提供具有优异的透湿性及阻气性、并且具有优异的耐化学药品性、透明性、弯曲性及耐热性的层叠薄膜。本发明专利技术的层叠薄膜依次具有：基材；包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层；以及由SiO2构成的第2氧化物层。1个实施方式中，第1氧化物层的厚度为10nm～100nm，第2氧化物层的厚度为10nm～100nm。1个实施方式中，层叠薄膜的透湿度为3.0×10‑2g/m2/24hr以下、可见光的总透光率为84％以上。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】层叠薄膜
本专利技术涉及层叠薄膜。更详细而言，本专利技术涉及基材上具有2个氧化物层的层叠薄膜。
技术介绍
以往，在图像显示装置(例如液晶显示装置、有机电致发光(EL)显示装置)、太阳能电池(例如薄膜型太阳能电池、薄膜太阳能电池)中使用阻隔薄膜。在这种阻隔薄膜的开发中，作为制膜速度快、折射率低、具有良好的阻气性的阻隔薄膜，提出了在Al-Zn-O(添加铝的氧化锌)膜中添加有SiO2的透明氧化物膜(薄膜)(专利文献1)。但是，该透明氧化物膜的耐化学药品性(例如耐酸性、耐碱性)非常不充分，进而，透明性也要求改善。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-189657号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术是为解决上述以往的问题而作出的，其目的在于，提供具有优异的透湿性及阻气性、并且具有优异的耐化学药品性、透明性、弯曲性及耐热性的层叠薄膜。用于解决问题的方案本专利技术的层叠薄膜依次具有：基材；包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层；以及由SiO2构成的第2氧化物层。1个实施方式中，上述第1氧化物层的厚度为10nm～100nm。1个实施方式中，上述第2氧化物层的厚度为10nm～100nm。1个实施方式中，上述层叠薄膜的透湿度为不足1.0×10-1g/m2/24hr，可见光的总透光率为84％以上。1个实施方式中，上述层叠薄膜的阻气性为1.0×10-7g/m2/24hr～0.5g/m2/24hr。1个实施方式中，上述层叠薄膜的滴加2％的氢氧化钠溶液(pH13.7)后的透湿度为不足1.0×10-1g/m2/24hr。专利技术的效果根据本专利技术的实施方式，通过采用包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层与由SiO2构成的第2氧化物层的层叠结构，从而能够实现具有优异的透湿性及阻气性、并且具有优异的耐化学药品性、透明性、弯曲性及耐热性的层叠薄膜。同时满足这么多特性是通过在实际中组合使用包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层和由SiO2构成的第2氧化物层而首次获得的见解，是预料不到的优异的效果。附图说明图1为本专利技术的1个实施方式的层叠薄膜的示意截面图。具体实施方式以下，对本专利技术的代表性实施方式进行说明，但本专利技术不限定于这些实施方式。A.层叠薄膜的整体构成图1为本专利技术的1个实施方式的层叠薄膜的示意截面图。本实施方式的层叠薄膜100依次具有基材10、第1氧化物层20和第2氧化物层30。第1氧化物层20包含ZnO、Al及SiO2。第2氧化物层30由SiO2构成。第1氧化物层20的厚度优选为10nm～100nm。第2氧化物层30的厚度优选为10nm～100nm。层叠薄膜具有对水分及气体(例如氧气)的阻隔性。层叠薄膜在40℃、90％RH条件下的水蒸气透过率(透湿度)优选为不足1.0×10-1g/m2/24hr。从阻隔性的观点出发，透湿度的下限越低越优选。透湿度的测定极限例如为0.1×10-6g/m2/24hr左右。1个实施方式中，从放出由装置构成物经时产生的逸气(outgas)(例如通过太阳能电池密封树脂(EVA)的水解产生的乙酸)的观点出发，透湿度的下限例如为0.1×10-4g/m2/24hr。透湿度的优选的上限可以根据用途而变动。对于透湿度的上限，例如在室内的图像显示装置(例如PC显示器)用途中为5.0×10-2g/m2/24hr，在室外的图像显示装置(数位看板)用途中为3.0×10-2g/m2/24hr，在车载显示器等室内严酷环境用途中为1.0×10-2g/m2/24hr。层叠薄膜在60℃、90％RH条件下的阻气性优选为1.0×10-7g/m2/24hr～0.5g/m2/24hr、更优选为1.0×10-7g/m2/24hr～0.1g/m2/24hr。