显示装置及其制作方法制造方法及图纸

本发明专利技术揭示了一种显示装置及其制作方法，显示装置的制作方法包括提供衬底；在所述衬底上形成第一无机膜层；在所述第一无机膜层上形成器件层；在所述器件层上形成薄膜封装层，所述薄膜封装层包括交替层叠的有机膜层和第二无机膜层；其中，所述第一无机膜层和第二无机膜层经旋涂前驱体溶液并进行固化获得。这一方法制程简单，成本低廉，能够提高衬底的水氧阻隔性能并降低薄膜封装层的膜应力，提高衬底及整体显示装置的耐用性。

Display device and manufacturing method thereof

The invention discloses a display device and a manufacturing method thereof. The manufacturing method of the display device includes providing a substrate, forming a first inorganic film layer on the substrate, forming a device layer on the first inorganic film layer, forming a film packaging layer on the device layer, and the film packaging layer comprises an alternately laminated organic film layer. The first inorganic film layer and the second inorganic film layer are obtained by spin coating the precursor solution and solidification. This method has the advantages of simple process and low cost. It can improve the water-oxygen barrier property of the substrate, reduce the film stress of the film packaging layer, and improve the durability of the substrate and the whole display device.

【技术实现步骤摘要】
显示装置及其制作方法
本专利技术涉及显示领域，特别是涉及一种显示装置及其制作方法。
技术介绍
随着信息社会的发展，人们对显示设备的需求日益增长。柔性显示装置以其轻薄、可弯折甚至卷曲、机械性能好的特点越来越受到人们的青睐。目前，柔性显示装置在生活中的应用越来越广泛。柔性显示装置包括柔性液晶显示器(LCD)和柔性有机发光二极管显示器(OLED)。柔性显示装置通常制作在柔性载体上，由于柔性显示装置其本身特有的可弯曲的特点，决定了它会有很多特殊的用户体验，也给其设计和制作带来了很大的挑战。如图1所示，目前柔性OLED显示装置的封装技术多采用多层聚合物膜5和无机陶瓷膜4的交叠结构。具体地，柔性衬底1上制备有薄膜晶体管层2，薄膜晶体管层2的部分区域上覆盖有有机发光层3，多层聚合物膜5和无机陶瓷膜4的交叠结构覆盖有机发光层3和薄膜晶体管层2，还可以在最上方的无机陶瓷膜4上进一步形成一保护层，以此实现显示装置的封装。但是，现有做法存在许多缺陷，一方面，柔性衬底1的水氧阻隔较差，容易受到侵蚀，从而导致耐用性弱的问题；另一方面，目前的无机陶瓷膜4是采用溅射(Sputtering)和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术形成的，这个过程对器件层(例如薄膜晶体管层2和有机发光层3)会产生损伤。上述两大问题影响OLED显示装置的性能及寿命。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种显示装置及其制作方法，提高衬底的水氧阻隔能力，增强衬底使用寿命。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种显示装置的制作方法，包括：提供衬底；在所述衬底上形成第一无机膜层；在所述第一无机膜层上形成器件层；在所述器件层上形成薄膜封装层，所述薄膜封装层包括交替层叠的有机膜层和第二无机膜层；其中，所述第一无机膜层和第二无机膜层经旋涂前驱体溶液并进行固化获得。可选的，对于所述的显示装置的制作方法，所述前驱体溶液含有全氢聚硅氮烷，或者部分氢原子被卤素基团、烷烃基团、环烷烃基团、芳香烃基团、醚基团或酯基团取代的聚硅氮烷。可选的，对于所述的显示装置的制作方法，所述固化为常温固化或者红外固化，持续时间为0.5小时～12小时。可选的，对于所述的显示装置的制作方法，在所述器件层上形成薄膜封装层包括：(1)在所述器件层上形成有机膜层；(2)在所述有机膜层上旋涂前驱体溶液并进行固化获得第二无机膜层；(3)按照设定次数重复执行(1)-(2)；(4)在所述第二无机膜层上形成有机膜层。