工件游星轮及工件游星轮的制造方法技术

本发明专利技术提供一种即使游星轮基板薄的情况时，也能够防止树脂插入部的在径向上的脱离或在正反方向上穿过等脱落的工件游星轮。工件游星轮在沿着形成在金属制的游星轮基板(1)上的工件保持孔(2)的内周面上设置有树脂插入部(3)。而且，在成为工件保持孔的外缘部(13)的游星轮基板上，在圆周方向上交替地形成有分别朝向正反方向凹陷的正面侧凹部(4A)及背面侧凹部(4B)，并且设置有贯穿连续正面侧凹部及背面侧凹部的正反方向的通孔部(8)。进一步，沿着正面侧凹部、背面侧凹部及通孔部以及所述工件保持孔的内周面的部分，填充成为树脂插入部的合成树脂材料。本发明专利技术还提出所述工件游星轮的制造方法。

Manufacturing method of workpiece star wheel and workpiece star wheel

The invention provides a kind of workpiece planet wheel which can prevent the resin insertion part from breaking off in radial direction or passing through the workpiece planet wheel in both positive and negative directions even when the base plate of the planet wheel is thin. A resin insertion part (3) is arranged on the inner surface of the workpiece holding hole (2) formed on the metal base plate (1) of the workpiece planetary wheel. Furthermore, on the base plate of the planetary wheel which is the outer edge part (13) of the workpiece holding hole, a front side concave part (4A) and a back side concave part (4B) are alternately formed in the circumferential direction, respectively, with the concave part of the front side and the concave part of the back side, and a through hole part (8) is arranged through the concave part of the continuous front side and the concave part of the back side. Further, the synthetic resin material is filled into the resin insertion part along the front side concave part, the back side concave part, the through hole part and the inner circumference part of the workpiece holding hole. The invention also provides a manufacturing method for the workpiece travel star wheel.

