一种柔性高效PECVD特气槽及其使用方法技术

本发明专利技术提供了一种柔性高效PECVD特气槽及其使用方法，特气槽包括左仓室4、右仓室7，所述左仓室4内设有左滚轴8，所述右仓室7内设有右滚轴5，所述左滚轴8以及所述右滚轴5之间缠绕着金属薄片1，所述金属薄片1围绕在反应腔室10的外侧，所述金属薄片1上设有特气孔2，所述特气孔2与所述反应腔室10上的特气孔气路对应。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性高效PECVD特气槽及其使用方法
本专利技术涉及一种光伏
，尤其是一种柔性高效PECVD特气槽。
技术介绍
太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应直接把光能转化成电能的装置。目前，晶硅太阳能电池仍为市场上的主流，其制备过程主要包括，太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测——表面制绒及酸洗——扩散制结——去磷硅玻璃——等离子刻蚀及酸洗——镀减反射膜——丝网印刷——快速烧结等。其中“镀减反射膜”，工业生产中常采用PECVD设备制备减反射膜。PECVD即等离子增强型化学气相沉积。它的技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体SiH4和NH3，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜即氮化硅薄膜。在Si片表面生长Si3N4膜层时，会在工艺腔室和特气槽表面中同样沉积上Si3N4，随着沉积Si3N4数量的增加，特气槽上的Si3N4局部掉落在Si片表面导致产品不合格率增加。因此，需要在设备连续运行一周左右，暂停设备进行维护，将特气槽清理干净。缺点是很难把Si3N4清理干净，且耽误产量，另外会导致特气槽发生变形。所以，如何提供一种柔性高效PECVD特气槽，解决上述缺陷，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种柔性高效PECVD特气槽，解决现有技术中存在的缺陷，具体方案如下：一种柔性高效PECVD特气槽，包括左仓室4、右仓室7，所述左仓室4内设有左滚轴8，所述右仓室7内设有右滚轴5，所述左滚轴8以及所述右滚轴5之间缠绕着金属薄片1，所述金属薄片1围绕在反应腔室10的外侧，所述金属薄片1上设有特气孔2，所述特气孔2与所述反应腔室10上的特气孔气路对应。具体的，所述反应腔室10的截面为梯形。具体的，所述金属薄片1的外侧还设有两个以上滚轮3。具体的，所述反应腔室10的上底面由所述金属薄片1通过卡子6连接形成。具体的，所述卡子6包括卡子本体60以及固定装置61，所述卡子主体60内设有上下两层的滚珠62。具体的，所述反应腔室10的上底面的所述金属薄片1的上方设有磁性块9。具体的，所述金属薄片1为柔性金属薄片。具体的，所述左滚轴8或所述右滚轴5与电机连接。一种柔性高效率PECVD特气槽的使用方法，包括如下步骤：S1：打开左仓室4或右仓室7，将缠绕有金属薄片1的卷轴插入左滚轴8或右滚轴5上；S2:拉出左滚轴8或右滚轴5上的金属薄片1，绕过滚轮3和卡子6固定到右仓室7内的右滚轴5上或者左仓室4内的左滚轴8上，使特气孔眼2和特气管路相对应；S3：设定工作时长为80-150小时；S4：达到设定时长后，开启右滚轴5或左滚轴8的配套电机，右滚轴5或者左滚轴8带动使用过的金属薄片离开反应腔室10，所述使用过的金属薄片被卷在右滚轴5或者左滚轴8上；S5：整卷金属薄片1用完后，从右仓室7或者左腔室4取出，更换到左仓室4中或者右仓室7中；S6：金属薄片两面均用过后，更换新的一卷金属薄片1。本方案采用柔性金属薄片代替位置固定的金属特气槽，金属薄片相应位置上开有特气孔眼，在原特气槽的两端设有滚轴，滚轴上缠绕柔性金属薄片，另一端带有转动电机，在设备连续运行一段时间后，将使用过的柔性金属薄片缠绕起来，使新的金属薄片继续工作。当用完所有柔性金属薄片后，将其从腔室中卸下，安装上新的即可使设备继续工作。本专利技术相对于现有技术来讲，更换简单，节约时间，有利于提高设备生产率，进而降低太阳能电池成本。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为柔性高效PECVD特气槽结构示意图；图2为金属薄片结构示意图；图3为卡子结构示意图；图中：1、金属薄片2、特气孔3、滚轮4、左仓室5、右滚轴6、卡子7、右仓室8、左滚轴9、磁性块10、反应腔室60、卡子本体61、固定装置62、滚珠。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。图1为柔性高效PECVD特气槽结构示意图，图2和图3分别为金属薄片以及卡子的结构示意图，参照图1-3所示：本专利技术请求保护一种柔性高效PECVD特气槽，包括左仓室4、右仓室7，所述左仓室4内设有左滚轴8，所述右仓室7内设有右滚轴5，所述左滚轴8以及所述右滚轴5之间缠绕着金属薄片1，所述金属薄片1围绕在反应腔室10的外侧，所述金属薄片1上设有特气孔2，所述特气孔2与所述反应腔室10上的特气孔气路（未图示）对应。具体的，所述反应腔室10的截面为梯形。具体的，所述金属薄片1的外侧还设有两个以上滚轮3，所述滚轮3控制所述金属薄片的运行轨迹。具体的，所述反应腔室10的上底面由所述金属薄片1通过卡子6连接形成，形成刚性工艺腔室的截面形状。具体的，所述卡子6包括卡子本体60以及固定装置61，所述卡子主体60内设有上下两层的滚珠62，所述金属薄片1在所述上下两层的滚轴62中间通过。具体的，所述反应腔室10的上底面的所述金属薄片1的上方设有磁性块9，磁性块9起到吸附金属薄片1的作用，可以进一步稳定所述反应腔室10的物理形状。具体的，所述金属薄片1为柔性金属薄片，优选材质为不锈钢。具体的，所述左滚轴8或所述右滚轴5与电机（未图示）连接。本专利技术还请求保护一种柔性高效率PECVD特气槽的使用方法，包括如下步骤：S1：打开左仓室4（或右腔室7），将缠绕有金属薄片1的卷轴插入左滚轴8（或右滚轴5）上；S2:拉出左滚轴8（或右滚轴5）上的金属薄片1，绕过滚轮3和卡子6固定到右仓室7内的右滚轴5上（或者左仓室4内的左滚轴8上），使特气孔2和特气管路（未图示）相对应；S3：设定工作时长为80-150小时；S4：达到设定时长后，开启右滚轴5（或左滚轴8）的配套电机，右滚轴5（或者左滚轴8）带动使用过的金属薄片离开反应腔室10，所述使用过的金属薄片被卷在右滚轴5（或者左滚轴8）上；S5：整卷金属薄片1用完后，从右仓室7或者左仓室4取出，更换到左仓室4中（或者右仓室7）中；S6：金属薄片两面均用过后，更换新的一卷金属薄片1。上面结合附图对本专利技术的实施例进行了描述，但是本专利技术并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本专利技术的启示下，在不脱离本专利技术宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，这些均属于本专利技术的保护之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性高效PECVD特气槽， 包括左仓室、右仓室，其特征在于：所述左仓室内设有左滚轴，所述右仓室内设有右滚轴，所述左滚轴以及所述右滚轴之间缠绕着金属薄片，所述金属薄片围绕在反应腔室的外侧，所述金属薄片上设有特气孔，所述特气孔与所述反应腔室上的特气孔气路对应。

