一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装及其使用方法技术

本发明专利技术涉及ITO圆筒靶材生产设备领域，具体来说是一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装及其使用方法，所述定位支撑工装包括多个单体支撑工装，所述单体支撑工装间通过转动轴依次连接；所述转动轴上设有外螺纹；每个所述单体支撑工装套接在转动轴上的支撑套筒，所述支撑套筒上设有放置槽，所述放置槽内设有使用时外侧面与圆筒靶材内壁相贴合的支撑垫块。本发明专利技术提供了一种用于ITO圆筒靶材外侧壁研磨的定位支撑工装，通过简单的机械机构定位杆IE，能够100％保证不会对ITO靶材造成磕碰伤，而且效率非常高，操作简单，在生产成本低廉的同时，还具有很好的使用效果。

A positioning support tool for grinding the outer side of ITO cylinder target and its using method

The invention relates to the field of ITO cylindrical target production equipment, in particular to a positioning support tooling for grinding the outer side of ITO cylindrical target and its use method. The positioning support tooling comprises a plurality of monomer support tooling, and the monomer support tooling is connected sequentially through a rotating shaft; the rotating shaft is provided with external threads; The support sleeve of the single support tooling is sleeved on the rotating axle, and the support sleeve is provided with a placing groove, in which a supporting cushion block which is used to fit the outer side with the inner wall of the cylinder target is arranged. The invention provides a positioning support tool for grinding the outer wall of ITO cylindrical target. Through a simple mechanical positioning rod IE, it can guarantee 100% that the ITO target will not be knocked and bruised, and has high efficiency, simple operation, low production cost and good use effect.