【技术实现步骤摘要】
工件游星轮及工件游星轮的制造方法
本专利技术涉及一种通过研磨装置研磨加工氧化物晶片、硅晶片、玻璃、蓝宝石、陶瓷、水晶等薄板状的工件时，用于保持工件的工件游星轮及工件游星轮的制造方法。
技术介绍
已知在通过研磨装置研磨加工硅晶片等工件的双面或单面时，将工件保持在具有工件保持孔的工件游星轮上(参照专利文献1至4等)。由于作为工件游星轮的主体的游星轮基板是由SK钢或不锈钢等硬质的金属材料所形成，因此，在直接将工件保持在游星轮基板上钻有的工件保持孔时，研磨加工中工件接触到工件保持孔的内周面，工件可能会产生裂痕或欠缺等损伤。在此，如专利文献1至4所公开的那样，沿着工件保持孔的内周面安装合成树脂制的软质的插入部，进行防止研磨加工中的工件的损伤的处理。专利文献1记载有，由于在工件保持孔的内周面在圆周方向上隔开间距设置突出部，并通过注塑成型填充树脂部，使树脂部与金属板一体化。进一步，通过在突出部的上方部分及下方部分形成倒角部，成为能够防止树脂部在上下方向上穿过而脱落的结构。另外，专利文献2记载有，通过沿着游星轮基板的工件保持孔的内周面设置凹槽，并通过以合成树脂材料进入该凹槽的方式注塑成型，来设置软质的环状的插入部。另一方面，专利文献3记载有，通过将形成工件保持孔的游星轮主体的内壁面制成朝向径向的凹形状而缩短插入部的上面部及下面部的径向的长度，来减少插入部的磨损或变形的结构。进一步，专利文献4公开了用于薄的工件的研磨加工的金属游星轮。虽然在这样的金属游星轮的工件保持孔中也设置有树脂涂布保持部(插入部)，但是在金属游星轮以树脂涂布保持部不会剥离的方式设置小径的孔，并在该孔填充成为树脂涂布保持部的一部分的树脂。[先前技术文献][专利文献][专利文献1]日本特开第2002-18708号公报[专利文献2]日本特开第2009-12086号公报[专利文献3]日本特开第2010-179375号公报[专利文献4]日本实用新案登录第3086591号公报
技术实现思路
(专利技术所要解决的问题)然而，在专利文献1、2中公开的工件游星轮中，游星轮基板的工件保持孔的内周面以俯视状态为凹凸地被加工，并且在成为突出部的部分的上表面或下表面形成倒角而减薄厚度时，使突出部容易变形。因此，这样的加工难以适用于如专利文献4所公开的薄物用的工件游星轮。因此，本专利技术的目的在于提供一种即使游星轮基板薄的情况时，也能够防止树脂插入部的在径向上的脱离或在正反方向上穿过等脱落的工件游星轮及工件游星轮的制造方法。(用于解决问题的方案)为了达到所述目的，本专利技术的工件游星轮是沿着形成在金属制的游星轮基板上的工件保持孔的内周面设置树脂插入部，其特征在于，在成为所述工件保持孔的外缘部的所述游星轮基板上，在圆周方向上交替地形成有分别朝向正反方向凹陷的正面侧凹部及背面侧凹部，并且设置有贯穿连续所述正面侧凹部及背面侧凹部的所述正反方向的通孔部，并沿着所述正面侧凹部、背面侧凹部及通孔部以及所述工件保持孔的内周面的部分填充有成为树脂插入部的合成树脂材料。在此，优选为所述正面侧凹部与所述背面侧凹部在圆周方向上隔开间距地被设置。另外，可以是所述通孔部设置在每个所述正面侧凹部和所述背面侧凹部之间的结构。进一步，可以是在所述正面侧凹部及背面侧凹部的底面设置突起部或孔部，并在所述突起部的周围或所述孔部的内部填充所述树脂插入部的一部分的结构。另外，可以是在所述正面侧凹部及背面侧凹部的所述工件保持孔的中心侧设置狭窄部的结构。进一步，工件游星轮的制造方法的专利技术特征在于，具备：掩膜工序，其使用预定的绘制图案对所述游星轮基板的正面及背面进行掩膜；附着工序，其使蚀刻液附着于形成掩膜的所述游星轮基板上；及设置工序，其对通过所述蚀刻液加工的所述游星轮基板设置所述树脂插入部。(专利技术的效果)这样构成的本专利技术的工件游星轮中将分别朝向正反方向凹陷的正面侧凹部及背面侧凹部交替地设置在工件保持孔的外缘部的圆周方向上。因此，通过填充在正面侧凹部及背面侧凹部的合成树脂材料，能够防止树脂插入部在正反方向上的掉落。另外，由于通孔部是设置为与正面侧凹部及背面侧凹部连续并贯穿正反方向并填充合成树脂材料，因此，除了能够防止树脂插入部的在径向上的脱离以外，还能够使树脂插入部难以剥离。进一步，由于正面侧凹部及背面侧凹部并未朝向工件保持孔的中心突出在径向上，因此，即使游星轮基板薄的情况时也能够适用。尤其是通过在圆周方向上隔开间距地设置正面侧凹部和背面侧凹部，成为在正面侧凹部和背面侧凹部的两侧留有全厚度的游星轮基板，从而能够使游星轮基板更难以产生变形。