一种刻蚀框具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种刻蚀框具，包括横板，所述横板的底部固定连接有支撑板，所述横板的顶部开设有放置槽，所述横板顶部的右侧通过转轴活动连接有旋转板，旋转板顶部左侧的前端和后端均固定连接有推块，横板左侧的底部开设有与放置槽连通的开口，开口内腔的两侧均固定连接有轴承座。本实用新型专利技术通过旋转板、推块、轴承座、螺纹管、齿轮、齿板、连接块、推动板、螺纹杆、壳体、弹簧和压板的配合使用，解决了现有的刻蚀框具在使用时，不能够对半导体进行夹紧，导致半导体在制作时，会出现偏移现象的问题，该刻蚀框具，具备固定效果好的优点，提高了半导体的生产质量，大大减小了企业的经济损失，提高了刻蚀框具的实用性。

Etching frame

The utility model discloses an etching frame tool, which comprises a horizontal plate with a supporting plate fixed at the bottom, a placing slot arranged at the top of the horizontal plate, a rotating plate movably connected at the right side of the top of the horizontal plate through a rotating shaft, and a pushing block fixed at the front end and the rear end of the left side of the top of the rotating plate, and a pushing block on the left side of the horizontal plate. The bottom is provided with an opening connected with the placing groove, and both sides of the opening cavity are fixedly connected with a bearing seat. The utility model solves the problem that the existing etching frame can not clamp the semiconductor when it is used by the combination of the rotating plate, the push block, the bearing seat, the threaded tube, the gear, the tooth plate, the connecting block, the push plate, the threaded rod, the shell, the spring and the pressing plate, thus causing the offset phenomenon when the semiconductor is manufactured. The etching frame has the advantages of good fixing effect, improves the quality of semiconductor production, greatly reduces the economic losses of enterprises, and improves the practicability of the etching frame.

