在用于制造半导体装置或FPD的处理装置(譬如成膜装置)中，因为减压容器的尺寸随着晶圆或玻璃基板的尺寸的增大而增大，所以减压容器的重量也趋于增大。这就意味着用于减压容器的材料的成本增加以及用于安装减压容器的铺设成本增加。因此，希望提供一种减压容器，其尽可能轻，同时具有足够的耐压强度。作为用于加强减压容器的手段，例如日本专利特开JP2010-243015提出了一种肋结构。通过在承受压力的壁面上设置竖立的肋，所获得的减压容器与具有简单的平面结构的减压容器相比强度更高并且重量更轻。然而，尽管日本专利特开JP2010-243015中的肋结构所能够实现的减压容器与未设置肋的减压容器相比强度更高且重量更轻，但是仍然希望能够进一步减轻在处理装置等中使用的减压容器的重量。
技术实现思路
根据本技术的第一方面，一种减压容器包括外壁，所述外壁包括第一构件，所述第一构件包括第一基部和第一肋部，所述第一基部包括具有四边形形状的第一表面，所述第一肋部设置在所述第一表面上。所述第一肋部包括：围绕所述第一表面的中心的第一肋；多个第二肋，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸；以及多个第三肋，所述多个第三肋分别设置成与所述第一表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开。本技术的更多特征将根据以下参照附图对示范性实施例的说明变得显而易见。附图说明图1是示出了根据第一示范性实施例的处理系统的说明图。图2是示出了根据第一示范性实施例的处理装置的说明图。图3是根据第一示范性实施例的减压容器的透视图。图4A是根据第一示范性实施例的减压容器的上表面部或下表面部的平面图。图4B是根据第一示范性实施例的减压容器的侧表面部的平面图。图5是根据第二示范性实施例的减压容器的透视图。图6是根据第二示范性实施例的减压容器的门的平面图。图7A是构成第一示范性实施例的减压容器的上表面部和下表面部的构件的尺寸的说明图。图7B是构成第一示范性实施例的减压容器的侧表面部的构件的尺寸的说明图。图8是比较例1的减压容器的透视图。图9是示例2和示例3的门的尺寸的说明图。图10是比较例2的减压容器的门的尺寸的说明图。图11A至11E是第一肋的变型例的说明图。图12A至12E是第二肋的变型例的说明图。图13A和13B是第三肋的变型例的说明图。图14是根据第二示范性实施例的减压容器的变型例的透视图。具体实施方式以下将参照附图详细描述本技术的示范性实施例。第一示范性实施例图1是示出了根据第一示范性实施例的处理系统的说明图。处理系统100是用于制造平板显示器的系统。平板显示器的示例包括有机电致发光显示器(OLED显示器)、液晶显示器、等离子显示器、场发射显示器、以及电子纸，并且在第一示范性实施例中将描述平板显示器为OLED显示器的情形。处理系统100包括作为真空室的减压容器101至110。减压容器101、102和103是传送室，其中用作工件的基板由设置在传送室中且用作传送机构的机械手120传送。减压容器101和102经由一减压容器107相互连接，并且减压容器102和103经由另一减压容器107相互连接。减压容器107是基板在其中进行过渡的过渡室。多个减压容器104、减压容器105和减压容器106连接至减压容器101。多个减压容器104和减压容器106连接至减压容器102。减压容器108、减压容器109和减压容器110连接至减压容器103。减压容器104是沉积室，薄膜的材料例如金属材料或有机材料在沉积室中被沉积到支撑于托盘上的基板上。减压容器105是基板供给室，从外部通过该基板供给室供给基板。减压容器106是收纳室，用于支撑基板的托盘被收纳在该收纳室中，并且每当在减压容器104中的托盘上沉积了预定厚度的膜或者较厚的膜时，都会将托盘传送至减压容器106。通过将传送至减压容器106的托盘取出，即可对托盘进行清洁。减压容器108是玻璃供给室，通过该玻璃供给室供给密封玻璃，并且减压容器109是贴合室，在该贴合室中将密封玻璃贴合到其上已经形成有膜的基板上。减压容器110是取出室，制成的OLED显示器通过该取出室取出。将描述制造OLED显示器的方法。供给至减压容器105的基板由减压容器101中的机械手120相继地传送至相应的减压容器104，并且进行成膜处理。在由设置在相应的减压容器104中的气相沉积装置完成了成膜之后，基板被传送至减压容器107，并且由此将基板过渡到减压容器102中的机械手120。然后，基板由减压容器102中的机械手120相继地传送至相应的减压容器104，并且进行成膜处理。在相应的减压容器104中完成了成膜之后，基板被传送通过减压容器107(其用作传送路径)以将基板过渡到减压容器103中的机械手120，然后基板被传送到减压容器109。