【技术特征摘要】
1.一种柔性高效PECVD特气槽，包括左仓室、右仓室，其特征在于：所述左仓室内设有左滚轴，所述右仓室内设有右滚轴，所述左滚轴以及所述右滚轴之间缠绕着金属薄片，所述金属薄片围绕在反应腔室的外侧，所述金属薄片上设有特气孔，所述特气孔与所述反应腔室上的特气孔气路对应。2.根据权利要求1所述的一种柔性高效PECVD特气槽，其特征在与：所述反应腔室的截面为梯形。3.根据权利要求2所述的一种柔性高效PECVD特气槽，其特征在与：所述金属薄片的外侧还设有两个以上滚轮。4.根据权利要求2所述的一种柔性高效PECVD特气槽，其特征在与：所述反应腔室的上底面由所述金属薄片通过卡子连接形成。5.根据权利要求4所述的一种柔性高效PECVD特气槽，其特征在与：所述卡子包括卡子本体以及固定装置，所述卡子主体内设有上下两层的滚珠。6.根据权利要求2所述的一种柔性高效PECVD特气槽，其特征在与：所述反应腔室的上底面的所述金属薄...

【专利技术属性】
技术研发人员：范志东，王峰，吴翠平，杨瑞臣，耿小丕，
申请(专利权)人：承德石油高等专科学校，
类型：发明
国别省市：河北,13