提供一种准确地检测保持部的位置信息的电子部件输送装置以及电子部件检查装置。电子部件输送装置，其特征在于，具备：保持部，保持电子部件；基部，所述保持部可移动地配置于所述基部；位置检测部，检测所述基部与所述保持部的相对位置；驱动部，驱动所述保持部；控制部，控制所述驱动部的驱动；以及波形转换部，设置在所述位置检测部与所述控制部之间，对所述位置检测部输出的输出信号的波形进行转换。
Electronic parts conveying device and electronic component checking device
An electronic component conveying device and an electronic component checking device for accurately detecting the position information of the holding unit are provided. The electronic component conveying device is characterized in that: a holding part, a holding electronic component; a base part, the holding part movably disposed at the base part; a position detecting part, which detects the relative position of the base part and the holding part; a driving part, which drives the holding part; and a control part, which controls the driving part. A waveform conversion unit is arranged between the position detection unit and the control unit to convert the waveform of the output signal of the position detection unit.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电子部件输送装置以及电子部件检查装置
本专利技术涉及电子部件输送装置以及电子部件检查装置。
技术介绍
以往，已知有例如检查IC设备等电子部件的电气特性的电子部件检查装置，该电子部件检查装置上集成有用于输送IC设备的电子部件输送装置(例如，参照专利文献1)。而且，在电子部件检查装置中，通过将多个IC设备载置在托盘上并连同托盘投入装置内，从而由输送部(保持部)将托盘输送到进行检查的检查部。然后，当检查结束，IC设备被载置在托盘上，由输送部检查后连同托盘一起被输送并向装置外排出。在这样的电子部件输送装置中，输送部内置有检测输送部位置信息的编码器。编码器检测的位置信息被发送至控制部。控制部基于所发送的位置信息进行输送部的控制。专利文献1：日本特开平08-233901号公报
技术实现思路
但是，在编码器输出的输送部的位置信息的输出信号中，受马达或压电元件等编码器周围的部件上所施加的电力的影响，有时叠加有噪声。在该情况下，因噪声的程度，难以准确地检测输送部的位置信息。本专利技术以解决上述问题中的至少一部分为目的，可以作为以下的方式或者应用例实现。本专利技术的电子部件输送装置，其特征在于，具备：保持部，保持电子部件；基部，所述保持部可移动地配置于所述基部；位置检测部，检测所述基部与所述保持部的相对位置；驱动部，驱动所述保持部；控制部，控制所述驱动部的驱动；以及波形转换部，设置在所述位置检测部与所述控制部之间，对所述位置检测部输出的输出信号的波形进行转换。由此，能够降低位置检测部输出的输出信号中例如叠加有对驱动部施加的电压等导致的噪声时的影响。因此，能够实现提高位置检测部输出的输出信号的信噪比。其结果为，能够更准确地检测保持部的位置信息。本专利技术的电子部件输送装置中，所述控制部优选经由所述波形转换部与所述位置检测部电连接。由此，能够更可靠地发挥上述本专利技术的效果。本专利技术的电子部件输送装置中，所述波形转换部优选将所述输出信号的电压增幅。由此，能够更降低输出信号中叠加有噪声时的影响。本专利技术的电子部件输送装置中，所述波形转换部优选将所述输出信号的电压增幅2倍以上且10倍以下。由此，能够更有效地降低输出信号中叠加有噪声时的影响。本专利技术的电子部件输送装置中，所述位置检测部优选为编码器。由此，能够准确地检测保持部的位置。本专利技术的电子部件输送装置中，优选所述驱动部以及所述编码器均设置有多个。由此，能够进行更多的驱动部的位置的微调，而且能够检测更多的保持部的位置。本专利技术的电子部件输送装置中，在将互相相交的三个轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，所述驱动部具有：X轴驱动部，在所述X轴方向上驱动所述保持部；Y轴驱动部，在所述Y轴方向上驱动所述保持部；以及Z轴驱动部，使所述保持部绕所述Z轴旋转，所述编码器具有：X轴编码器，检测由所述X轴驱动部驱动的所述保持部在所述X轴方向上的位置；Y轴编码器，检测由所述Y轴驱动部驱动的所述保持部在所述Y轴方向上的位置；以及Z轴编码器，检测由所述Z轴驱动部驱动的所述保持部绕所述Z轴方向的位置。由此，能够进行保持部的X轴方向、Y轴方向以及绕Z轴的位置的微调。进而，能够检测保持部的X轴方向、Y轴方向以及绕Z轴的位置。本专利技术的电子部件输送装置中，在将所述X轴驱动部与所述X轴编码器设为X轴单元，将所述Y轴驱动部与所述Y轴编码器设为Y轴单元，将所述Z轴驱动部与所述Z轴编码器设为Z轴单元时，所述X轴单元、所述Y轴单元以及所述Z轴单元均设置有多个。由此，能够准确地检测更多的保持部的位置。本专利技术的电子部件输送装置中，所述波形转换部优选具有将所述输出信号转换为能够检测错误的信号的功能。由此，能够实现进一步提高编码器输出的输出信号的信噪比。其结果为，能够更准确地检测保持部的位置信息。本专利技术的电子部件输送装置中，设置有多个所述波形转换部，各所述波形转换部互相电连接，并且各所述波形转换部中的一个波形转换部与所述控制部电连接。由此，能够减少波形转换部与控制部之间的配线。因此，能够使输出信号中不易叠加噪声。本专利技术的电子部件输送装置中，所述驱动部优选具有压电驱动器作为驱动源。由此，能够准确地进行保持部的位置的微调。本专利技术的电子部件输送装置中，具有支承基板，所述支承基板支承所述保持部，所述波形转换部配置在所述支承基板上。由此，波形转换部尽可能地靠近编码器设置。其结果为，能够更准确地检测保持部的位置信息。本专利技术的电子部件输送装置中，所述保持部优选配置于进行所述电子部件的检查的检查区域。由此，能够准确地检测检查区域中配置的保持部的位置。本专利技术的电子部件检查装置，其特征在于，具备：保持部，保持电子部件；基部，所述保持部可移动地配置于所述基部；位置检测部，检测所述基部与所述保持部的相对位置；驱动部，驱动所述保持部；控制部，控制所述驱动部的驱动；波形转换部，设置在所述位置检测部与所述控制部之间，对所述位置检测部输出的输出信号的波形进行转换；以及检查部，检查所述电子部件。由此，能够降低位置检测部输出的输出信号中例如叠加有对驱动部施加的电压等导致的噪声时的影响。因此，能够达到提高编码器输出的输出信号的信噪比的目的。其结果为，能够更准确地检测保持部的位置信息。附图说明图1是示出从正面侧观查本专利技术的电子部件检查装置的实施方式的概略立体图。图2是示出图1所示的电子部件检查装置的工作状态的概略俯视图。图3是示出图1所示的电子部件检查装置的框图。图4是示出图1所示的电子部件检查装置具备的设备输送头的侧视图。图5是示出图1所示的电子部件检查装置的框图。图6是示出图1所示的电子部件检查装置具备的中继基板输出的输出信号随时间变化的图表。图7是示出以往的电子部件检查装置具备的编码器输出的输出信号随时间变化的图表。图8是示出本专利技术的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的变形例即机器人的立体图。具体实施方式以下，基于附图所示的适宜的实施方式对本专利技术的电子部件输送装置以及电子部件检查装置进行详细地说明。＜第1实施方式＞以下，参照图1～图7关于本专利技术的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第1实施方式进行说明。另外，以下为方便说明，如图1、图2以及图4所示，作为互相相交的三个轴的一例，将正交的三个轴设为X轴、Y轴以及Z轴。而且，包含X轴和Y轴的XY平面为水平，Z轴为垂直。而且，与X轴平行的方向也称为“X方向”，与Y轴平行的方向也称为“Y方向”，与Z轴平行的方向也称为“Z方向”。而且，各方向的箭头所指的方向称为“正”，其相反方向称为“负”。而且，本说明书中所说的“水平”并不限于完全水平，只要不阻碍电子部件的输送，也包含相对于水平略微(例如小于5°的程度)倾斜的状态。图1、图2所示的检查装置1(电子部件检查装置)具有电子部件输送装置10和进行电子部件检查的检查部6。检查装置1是例如输送BGA(BallGridArray)封装的IC设备等电子部件并在其输送过程中对电气特性进行检查·测试(以下简单地称为“检查”)的装置。检查装置1具备：吸盘173，作为保持部保持IC设备90；支承基板171，作为基部可移动地配置吸盘173；位置检测部4，检测支承基板171与吸盘173的相对位置；驱动部3，驱动吸盘173；控制部80，控制驱动部3的驱动；检查部16，进行IC设备90的检查；中继基板5，设置在位置检测部4本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备：保持部，保持电子部件；基部，所述保持部可移动地配置于所述基部；位置检测部，检测所述基部与所述保持部的相对位置；驱动部，驱动所述保持部；控制部，控制所述驱动部的驱动；以及波形转换部，设置在所述位置检测部与所述控制部之间，对所述位置检测部输出的输出信号的波形进行转换。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.02.26 JP 2016-0353451.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备：保持部，保持电子部件；基部，所述保持部可移动地配置于所述基部；位置检测部，检测所述基部与所述保持部的相对位置；驱动部，驱动所述保持部；控制部，控制所述驱动部的驱动；以及波形转换部，设置在所述位置检测部与所述控制部之间，对所述位置检测部输出的输出信号的波形进行转换。2.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述控制部经由所述波形转换部与所述位置检测部电连接。3.根据权利要求1或2所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述波形转换部将所述输出信号的电压增幅。4.根据权利要求3所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述波形转换部将所述输出信号的电压增幅2倍以上且10倍以下。5.根据权利要求1至4中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述位置检测部是编码器。6.根据权利要求1至4中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述驱动部以及所述编码器均设置有多个。7.根据权利要求6所述的电子部件输送装置，其特征在于，在将互相相交的三个轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，所述驱动部具有：X轴驱动部，在所述X轴方向上驱动所述保持部；Y轴驱动部，在所述Y轴方向上驱动所述保持部；以及Z轴驱动部，使所述保持部绕所述Z轴旋转，所述编码器具有：X轴编码器，检测由所述X轴驱动部驱动的所述保持部在所述X轴方向上的位置；Y轴编码器，检测由所述Y轴驱动部驱动的所述保持部在所述Y轴方向上的位置；以及Z轴编码器，检测由所述Z...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏井坂康敏，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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