另外，通过在每个正面侧凹部及背面侧凹部之间设置通孔部，并经由通孔部使所有的正面侧凹部及背面侧凹部在圆周方向上连续并被一体化，从而能够使树脂插入部更难以剥离。进一步，通过在正面侧凹部及背面侧凹部的底面设置突起部或孔部，并在其周围或孔部的内部填充树脂插入部的一部分，从而能够可靠地抑制树脂插入部的在径向上的移动，提高与游星轮基板的一体性。另外，通过在正面侧凹部和背面侧凹部的工件保持孔的中心侧设置狭窄部，能够可靠地抑制树脂插入部的在径向上的移动，提高与游星轮基板的一体性。进一步，具有工件游星轮的制造方法的专利技术中，只要通过在使用预定的绘制图案掩膜的游星轮基板上附着蚀刻液而进行蚀刻加工，并经过设置树脂插入部的工序，就能够有效地制造游星轮基板与树脂插入部的一体性高的工件游星轮。附图说明为让本专利技术的叙述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附图的说明如下：图1A是将本实施方式的工件游星轮的工件保持孔的外缘部附近放大并进行说明的俯视图；图1B是将本实施方式的工件游星轮的工件保持孔的外缘部附近放大并进行说明的立体图；图2是说明工件游星轮的大致结构的俯视图；图3A是用以说明本实施方式的工件游星轮的制造方法的工序的游星轮基板的正面的俯视图；图3B是用以说明本实施方式的工件游星轮的制造方法的工序的游星轮基板的背面的俯视图；图4A是从图3A的A－A箭头方向看的剖面图；图4B是从图3B的B－B箭头方向看的剖面图；图5是表示游星轮基板与树脂插入部被一体化的状态的立体图；图6是将实施例1的工件游星轮的工件保持孔的外缘部附近放大以说明的立体图；图7A是从图6的C－C箭头方向看的剖面图；图7B是从图6的D－D箭头方向看的剖面图；图8是将实施例2的工件游星轮的工件保持孔的外缘部附近放大以说明的立体图；图9A是说明图8的E－E箭头方向的位置中在实施例2的工件保持孔的内周面设置树脂插入部的结构的剖面图；图9B是说明图8的F－F箭头方向的位置中在实施例2的工件保持孔的内周面设置树脂插入部的结构的剖面图；以及图10是将实施例3的工件游星轮的工件保持孔的外缘部附近放大以说明的俯视图。[符号说明]1、1A、1B、1C：游星轮基板2：工件保持孔3、3A、3B、3C：树脂插入部4A、4C、6A、7A：正面侧凹部4B、4D、6B、7B：背面侧凹部5A、5B：掩膜部8、8A：通孔部10：工件游星轮11：外形部13：外缘部31：圆环部32、34、36：填充部33、33A：孔填充部35：柱状部41、61：底面42：圆柱部(突起部)62：圆筒部(孔部)71：侧面具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1A、1B及图2是对本实施方式的工件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工件游星轮，其在沿着形成在金属制的游星轮基板上的工件保持孔的内周面上设置有树脂插入部，其特征在于：在成为所述工件保持孔的外缘部的所述游星轮基板上，在圆周方向上交替地形成有分别朝向正反方向凹陷的正面侧凹部及背面侧凹部，并且设置有贯穿连续所述正面侧凹部及背面侧凹部的所述正反方向的通孔部，并沿着所述正面侧凹部、背面侧凹部及通孔部以及所述工件保持孔的内周面的部分填充有成为树脂插入部的合成树脂材料。

【技术特征摘要】
2017.03.30 JP 2017-0688341.一种工件游星轮，其在沿着形成在金属制的游星轮基板上的工件保持孔的内周面上设置有树脂插入部，其特征在于：在成为所述工件保持孔的外缘部的所述游星轮基板上，在圆周方向上交替地形成有分别朝向正反方向凹陷的正面侧凹部及背面侧凹部，并且设置有贯穿连续所述正面侧凹部及背面侧凹部的所述正反方向的通孔部，并沿着所述正面侧凹部、背面侧凹部及通孔部以及所述工件保持孔的内周面的部分填充有成为树脂插入部的合成树脂材料。2.根据权利要求1所述的工件游星轮，其特征在于，在圆周方向上隔开间距设置所述正面侧凹部及所述背面侧凹部。3.根据权利要求2所述的工件游星轮，其特征在于，所述通孔部是设置在每个所述正面侧凹部和所述背面侧凹部之间。4.根据权利要求1所述的工件游星轮，其特征在于，在所述正面侧凹部及背面侧凹部的底面设置突起部或孔部，...

【专利技术属性】
技术研发人员：杉山将贵，
申请(专利权)人：创技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP