阈值电压监测方法及监测设备技术

本发明专利技术公开一种阈值电压监测方法及监测设备。该阈值电压监测方法，包括：获取栅‑源电压数值和漏‑源电流数值；根据所述获取的栅‑源电压数值和漏‑源电流数值，确定阈值电压数值；输出所述阈值电压数值进行显示。本发明专利技术提供的方案，能更简单有效地实现对阈值电压Vth的监测，提高监测效率。

Threshold voltage monitoring method and monitoring equipment

The invention discloses a threshold voltage monitoring method and a monitoring device. The threshold voltage monitoring method includes: acquiring gate source voltage value and leakage source current value; determining threshold voltage value according to the obtained gate source voltage value and leakage source current value; and outputting the threshold voltage value for display. The scheme provided by the invention can realize the monitoring of threshold voltage Vth more simply and effectively and improve the monitoring efficiency.

【技术实现步骤摘要】
阈值电压监测方法及监测设备
本专利技术涉及平板显示
，具体涉及一种阈值电压监测方法及监测设备。
技术介绍
随着显示技术的发展，出现了各种各样的显示器产品，例如LCD(LiquidCrystalDisplay，液晶显示器)和OLED(OrganicLightEmittingDiode，有机发光二极管)显示器等。近年来，液晶显示器LCD得到了蓬勃发展，TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)LCD产品的类型也与日俱增，LCD在车载、工业、消费品、医疗等显示领域相比其他的显示技术也有很大的优势。目前，随着LCD研究的深入，关于TFT转移特性曲线(TR曲线)的研究也受到了越来越多的关注。随着LCD显示技术的广泛应用，其对于工作环境以及产品质量方面的要求也变得更严格，因此对于正向偏压应力(P/NBS)、温度偏压应力(TP/NBS)、光照偏压应力(IP/NBS)的关注也逐日见涨，如果对于TR曲线的监测只局限于开态电流(Ion)、关态电流(Ioff)，将无法满足与日俱增的市场质量管理需求。因为阈值电压(Vth)可以间接地反映出TFT沟道界面以及陷阱态密度的状态，也即Vth可以间接反映沟道特性，因此关于阈值电压Vth的监测对于TFT显得尤为重要。目前监测非晶硅TFTVth的方法主要包括两种，一种是人为手动对Vth进行计算，需要人员对数据进行手动处理，这会造成大量的人力资源浪费；另一种是监测到漏-源电压Vds＝1V、漏-源电流Ids＝1nA时所对应的栅-源电压Vgs即为Vth，但该种方法需要在现有的TR测试体系上，额外添加一组Vds的测试，这样也会造成时间成本浪费，降低生产效率。因此，业界希望能提供一种更为简单有效的阈值电压监测方法。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提出一种阈值电压监测方法及监测设备，能更简单有效地实现对阈值电压Vth的监测，提高监测效率。根据本专利技术的一个方面，提供一种阈值电压监测方法，包括：获取栅-源电压数值和漏-源电流数值；根据所述获取的栅-源电压数值和漏-源电流数值，确定阈值电压数值；输出所述阈值电压数值进行显示。优选的，所述获取栅-源电压数值和漏-源电流数值，包括：获取第一栅-源电压数值和第二栅-源电压数值，获取第一漏-源电流数值和第二漏-源电流数值；所述根据所述获取的栅-源电压数值和漏-源电流数值，确定阈值电压数值，包括：根据所述第一栅-源电压数值、第二栅-源电压数值、第一漏-源电流数值和第二漏-源电流数值，确定阈值电压数值。优选的，所述根据所述第一栅-源电压数值、第二栅-源电压数值、第一漏-源电流数值和第二漏-源电流数值，确定阈值电压数值，包括：确定第二漏-源电流数值的根号值与第一栅-源电压数值的第一乘积，确定第一漏-源电流数值的根号值与第二栅-源电压数值的第二乘积；将所述第一乘积与所述第二乘积相减得到第一差值，将所述第二漏-源电流数值与第一漏-源电流数值相减得到第二差值；根据所述第一差值与所述第二差值相除，得到阈值电压数值。优选的，所述获取栅-源电压数值和漏-源电流数值，包括：在漏-源电压数值大于或等于栅-源电压数值与阈值电压数值之差时，获取栅-源电压数值和漏-源电流数值。优选的，所述获取栅-源电压数值和漏-源电流数值，包括：通过工程数据分析软件获取栅-源电压数值和漏-源电流数值。优选的，所述获取栅-源电压数值和漏-源电流数值，包括：从转移特性曲线测试数据中，获取栅-源电压数值和漏-源电流数值。根据本专利技术的另一个方面，提供一种监测设备，包括：参数获取模块，用于获取栅-源电压数值和漏-源电流数值；阈值电压监测模块，用于根据所述参数获取模块获取的栅-源电压数值和漏-源电流数值，确定阈值电压数值；显示模块，用于输出所述阈值电压监测模块确定的所述阈值电压数值进行显示。优选的，所述参数获取模块包括：第一获取子模块，用于获取第一栅-源电压数值和第二栅-源电压数值；第二获取子模块，用于获取第一漏-源电流数值和第二漏-源电流数值。优选的，所述阈值电压监测模块包括：第一确定子模块，用于确定第二漏-源电流数值的根号值与第一栅-源电压数值的第一乘积，确定第一漏-源电流数值的根号值与第二栅-源电压数值的第二乘积；第二确定子模块，用于将所述第一确定子模块确定的所述第一乘积与所述第二乘积相减得到第一差值，将所述第二漏-源电流数值与第一漏-源电流数值相减得到第二差值；第三确定子模块，用于根据所述第二确定子模块确定的第一差值与所述第二差值相除，得到阈值电压数值。优选的，所述参数获取模块在漏-源电压数值大于或等于栅-源电压数值与阈值电压数值之差时，获取栅-源电压数值和漏-源电流数值。可以发现，本专利技术实施例的技术方案，是获取栅-源电压数值和漏-源电流数值，然后根据所述获取的栅-源电压数值和漏-源电流数值，确定阈值电压数值。因为栅-源电压数值和漏-源电流数值都可以从现有的TR测试体系的测试数据中得到，因此无需人为进行手动计算筛选数据，也无需像现有技术那样需要额外添加一组Vds的测试才可以得到阈值电压值，这样就可以更简单有效地实现对阈值电压Vth的监测，可以减少时间成本浪费，提高生产效率，加快Vth监测的效率。进一步的，本专利技术实施例可以获取第一栅-源电压数值和第二栅-源电压数值，获取第一漏-源电流数值和第二漏-源电流数值；根据所述第一栅-源电压数值、第二栅-源电压数值、第一漏-源电流数值和第二漏-源电流数值，确定阈值电压数值。进一步的，本专利技术实施例可以确定第二漏-源电流数值的根号值与第一栅-源电压数值的第一乘积，确定第一漏-源电流数值的根号值与第二栅-源电压数值的第二乘积；将所述第一乘积与所述第二乘积相减得到第一差值，将所述第二漏-源电流数值与第一漏-源电流数值相减得到第二差值；根据所述第一差值与所述第二差值相除，得到阈值电压数值。进一步的，本专利技术实施例可以在漏-源电压数值大于或等于栅-源电压数值与阈值电压数值之差时，获取栅-源电压数值和漏-源电流数值；也是说，栅-源电压数值Vgs与阈值电压数值Vth之差的结果越接近漏-源电压数值Vds时，所得到的Vth值越准确。附图说明通过结合附图对本公开示例性实施方式进行更详细的描述，本公开的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，其中，在本公开示例性实施方式中，相同的参考标号通常代表相同部件。图1是根据本专利技术的一个实施例的一种阈值电压监测方法的一示意性流程图；图2是根据本专利技术的一个实施例的一种阈值电压监测方法的另一示意性流程图；图3是根据本专利技术的一个实施例的一种阈值电压监测方法的另一示意性流程图；图4是根据本专利技术的一个实施例的一种监测设备的结构示意图；图5是根据本专利技术的一个实施例的一种监测设备的结构的另一示意图。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本专利技术进一步详细说明。虽然附图中显示了本公开的优选实施方式，然而应该理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了使本公开更加透彻和完整，并且能够将本公开的范围完整地传达给本领域的技术人员。本专利技术提供一种阈值电压监测方法，能更简单有效地实现对阈值电压Vth的监测，提高监测效率。以下结合附图详细描述本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阈值电压监测方法，其特征在于，包括：获取栅‑源电压数值和漏‑源电流数值；根据所述获取的栅‑源电压数值和漏‑源电流数值，确定阈值电压数值；输出所述阈值电压数值进行显示。