供给至减压容器108的密封玻璃由机械手120传送至减压容器109，基板和密封玻璃被贴合在一起，并且由此制造OLED显示器。制成的OLED显示器由机械手120传送至减压容器110，并且由此被取出。图2是示出了根据第一示范性实施例的处理装置200的说明图。图2所示的处理装置200是成膜装置，其通过沉积在用作工件的基板W上成膜，并且包括如图1所示的减压容器104。图1所示的处理系统100包括多个如图2所示的处理装置200。处理系统100中的处理装置200均在OLED显示器的制造步骤的一部分中使用，也就是在成膜步骤中使用，且均构造成用以例如将有机材料沉积在设于减压容器104中的用作工件的基板W上。要沉积在基板W上的有机材料是用以构成有机电致发光层的材料，并且例如是用以构成发光层的Alq3。处理部210设置在减压容器104中。处理部210是构造成用以在设于减压容器104中的用作工件的基板W上执行处理的处理部并且包括沉积源8。支撑基板W的托盘1设置成与沉积源8相对。防沉积构件2设置在托盘1的沉积源侧。掩膜4安置在托盘1上。基板W如图1所示由机械手120传送至减压容器104，并且在基板W和掩膜4之间执行对准。托盘1和基板W被放置在支撑部5上。反射器7设置成围绕沉积源8。挡板6设置在沉积源8上方。沉积速率监测器10设置在挡板6上方。沉积速率监测器10用于测量来自沉积源8的沉积速率，并且将测量结果传输至控制装置500。控制装置500构造成用以控制成膜，并且当沉积速率监测器10的监测值变成稳定在期望值时开始在基板W本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种减压容器，其特征在于，所述减压容器包括：外壁，所述外壁包括第一构件，所述第一构件包括第一基部和第一肋部，所述第一基部包括具有四边形形状的第一表面，所述第一肋部设置在所述第一表面上，其中所述第一肋部包括：围绕所述第一表面的中心的第一肋；多个第二肋，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸；以及多个第三肋，所述多个第三肋分别设置成与所述第一表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开。

【技术特征摘要】
2017.01.20 JP 2017-0090011.一种减压容器，其特征在于，所述减压容器包括：外壁，所述外壁包括第一构件，所述第一构件包括第一基部和第一肋部，所述第一基部包括具有四边形形状的第一表面，所述第一肋部设置在所述第一表面上，其中所述第一肋部包括：围绕所述第一表面的中心的第一肋；多个第二肋，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸；以及多个第三肋，所述多个第三肋分别设置成与所述第一表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开。2.根据权利要求1所述的减压容器，其特征在于，所述多个第二肋包括一对肋，这一对肋分别朝向所述第一表面的四边形形状的两条相对侧边延伸。3.根据权利要求1所述的减压容器，其特征在于，在沿着垂直于所述第一表面的方向观察时，所述第一肋具有多边形形状，并且所述多个第二肋分别从所述第一肋的角部朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸。4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的减压容器，其特征在于，所述多个第二肋是分别垂直于所述第一表面的四边形形状的侧边的直线状肋。5.根据权利要求1至3中的任意一项所述的减压容器，其特征在于，所述多个第三肋是相对于形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的两条相应成对侧边倾斜的直线状肋。6.根据权利要求1至3中的任意一项所述的减压容器，其特征在于，在所述第一肋内侧的区域中不设置肋。7.根据权利要求1至3中的任意一项所述的减压容器，其特征在于，在所述第一肋内侧的区域中设有窗口。8.根据权利要求7所述的减压容器，其特征在于，在所述第一肋和所述窗口之间的距离为100mm以下。9.根据权利要求1至3中的任意一项所述的减压容器，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：森纯平，太田明，
申请(专利权)人：佳能株式会社，佳能特机株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP