气帘装置及晶圆盒载运设备制造方法及图纸

一种气帘装置包含：壳体、透气板及固定环。固定环套设于透气板的外围。透气板能透过固定环而固定设置于壳体中，且固定环能使透气板与壳体之间形成气密。壳体与外部供气设备相连接时，外部供气设备所提供的气体能通过透气板后均匀地向外排出。气帘装置透过固定环及透气板的相互配合，透气板可以方便地固定设置于壳体中，且可以提升透气板与壳体之间的气密效果。本实用新型专利技术还提供一种晶圆盒载运设备，其包含有前述气帘装置，气帘装置可以在晶圆盒开启时，于晶圆盒前方形成气流墙，可有效避免外部环境的脏污进入晶圆盒中。

【技术实现步骤摘要】
气帘装置及晶圆盒载运设备
本技术涉及一种气帘装置及载运设备，特别是一种应用于晶圆制造过程中相关设备的气帘装置及包含有所述气帘装置的晶圆盒载运设备。
技术介绍
现有应用于晶圆生产设备中的气帘装置，大多存在有结构复杂、安装不易及气密效果不佳等问题。另外，在现有的应用中，晶圆盒的活动门被开启时，外部环境的微粒、脏污等将容易进入晶圆盒中，进而可能影响设置于晶圆盒中的晶圆片质量。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种气帘装置用以改善现有的气帘装置结构复杂、安装不易及气密效果不佳等问题，本技术的另一目的在于改善晶圆盒被开启时，晶圆盒内容易受外部环境影响的问题。为了实现上述目的，本技术提供一种气帘装置，其包含：一壳体，其包含有至少一进气孔及至少一出气口；至少一透气板，其包含有多个透气孔；一固定环，其套设于所述透气板的外围；其中，所述透气板能透过所述固定环而固定设置于所述壳体中，且所述固定环能使所述透气板与所述壳体之间形成气密的效果；其中，所述进气孔能与外部供气设备相连接，而外部供气设备所提供的气体能通过所述进气孔进入所述壳体中，并通过多个所述透气孔后，由所述出气口向外排出。优选地，所述壳体包含有一环状构件及一盖板，所述环状构件为中空结构，而所述环状构件具有两个通口，两个所述通口彼此相互连通，其中一个所述通口定义为所述出气口，所述盖板固定设置于所述环状构件，且所述盖板对应密封非所述出气口的所述通口。优选地，所述环状构件于所述出气口处形成有一抵顶结构，所述抵顶结构能限制所述固定环相对于所述壳体的位置。优选地，所述盖板的一侧具有一限位结构，所述限位结构及所述抵顶结构能共同抵顶设置于所述壳体中的所述固定环。优选地，所述固定环为一体成型的弹性结构，且所述固定环内侧形成有一上缘限位部及一下缘限位部，所述上缘限位部及所述下缘限位部之间则对应形成有一卡合槽；所述固定环套设于所述透气板时，所述透气板对应固定设置于所述卡合槽中，且所述上缘限位部及所述下缘限位部能对应抵靠所述透气板彼此相反的两侧。为了实现上述目的，本技术还提供一种晶圆盒载运设备，其包含：一承载装置，其包含一平台及一充气模块，所述平台用以提供一晶圆盒设置，所述充气模块能受控制而对设置于所述平台上的所述晶圆盒的内部进行充气作业；一气帘装置，其连接一外部供气设备，所述气帘装置包含：一壳体，其包含有至少一进气孔及至少一出气口；至少一透气板，其包含有多个透气孔；一固定环，其套设于所述透气板的外围；其中，所述透气板能透过所述固定环而固定设置于所述壳体中，且所述固定环能使所述透气板与所述壳体之间形成气密的效果；其中，所述进气孔能与外部供气设备相连接，而外部供气设备所提供的气体能通过所述进气孔进入所述壳体中，并通过多个所述透气孔后，由所述出气口向外排出；一控制装置，其能于设置于所述平台的所述晶圆盒的一活动门被控制开启时，对应控制所述气帘装置作动，而使所述外部供气设备所提供的气体，能通过所述气帘装置而对所述晶圆盒原设置有所述活动门的位置进行吹气。优选地，所述壳体包含有一环状构件及一盖板，所述环状构件为中空结构，而所述环状构件具有两个通口，两个所述通口彼此相互连通，其中一个所述通口定义为所述出气口，所述盖板固定设置于所述环状构件，且所述盖板对应密封非所述出气口的所述通口。优选地，所述环状构件于所述出气口处形成有一抵顶结构，所述抵顶结构能限制所述固定环相对于所述壳体的位置。优选地，所述盖板的一侧具有一限位结构，所述限位结构及所述抵顶结构能共同抵顶设置于所述壳体中的所述固定环。优选地，所述固定环为一体成型的弹性结构，且所述固定环内侧形成有一上缘限位部及一下缘限位部，所述上缘限位部及所述下缘限位部之间则对应形成有一卡合槽；所述固定环套设于所述透气板时，所述透气板对应固定设置于所述卡合槽中，且所述上缘限位部及所述下缘限位部能对应抵靠所述透气板彼此相反的两侧。本技术的有益效果可以在于：气帘装置透过固定环及透气板的相互配合，透气板可以更方便地固定设置于壳体中，且透过固定环及透气板的相互配合可以提升透气板与壳体之间的气密效果。晶圆盒载运设备透过气帘装置及控制装置的相互配合，可以在晶圆盒的活动门开启时，利用气帘装置于晶圆盒原设置有活动门的位置形成气流墙，借此，可有效避免外部环境的污染物进入晶圆盒中。附图说明图1、2为本技术的气帘装置的示意图。图3、4为本技术的气帘装置的分解示意图。图3A为图3所标示ⅢA之局部放大示意图。图5为本技术的气帘装置的局部剖视图。图6为本技术的气帘装置中图5的前视图。图7为本技术的晶圆盒载运设备的示意图。图8为本技术的晶圆盒载运设备的方块示意图。具体实施方式请一并参阅图1、图2、图3及图4，其为本技术的气帘装置的组合及分解示意图。如图所示，气帘装置1包含有一壳体10、两个透气板20及一固定环30。固定环30用以套设于透气板20的外围；套设置有固定环30的透气板20则固定设置于壳体10中；壳体10能与外部供气设备相连接，而外部供气设备所提供的气体，能进入壳体10中并通过两个透气板20而均匀地向外排出。其中，透气板20的数量可以依据需求加以增减。具体来说，壳体10可以是包含有一盖板11及一环状构件12。盖板11具有两个进气孔111，两个进气孔111能与外部供气设备相连接。图中所示绘示的进气孔111仅为示范态样，在实际应用中，进气孔111的外型可以是依据需求加以设计；进气孔111的数量亦不局限为两个，其可依据需求增减。盖板11与环状构件12可拆卸地相互固定，在实际应用中，盖板11与环状构件12的固定方式，例如可以是透过多个螺丝及气密环相互配合，以气密地彼此相互固定。环状构件12为中空结构，而环状构件12包含有两个通口12a、12b，两个通口12a、12b彼此相互连通，其中一个通口12b定义为出气口。盖板11与环状构件12相互固定时，盖板11是对应密封通口12a。关于盖板11及环状构件12的外型可以是依据需求加以变化，图中所示仅为其中一种示范态样。固定环30用以套设于透气板20外围，所述固定环30可以是一体成型的弹性结构，而固定环30则可以紧密地套设于透气板20的外围。换句话说，固定环30套设于透气板20时，可以是被透气板20稍微撑开，而固定环30将对应产生弹性回复力，借此固定环30的内侧壁将紧密地贴合于透气板20的外围。在实际应用中，固定环30的宽度可以是依据透气板20的数量进行变化。在实际应用中，固定环30可以是具有使两个透气板20相互固定的功效，但不以此为限，在不同的实施例中，两个透气板20彼此间也可以是先透过任何方式相互固定，而后再套设有固定环30。在特殊的应用中，两个透气板20可以是彼此透过任何方式相互固定，而固定环30则可以是仅套设于其中一个透气板20或是仅套设于两个透气板20的部份。又或者，在不同的应用中，环状构件12中设置的透气板20是彼此间隔地设置，而固定环30则是对应套设于最靠近出气口12b的透气板20。如图5及图6所示，套设有固定环30的两个透气板20，固定设置于环状构件12中，而两个透气板20与环状构件12的内侧壁之间，则可以透过固定环30的设置而达到气密的效果，亦即，透气板20可以是透过固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气帘装置，其特征在于，所述气帘装置包含：一壳体，其包含有至少一进气孔及至少一出气口；至少一透气板，其包含有多个透气孔；一固定环，其套设于所述透气板的外围；其中，所述透气板能透过所述固定环而固定设置于所述壳体中，且所述固定环能使所述透气板与所述壳体之间形成气密的效果；其中，所述进气孔能与外部供气设备相连接，而外部供气设备所提供的气体能通过所述进气孔进入所述壳体中，并通过多个所述透气孔后，由所述出气口向外排出。