【技术特征摘要】
1.一种阈值电压监测方法，其特征在于，包括：获取栅-源电压数值和漏-源电流数值；根据所述获取的栅-源电压数值和漏-源电流数值，确定阈值电压数值；输出所述阈值电压数值进行显示。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述获取栅-源电压数值和漏-源电流数值，包括：获取第一栅-源电压数值和第二栅-源电压数值，获取第一漏-源电流数值和第二漏-源电流数值；所述根据所述获取的栅-源电压数值和漏-源电流数值，确定阈值电压数值，包括：根据所述第一栅-源电压数值、第二栅-源电压数值、第一漏-源电流数值和第二漏-源电流数值，确定阈值电压数值。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一栅-源电压数值、第二栅-源电压数值、第一漏-源电流数值和第二漏-源电流数值，确定阈值电压数值，包括：确定第二漏-源电流数值的根号值与第一栅-源电压数值的第一乘积，确定第一漏-源电流数值的根号值与第二栅-源电压数值的第二乘积；将所述第一乘积与所述第二乘积相减得到第一差值，将所述第二漏-源电流数值与第一漏-源电流数值相减得到第二差值；根据所述第一差值与所述第二差值相除，得到阈值电压数值。4.根据权利要求1至3任一项所述的方法，其特征在于，所述获取栅-源电压数值和漏-源电流数值，包括：在漏-源电压数值大于或等于栅-源电压数值与阈值电压数值之差时，获取栅-源电压数值和漏-源电流数值。5.根据权利要求1至3任一项所述的方法，其特征在于，所述获取栅-源电压数值和漏-源电流数值，包括：通过工程数据...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐阳，陈伟金，刘力明，黄伟东，李建华，
申请(专利权)人：信利惠州智能显示有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44