透湿度及阻气性为这样的范围时，将层叠薄膜贴合于对象物(例如图像显示装置、太阳能电池)的情况下，可良好地保护该对象物免受空气中的水分及氧气的影响。需要说明的是，透湿度及阻气性均可依据JISK7126-1进行测定。层叠薄膜的可见光(例如波长550nm的光)的总透光率优选为84％以上、更优选为87％以上、进一步优选为90％以上。根据本专利技术，通过采用包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层(以下有时称为AZO膜)与由SiO2构成的第2氧化物层的层叠结构，从而即使厚度比单独的AZO膜厚，与AZO膜单独的构成相比也能够增大透明性。其结果，层叠薄膜不损害可视性，因此可以非常适合地作为图像显示装置的阻隔薄膜使用。层叠薄膜优选具有耐化学药品性。更详细而言，层叠薄膜优选具有耐酸性及耐碱性。本说明书中，“耐酸性”是指，将2％的盐酸溶液(pH0.3)滴加至层叠薄膜，在10分钟后擦去盐酸溶液后的透湿度为不足1.0×10-1g/m2/24hr。另外，“耐碱性”是指，将2％的氢氧化钠溶液(pH13.7)滴加至层叠薄膜，在10分钟后擦去氢氧化钠溶液后的透湿度为不足1.0×10-1g/m2/24hr。本专利技术的成果之一在于，维持如上所述那样的期望的阻隔性及透明性，并且实现这样的优异的耐化学药品性。层叠薄膜具有即使以优选曲率半径7mm、更优选曲率半径5mm弯曲也不产生破裂及裂纹这样的弯曲性。通过采用上述规定的第1氧化物层与第2氧化物层的层叠结构，从而能够兼顾优异的耐化学药品性和优异的弯曲性及耐热性(后述)。层叠薄膜具有即使在95℃下进行优选500小时、更优选600小时、进一步优选700小时加热，透湿度也不足1.0×10-1g/m2/24hr这样的耐热性。通过采用上述规定的第1氧化物层与第2氧化物层的层叠结构，从而能够兼顾优异的耐化学药品性和优异的弯曲性及耐热性。1个实施方式中，本专利技术的层叠薄膜为长条状。长条状的层叠薄膜例如可以卷绕成卷状而进行保管和/或运输。层叠薄膜的弯曲性优异，因此即使卷绕成卷状也不会产生不良情况。以下，对层叠薄膜的构成要素进行说明。B.基材基材10优选为透明的。基材的可见光(例如波长550nm的光)的总透光率优选为85％以上、更优选为90％以上、进一步优选为95％以上。1个实施方式中，基材10在光学上为各向同性。为这样的构成时，将层叠薄膜应用于图像显示装置的情况下，能够防止对该图像显示装置的显示特性的不良影响。本说明书中“在光学上为各向同性”是指，面内相位差Re(550)为0nm～10nm、厚度方向的相位差Rth(550)为-10nm～+10nm。基材的面内相位差Re(550)优选为0nm～5nm、厚度方向的相位差Rth(550)优选为-5nm～+5nm。需要说明的是，“Re(550)”为23℃下用波长550nm的光测定的薄膜的面内相位差，将薄膜的厚度设为d(nm)时，根据式：Re＝(nx-ny)×d来求出。“Rth(550)”为23℃下用波长550nm的光测定的薄膜的厚度方向的相位差，将薄膜的厚度设为d(nm)时，根据式：Re＝(nx-nz)×d来求出。此处，“nx”为面内的折射率为最大的方向(即慢轴方向)的折射率，“ny”为在面内与慢轴正交的方向(即快轴方向)的折射率，“nz”为厚度方向的折射率。基材的平均折射率优选为不足1.7、更优选为1.59以下、进一步优选为1.4～1.55。平均折射率为这样的范围时，具有能够抑制背面反射、能够实现高透光率的优点。作为构成基材的材料，可以使用能满足上述特本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种层叠薄膜，其依次具有：基材；包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层；以及由SiO2构成的第2氧化物层。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.01.29 JP 2016-0165251.一种层叠薄膜，其依次具有：基材；包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层；以及由SiO2构成的第2氧化物层。2.根据权利要求1所述的层叠薄膜，其中，所述第1氧化物层的厚度为10nm～100nm。3.根据权利要求1或2所述的层叠薄膜，其中，所述第2氧化物层的厚度为10nm～10...
【专利技术属性】
技术研发人员：宫本幸大，梨木智刚，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。