【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀框具
本技术涉及刻蚀
，具体为一种刻蚀框具。
技术介绍
刻蚀，它是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤，是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺，所谓刻蚀，实际上狭义理解就是光刻腐蚀，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分，随着微制造工艺的发展，广义上来讲，刻蚀成了通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称，成为微加工制造的一种普适叫法。在对半导体进行刻蚀时，需要使用到刻蚀框具，但是现有的刻蚀框具在使用时，不能够对半导体进行夹紧，导致半导体在制作时，会出现偏移的现象，降低了半导体的生产质量，给企业带来巨大的经济损失，降低了刻蚀框具的实用性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种刻蚀框具，具备固定效果好的优点，解决了现有的刻蚀框具在使用时，不能够对半导体进行夹紧，导致半导体在制作时，会出现偏移现象的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种刻蚀框具，包括横板，所述横板的底部固定连接有支撑板，所述横板的顶部开设有放置槽，所述横板顶部的右侧通过转轴活动连接有旋转板，所述旋转板顶部左侧的前端和后端均固定连接有推块，所述横板左侧的底部开设有与放置槽连通的开口，所述开口内腔的两侧均固定连接有轴承座，所述轴承座的内壁固定连接有螺纹管，所述螺纹管表面的中心固定连接有齿轮，所述齿轮的顶部啮合有齿板，所述齿板的顶部固定连接有连接块，所述连接块的顶部贯穿至横板的顶部并固定连接有推动板，所述推动板的底部与横板滑动连接，所述螺纹管的内腔螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的右端延伸至放置槽的内腔并固定连接有壳体，所述壳体的底部与支撑板滑动连接，所述壳体内腔的底部固定连接有弹簧，所述弹簧的顶端延伸至壳体的顶部并固定连接有压板，所述压板的底部与壳体接触。优选的，所述支撑板的顶部且对应壳体的位置开设有滑槽，所述壳体的底部固定连接有与滑槽配合使用的滑块。优选的，所述壳体的右侧固定连接有保护垫，所述保护垫的厚度为二毫米。优选的，所述横板顶部的左侧开设有与连接块配合使用的通孔，所述齿板的长度大于通孔的长度，所述齿板的宽度大于通孔的宽度。优选的，所述推动板的顶部开设有凹槽，所述推动板的顶部且对应凹槽的位置设置有防滑纹。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：1、本技术通过旋转板、推块、轴承座、螺纹管、齿轮、齿板、连接块、推动板、螺纹杆、壳体、弹簧和压板的配合使用，解决了现有的刻蚀框具在使用时，不能够对半导体进行夹紧，导致半导体在制作时，会出现偏移现象的问题，该刻蚀框具，具备固定效果好的优点，提高了半导体的生产质量，大大减小了企业的经济损失，提高了刻蚀框具的实用性。2、本技术通过滑槽和滑块的配合使用，对壳体起到了限位的作用，避免了壳体在左右移动时出现偏移的现象，增大了壳体在左右移动时的稳定性，使壳体的稳定效果更好，通过保护垫的设置，避免了壳体与半导体之间出现硬性碰撞的现象，进而对半导体起到了保护的作用，通过凹槽的设置，增大了使用者的手与推动板之间的摩擦力，使用者能够很容易的对推动板进行控制，方便了使用者的使用。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术图1中A的局部放大图；图3为本技术的俯视图。图中：1、横板；2、支撑板；3、放置槽；4、旋转板；5、推块；6、开口；7、轴承座；8、螺纹管；9、齿轮；10、齿板；11、连接块；12、推动板；13、螺纹杆；14、壳体；15、弹簧；16、压板；17、滑槽；18、滑块；19、保护垫。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种刻蚀框具，包括横板1，横板1的底部固定连接有支撑板2，横板1的顶部开设有放置槽3，横板1顶部的右侧通过转轴活动连接有旋转板4，旋转板4顶部左侧的前端和后端均固定连接有推块5，横板1左侧的底部开设有与放置槽3连通的开口6，开口6内腔的两侧均固定连接有轴承座7，轴承座7的内壁固定连接有螺纹管8，螺纹管8表面的中心固定连接有齿轮9，齿轮9的顶部啮合有齿板10，齿板10的顶部固定连接有连接块11，连接块11的顶部贯穿至横板1的顶部并固定连接有推动板12，推动板12的底部与横板1滑动连接，螺纹管8的内腔螺纹连接有螺纹杆13，螺纹杆13的右端延伸至放置槽3的内腔并固定连接有壳体14，壳体14的底部与支撑板2滑动连接，壳体14内腔的底部固定连接有弹簧15，弹簧15的顶端延伸至壳体14的顶部并固定连接有压板16，压板16的底部与壳体14接触。本技术中：支撑板2的顶部且对应壳体14的位置开设有滑槽17，壳体14的底部固定连接有与滑槽17配合使用的滑块18，通过滑槽17和滑块18的配合使用，对壳体14起到了限位的作用，避免了壳体14在左右移动时出现偏移的现象，增大了壳体14在左右移动时的稳定性，使壳体14的稳定效果更好。本技术中：壳体14的右侧固定连接有保护垫19，保护垫19的厚度为二毫米，通过保护垫19的设置，避免了壳体14与半导体之间出现硬性碰撞的现象，进而对半导体起到了保护的作用。本技术中：横板1顶部的左侧开设有与连接块11配合使用的通孔，齿板10的长度大于通孔的长度，齿板10的宽度大于通孔的宽度。本技术中：推动板12的顶部开设有凹槽，推动板12的顶部且对应凹槽的位置设置有防滑纹，通过凹槽的设置，增大了使用者的手与推动板12之间的摩擦力，使用者能够很容易的对推动板12进行控制，方便了使用者的使用。工作原理：本技术使用时，使用者通过推动推块5，使得旋转板4旋转，然后将需要刻蚀的半导体放置在放置槽3内腔，接着推动推块5，使得旋转板4恢复原来的位置，然后推动推动板12带动连接块11移动，连接块11带动齿板10移动，利用齿板10带动齿轮9转动，齿轮9带动螺纹管8转动，螺纹管8带动螺纹杆13向右移动，螺纹杆13带动壳体14向右移动，并使保护垫19与半导体接触，同时通过旋转板4和压板16的配合使用，将半导体压紧，从而达到了该刻蚀框具对半导体固定效果好的目的。综上所述：该刻蚀框具，通过旋转板4、推块5、轴承座7、螺纹管8、齿轮9、齿板10、连接块11、推动板12、螺纹杆13、壳体14、弹簧15和压板16的配合使用，解决了现有的刻蚀框具在使用时，不能够对半导体进行夹紧，导致半导体在制作时，会出现偏移现象的问题。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本技术的实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种刻蚀框具，包括横板(1)，其特征在于：所述横板(1)的底部固定连接有支撑板(2)，所述横板(1)的顶部开设有放置槽(3)，所述横板(1)顶部的右侧通过转轴活动连接有旋转板(4)，所述旋转板(4)顶部左侧的前端和后端均固定连接有推块(5)，所述横板(1)左侧的底部开设有与放置槽(3)连通的开口(6)，所述开口(6)内腔的两侧均固定连接有轴承座(7)，所述轴承座(7)的内壁固定连接有螺纹管(8)，所述螺纹管(8)表面的中心固定连接有齿轮(9)，所述齿轮(9)的顶部啮合有齿板(10)，所述齿板(10)的顶部固定连接有连接块(11)，所述连接块(11)的顶部贯穿至横板(1)的顶部并固定连接有推动板(12)，所述推动板(12)的底部与横板(1)滑动连接，所述螺纹管(8)的内腔螺纹连接有螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)的右端延伸至放置槽(3)的内腔并固定连接有壳体(14)，所述壳体(14)的底部与支撑板(2)滑动连接，所述壳体(14)内腔的底部固定连接有弹簧(15)，所述弹簧(15)的顶端延伸至壳体(14)的顶部并固定连接有压板(16)，所述压板(16)的底部与壳体(14)接触。

【技术特征摘要】
1.一种刻蚀框具，包括横板(1)，其特征在于：所述横板(1)的底部固定连接有支撑板(2)，所述横板(1)的顶部开设有放置槽(3)，所述横板(1)顶部的右侧通过转轴活动连接有旋转板(4)，所述旋转板(4)顶部左侧的前端和后端均固定连接有推块(5)，所述横板(1)左侧的底部开设有与放置槽(3)连通的开口(6)，所述开口(6)内腔的两侧均固定连接有轴承座(7)，所述轴承座(7)的内壁固定连接有螺纹管(8)，所述螺纹管(8)表面的中心固定连接有齿轮(9)，所述齿轮(9)的顶部啮合有齿板(10)，所述齿板(10)的顶部固定连接有连接块(11)，所述连接块(11)的顶部贯穿至横板(1)的顶部并固定连接有推动板(12)，所述推动板(12)的底部与横板(1)滑动连接，所述螺纹管(8)的内腔螺纹连接有螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)的右端延伸至放置槽(3)的内腔并固定连接有壳体(14)，所述壳体(14)的底部与支撑板(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑资来，毛先国，
申请(专利权)人：惠州市清洋实业有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44