【技术实现步骤摘要】
一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装及其使用方法
本专利技术涉及ITO圆筒靶材生产设备领域，具体来说是一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装及其使用方法，
技术介绍
ITO圆筒靶材烧结完成后，外径表面会形成不规则圆形。必须对其外表面进行研磨以达到客户要求的尺寸，尺寸精度一般在±0.1mm。由于ITO圆筒靶在磨外径时，靶材、工装和砂轮都是快速旋转的。且ITO靶材为陶瓷靶材，属于脆硬材料，极易碰裂。所以对工装和靶材的贴合性、材质都要求较高。普通工装要么容易把靶材碰裂；要么贴合性不好，磨出来的外径尺寸超出客户要求；所以一种用于圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装是现在所需要的。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种支撑圆筒靶材，用于圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装。为了实现上述目的，本专利技术采用的技术方案为：一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，所述定位支撑工装包括多个单体支撑工装，所述单体支撑工装间通过转动轴依次连接；所述转动轴上设有外螺纹；每个所述单体支撑工装套接在转动轴上的支撑套筒，所述支撑套筒上设有放置槽，所述放置槽内设有使用时外侧面与圆筒靶材内壁相贴合的支撑垫块。所述单体支撑工装还包括套接在转动轴上用于顶升支撑垫块的挤压套筒，在支撑套筒上设有挤压开口，挤压开口朝向挤压套筒一侧。所述挤压套筒截面呈锥台型，所述支撑垫块处于支撑套筒内部的一端与挤压套筒外侧壁相贴合。所述单体支撑工装还包括调节在转动轴上用于挤压套筒定位的限位卡环组。所述限位卡环组包括两个单体限位卡环，两个所述限位卡环套接在转动轴上，并且在两个所述限位卡环之间至少一个设有支撑套筒和挤压套筒。所述挤压开口竖直截面呈锥台型，所述挤压套筒竖直截面也呈锥台型。所述支撑套筒上设有用于减少支撑垫块对圆筒靶材内壁磨损的硅胶圈。所述转动轴本体包括多个单体转动轴本体，所述单体转动轴本体间依次连接组成转动轴本体；每个所述单体转动轴本体上至少设有一个单体支撑工装。所述单体支撑工装间通过连接组件相连接，所述连接组件包括分别设置在单体转动轴本体端部的连接盘，相邻单体转动轴本体通过相邻连接盘的连接相连接。一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装的使用方法，所述使用方法包括如下步骤：(1)确定需要研磨外壁的圆筒靶材内径，选取合适的定位支撑工装，并针对相应圆筒靶材的长度，选定相对应的定位支撑工装长度；(2)步骤(1)完成后，进行单体支撑工装的组装，先在支撑套筒的放置槽内放置相应数量的支撑垫块，并在支撑套筒外侧套接多个硅胶圈用于辅助固定支撑垫块；(3)步骤(2)完成后，先将一个单体限位卡环套接在转动轴上，随后再把步骤(2)中初步装配完成的支撑套筒套接在转动轴上；(4)步骤(3)完成后，在支撑套筒开口朝向的一侧加装一个挤压套筒，挤压套筒套接在转动轴上；(5)步骤(4)完成后，再在转动轴上增加一个用于固定挤压套筒的单体限位卡环，该单体限位卡环与步骤(3)中的单体限位卡环关于挤压套筒和支撑套筒对称分布；(6)步骤(5)完成后，一个单体支撑工装组装完成，如果需要组装多个单体支撑工装，重复步骤(2)-(5)即可，多次在转动轴上增加单体支撑工装，直至装配处符合产品要求的定位支撑工装；(7)步骤(6)完成后，把步骤(7)中组合完成的定位支撑工装竖立放进ITO圆筒靶材里，慢慢把工装移进到靶材中间；(8)步骤(7)完成后，将支撑工装两端最外侧的单体限位卡环旋动，使其对相邻的挤压套筒产生挤压，进而推动挤压套筒对支撑垫块的顶起，挤压套筒顶起支撑垫块，使得支撑垫块外侧面与圆筒靶材内侧壁相贴合，进而实现对圆筒靶材的固定；(9)步骤(8)完成后，把固定有圆筒靶材的定位支撑工装安装在研磨设备上，启动研磨设备，使得研磨设备对圆筒靶材外侧面进行研磨。本专利技术的优点在于：本专利技术提供了一种用于ITO圆筒靶材外侧壁研磨的定位支撑工装，通过简单的机械机构定位杆IE，能够100％保证不会对ITO靶材造成磕碰伤，而且效率非常高，操作简单，在生产成本低廉的同时，还具有很好的使用效果。附图说明下面对本专利技术说明书各幅附图表达的内容及图中的标记作简要说明：图1为本专利技术使用时的结构示意图。图2为本专利技术中单体支撑工装的结构示意图。图3为本专利技术中沿A-A的局部剖视图。上述图中的标记均为：1、转动轴，2、挤压套筒，3、支撑套筒，4、挤压开口，5、硅胶圈，6、支撑垫块，7单体限位卡环，8放置槽，9具体实施方式下面对照附图，通过对最优实施例的描述，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细的说明。一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，定位支撑工装包括多个单体支撑工装，单体支撑工装间通过转动轴1依次连接；转动轴1上设有外螺纹；每个单体支撑工装套接在转动轴1上的支撑套筒3，支撑套筒3上设有放置槽8，放置槽8内设有使用时外侧面与圆筒靶材内壁相贴合的支撑垫块6；本专利技术中转动轴1起到主支撑作用，使用时转动轴1两端与研磨设备相连接，起到最初的支撑作用；同时在本专利技术中转动轴1上设有多个单体支撑工装，每个单体支撑工装包括支撑套筒3，支撑套筒3套接在转动轴1上，支撑套筒3上设有穿接孔，用于支撑套筒3套接在转动轴1上，并且该穿接孔内设有内螺纹，方便支撑套筒3套接在转动轴1上；同时为了实现圆筒靶材的固定，在本专利技术中支撑套筒3上设有放置槽8，放置槽8内设有支撑垫块6，同时本专利技术中支撑垫块6高度大于放置槽8深度，使用时支撑垫块6上端与圆筒靶材相贴合，起到移动的紧固作用，进而实现对圆筒靶材的支撑作用，也就是通过支撑圆筒和支撑垫块6的设置，使的圆筒靶材内侧壁得到支撑，进而实现对圆筒靶材的定位操作；除了以上设置，为了使得本专利技术具有更好的使用效果，本专利技术中支撑套筒3设有挤压开口4，挤压开口4沿支撑套筒3轴向设置，并且挤压开口4深度小于支撑套筒3长度，这样设置的原因是挤压开口4的设置是方便后续挤压套筒2的放入，如果挤压开口4深度与支撑套筒3长度相同，这也就造成上述的穿接孔消失，不方便支撑套筒3与转动轴1的连接，影响本申请公开的装置使用，基于本专利技术公开有挤压开口4，为了更好的实现支撑垫块6对圆筒靶材的挤压效果，本专利技术中单体支撑工装还包括套接在转动轴1上用于顶升支撑垫块6的挤压套筒2，挤压套筒2套接在转动轴1上，并且挤压套筒2截面也呈锥台型，挤压套筒2与挤压开口4相适配，当挤压套筒2放置在挤压开口4中时，要求挤压套筒2外侧面与挤压开口4内侧壁完全贴合，这样可以保证挤压套筒2与挤压开口4连接的紧密性，进而保证支撑垫块6凸起高度相同，保证圆筒靶材更好的固定；同理，为了更好的实现对挤压套筒2与转动轴1的连接，本专利技术挤压套筒2轴向也设有用于套接在转动轴1上的套接孔，套接孔内壁上设有内螺纹；除了以上结构的设置，本专利技术放置槽8是一个贯通槽，放置槽8使得挤压开口4与支撑套筒3外侧壁相连通，保证支撑垫块6可以在挤压套筒2的作用下上下移动，同时本专利技术中的支撑垫块6下端面是具有一个倾斜面的，目的是为了与挤压套筒2外侧面相适配，保证挤压套筒2对支撑垫块6顶升时，支撑垫块6下端面与挤压套筒2完全重合，避免局部应力过大的问题，同时避免支撑垫块6影响挤压套筒2的进给，避免两者之间的干涉。作为优选的，本专利技术中放置槽8是竖直截面呈锥台型，本专利技术中支撑垫块6竖直截面也呈锥台型本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述定位支撑工装包括多个单体支撑工装，所述单体支撑工装间通过转动轴依次连接；所述转动轴上设有外螺纹；每个所述单体支撑工装套接在转动轴上的支撑套筒，所述支撑套筒上设有放置槽，所述放置槽内设有使用时外侧面与圆筒靶材内壁相贴合的支撑垫块。

