【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于确定物体的高度位置的方法
本专利技术涉及一种通过使用显微镜确定物体的横向的第一位置(erstenOrt)处的物体的高度位置(Hohenlage)的方法,该显微镜利用点扩散函数沿着与高度方向一致的z方向对物体成像。本专利技术还涉及一种用于产生物体的宽视场图像和部分共焦图像的显微镜,其中显微镜包括检测器装置,用于部分共焦成像和用于在宽视场中成像的针孔装置,适用于设置部分共焦图像的焦点的z位置的聚焦装置,以及用于控制针孔装置的控制装置,该控制装置连接到检测器装置。
技术介绍
从现有技术中已知一些方法,其可用于使用光学显微镜确定物体的形貌。特别是,共焦显微镜被用于此。在已知的所述方法中,部分共焦图像的焦点沿z方向移位,即沿着形貌的高度延伸方向移位,并且在每个z位置记录部分共焦图像。部分共焦成像通常被提供为使得图像包括纯共焦分量和宽视场的分量。对于z方向上的每个所述图像确定强度,其也被统称为堆叠,并且计算z方向上的强度分布。在该算出的强度分布的基础上,可以确定最大强度,其z坐标与测量点处的物体的高度位置一致。为了确定物体在一个区域上的高度位置,在各个位置上重复上述方法。为了确定最大强度,通常需要沿z方向进行多次测量,以便获得强度最大值的适当精度,并因此获得物体的高度。因此,该方法可能需要大量的时间。US2004/0008515A1涉及对用于三维分辨显微镜的荧光照射的改进。HiraokaY.等的出版物(Biophys,J.,57卷,1990年2月,第325-333页)解释了在光学显微镜中确定三维成像特性。McNallyJ.等(SPIE,第2984卷,1997年,第 ...
【技术保护点】
1.一种通过使用显微镜(10,,100,200)确定物体(12)在物体(12)的横向的第一位置处的高度位置的方法,所述显微镜沿着与高度方向一致的z方向利用点扩散函数(PSF)对物体(12)成像,所述方法包括以下步骤:‑在宽视场中用显微镜(10,100,200)对物体(12)成像并确定宽视场强度(IW),‑通过将宽视场强度(IW)乘以预定的比例因子(Sk)来计算在所述第一位置预期的最大强度(Imax*),‑在所述第一位置对物体(12)进行部分共焦成像,其中焦点位于z方向上的测量位置(z1),其中部分共焦成像限定景深范围并且焦点在景深范围内,并确定所述第一位置处的部分共焦图像的部分共焦强度(I1),‑通过在部分共焦强度(I1)与宽视场强度(IW)和预定链接因子(Vk)的乘积之间进行减法运算,计算第一位置处的与点扩散函数(PSF)对应的强度(I1*),‑使用点扩散函数(PSF)的预定形式、已算出的对应于点扩散函数(PSF)的强度(I1*)和已算出的预期最大强度(Imax*)计算焦点的z坐标(zh),点扩散函数(PSF)在所述焦点处取最大值,和‑使用所述z坐标(zh)作为物体(12)在所述第一 ...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.02 DE 102016103736.21.一种通过使用显微镜(10,,100,200)确定物体(12)在物体(12)的横向的第一位置处的高度位置的方法,所述显微镜沿着与高度方向一致的z方向利用点扩散函数(PSF)对物体(12)成像,所述方法包括以下步骤:-在宽视场中用显微镜(10,100,200)对物体(12)成像并确定宽视场强度(IW),-通过将宽视场强度(IW)乘以预定的比例因子(Sk)来计算在所述第一位置预期的最大强度(Imax*),-在所述第一位置对物体(12)进行部分共焦成像,其中焦点位于z方向上的测量位置(z1),其中部分共焦成像限定景深范围并且焦点在景深范围内,并确定所述第一位置处的部分共焦图像的部分共焦强度(I1),-通过在部分共焦强度(I1)与宽视场强度(IW)和预定链接因子(Vk)的乘积之间进行减法运算,计算第一位置处的与点扩散函数(PSF)对应的强度(I1*),-使用点扩散函数(PSF)的预定形式、已算出的对应于点扩散函数(PSF)的强度(I1*)和已算出的预期最大强度(Imax*)计算焦点的z坐标(zh),点扩散函数(PSF)在所述焦点处取最大值,和-使用所述z坐标(zh)作为物体(12)在所述第一位置处的高度位置。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,具有大于衍射极限的开口的针孔装置(18,118,218)被用于部分共焦成像,使得部分共焦成像的部分共焦强度(I1)具有宽视场成像的分量。3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,通过执行以下步骤来确定比例因子(Sk):-通过使焦点位置在z方向上反复地移位并在每个焦点位置对第一校准物体或物体(12)的横向的第一校准位置进行部分共焦成像来产生z-堆叠,并确定每个这样获得的部分共焦图像的部分共焦强度,-计算所述第一校准位置处的z方向强度分布,并确定所述第一校准位置处的所述强度分布的最大校准强度(Ikmax),-使用显微镜(10,100,200)在宽视场中对所述第一校准位置成像,并确定所述第一校准位置处的第一校准宽视场强度(IkW1),以及-计算比例因子(Sk),所述比例因子是最大校准强度(Ikmax)与第一校准宽视场强度(IkW1)之间的比率。4.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,通过执行以下步骤来确定链接因子(Vk):-对第二校准物体或物体(12)的横向的第二校准位置进行部分共焦成像,其中焦点位于z方向上的校准测量位置(zk1),所述校准测量位置在景深范围内,并确定所述第二校准位置处的部分共焦图像的校准强度(Ik1),-对第二校准位置进行共焦成像,其中焦点位于校准测量位置(zk1),并确定第二校准位置处的共焦图像的共焦校准强度(Ik1*),-使用显微镜(10,100,200)在宽视场中对第二校准位置进行成像,并确定第二校准位置处的第二校准宽视场强度(IkW2),以及-计算链接因子(Vk),所述链接因子是部分共焦校准强度(Ik1)和共焦校准强度(Ik1*)之间的差值与第二校准宽视场强度(IkW2)之间的比率。5.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,使用显微镜(10,100,200)在宽视场中对所述第一位置进行成像,并且确定所述第一位置处的宽视场强度(IW)。6.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于以下步骤:-对所述第一位置进行部分共焦成像,其中焦点位于至少两个测量位置(z1,z2),所述两个测量位置在z方向上间隔开并位于景深...
【专利技术属性】
技术研发人员:尼尔斯·兰厚哲,维克多·德雷舍尔,
申请(专利权)人:卡尔蔡司显微镜有限责任公司,
类型:发明
国别省市:德国,DE
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