【技术特征摘要】
1.一种气帘装置，其特征在于，所述气帘装置包含：一壳体，其包含有至少一进气孔及至少一出气口；至少一透气板，其包含有多个透气孔；一固定环，其套设于所述透气板的外围；其中，所述透气板能透过所述固定环而固定设置于所述壳体中，且所述固定环能使所述透气板与所述壳体之间形成气密的效果；其中，所述进气孔能与外部供气设备相连接，而外部供气设备所提供的气体能通过所述进气孔进入所述壳体中，并通过多个所述透气孔后，由所述出气口向外排出。2.依据权利要求1所述的气帘装置，其特征在于，所述壳体包含有一环状构件及一盖板，所述环状构件为中空结构，而所述环状构件具有两个通口，两个所述通口彼此相互连通，其中一个所述通口定义为所述出气口，所述盖板固定设置于所述环状构件，且所述盖板对应密封非所述出气口的所述通口。3.依据权利要求2所述的气帘装置，其特征在于，所述环状构件于所述出气口处形成有一抵顶结构，所述抵顶结构能限制所述固定环相对于所述壳体的位置。4.依据权利要求3所述的气帘装置，其特征在于，所述盖板的一侧具有一限位结构，所述限位结构及所述抵顶结构能共同抵顶设置于所述壳体中的所述固定环。5.依据权利要求1所述的气帘装置，其特征在于，所述固定环为一体成型的弹性结构，且所述固定环内侧形成有一上缘限位部及一下缘限位部，所述上缘限位部及所述下缘限位部之间则对应形成有一卡合槽；所述固定环套设于所述透气板时，所述透气板对应固定设置于所述卡合槽中，且所述上缘限位部及所述下缘限位部能对应抵靠所述透气板彼此相反的两侧。6.一种晶圆盒载运设备，其特征在于，所述晶圆盒载运设备包含：一承载装置，其包含一平台及一充气模块，所述平台用以提供一晶圆盒设置，所述充气模块能受控制而对设置于所述平台上的所述晶圆盒的内部进行充气作业；一气帘装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑吉宸，叶秀珢，
申请(专利权)人：华景电通股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71