【技术特征摘要】
1.一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述定位支撑工装包括多个单体支撑工装，所述单体支撑工装间通过转动轴依次连接；所述转动轴上设有外螺纹；每个所述单体支撑工装套接在转动轴上的支撑套筒，所述支撑套筒上设有放置槽，所述放置槽内设有使用时外侧面与圆筒靶材内壁相贴合的支撑垫块。2.根据权利要求1所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述单体支撑工装还包括套接在转动轴上用于顶升支撑垫块的挤压套筒，在支撑套筒上设有挤压开口，挤压开口朝向挤压套筒一侧。3.根据权利要求2所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述挤压套筒截面呈锥台型，所述支撑垫块处于支撑套筒内部的一端与挤压套筒外侧壁相贴合。4.根据权利要求4所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述单体支撑工装还包括调节在转动轴上用于挤压套筒定位的限位卡环组。5.根据权利要求4所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述限位卡环组包括两个单体限位卡环，两个所述限位卡环套接在转动轴上，并且在两个所述限位卡环之间至少一个设有支撑套筒和挤压套筒。6.根据权利要求2所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述挤压开口竖直截面呈锥台型，所述挤压套筒竖直截面也呈锥台型。7.根据权利要求1所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述支撑套筒上设有用于减少支撑垫块对圆筒靶材内壁磨损的硅胶圈。8.根据权利要求1所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装，其特征在于，所述转动轴本体包括多个单体转动轴本体，所述单体转动轴本体间依次连接组成转动轴本体；每个所述单体转动轴本体上至少设有一个单体支撑工装。9.根据权利要求8所述的一种ITO圆筒靶材外侧面...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓宇，石煜，王志强，曾探，
申请(专利权)人：芜湖映日科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34