可选的，对于所述的显示装置的制作方法，所述设定次数为1-10次。可选的，对于所述的显示装置的制作方法，在所述器件层上形成薄膜封装层之后，还包括：在所述衬底上背离所述第一无机膜层的一侧形成第三无机膜层，所述第三无机膜层经旋涂前驱体溶液并进行固化获得。可选的，对于所述的显示装置的制作方法，所述显示装置为柔性显示装置，所述衬底为柔性衬底。本专利技术还提供一种显示装置，包括：衬底；位于所述衬底上的第一无机膜层；位于所述第一无机膜层上的器件层；位于所述器件层上的薄膜封装层，所述薄膜封装层包括交替层叠的有机膜层和第二无机膜层。可选的，对于所述的显示装置，还包括：位于所述衬底上背离所述第一无机膜层一侧的第三无机膜层。可选的，对于所述的显示装置，所述薄膜封装层的底层和顶层皆为有机膜层。本专利技术提供的显示装置的制作方法，包括提供衬底；在所述衬底上形成第一无机膜层；在所述第一无机膜层上形成器件层；在所述器件层上形成薄膜封装层，所述薄膜封装层包括交替层叠的有机膜层和第二无机膜层；其中，所述第一无机膜层和第二无机膜层经旋涂前驱体溶液并进行固化获得。这一方法具有如下优点：1、由于采用旋涂前驱体溶液并进行固化获得无机膜层，相比现有技术中的溅射工艺、PECVD工艺，制程简单，成本低廉；2、在衬底上形成无机膜层，并且无机膜层的形成温度低于溅射工艺、PECVD工艺的温度，避免了对衬底产生影响，能够显著提高衬底的水氧阻隔性能；3、无机膜层的形成温度低于溅射工艺、PECVD工艺的温度，可以降低薄膜封装层的膜应力；通过设置薄膜封装层的具体膜层层数及厚度，可有效降低薄膜封装层的应力，提高粘结力；4、在水氧阻隔能力得以提升、膜应力降低的基础上，能够提高衬底及整体显示装置的耐用性。附图说明图1为一种显示装置的结构示意图；图2为本专利技术一实施例中显示装置的制作方法的流程图；图3为本专利技术一实施例中提供的衬底的示意图；图4-图5为本专利技术一实施例中形成第一无机膜层的示意图；图6-图7为本专利技术一实施例中形成器件层的示意图；图8为本专利技术一实施例中形成薄膜封装层的示意图；图9为本专利技术一实施例中形成第三无机膜层的示意图；图10为本专利技术一实施例中获得的显示装置的结构示意图。具体实施方式下面将结合示意图对本专利技术的显示装置及其制作方法进行更详细的描述，其中表示了本专利技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本专利技术，而仍然实现本专利技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本专利技术的限制。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本专利技术。根据下面说明和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。本专利技术的核心思想是，提供一种显示装置的制作方法，包括：步骤S11，提供衬底；步骤S12，在所述衬底上形成第一无机膜层，所述第一无机膜层经旋涂前驱体溶液并进行固化获得；步骤S13，在所述第一无机膜层上形成器件层；步骤S14，在所述器件层上形成薄膜封装层，所述薄膜封装层包括交替层叠的有机膜层和第二无机膜层，所述第二无机膜层经旋涂前驱体溶液并进行固化获得。由此由于采用旋涂前驱体溶液并进行固化获得无机膜层，相比现有技术中的溅射工艺、PECVD工艺，制程简单，成本低廉；这样获得的透明且水氧阻隔特性优异的无机膜层，降低了膜内应力，提高衬底及薄膜封装层边界的水氧阻隔性能，增强衬底的使用寿命。以下列举所述显示装置及其制作方法的较优实施例，以清楚的说明本专利技术的内容，应当明确的是，本专利技术的内容并不限制于以下实施例，其他通过本领域普通技术人员的常规技术手段的改进亦在本专利技术的思想范围之内。下面结合图2-图10，对本专利技术的显示装置及其制作方法进行详细说明。首先，执行步骤S11，如图3所示，提供衬底10。所述衬底10可以选择为现有技术中的材质，例如聚酰亚胺衬底等柔性衬底，本专利技术所述的衬底10并不限于聚酰亚胺材质，亦可由其它材料制成。所述衬底10的形状可为平面、曲面或其他不规则形状。应理解的是，衬底的材质以及形状在此不做限制。接着，执行步骤S12，在所述衬底10上形成第一无机膜层11。具体的，如图4所示，在所述衬底10上旋涂一层前驱体溶液110，所述前驱体溶液110含有全氢聚硅氮烷(PHPS)，所述全氢聚硅氮烷的结构式如下：在其他实施例中，所述前驱体溶液110还可以含有部分氢原子被卤素基团、烷烃基团、环烷烃基团、芳香烃基团、醚基团或酯基团等取代的聚硅氮烷。当然，所述前驱体溶液110还可以含有其他有机物，本专利技术并不进行一一列举。依据实际需要，可以在旋涂后执行印刷、打印等操作，获得所需形状的前驱体溶液110；也可以只需将前驱体溶液110旋涂后即可，可以依据需求灵活变动。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示装置的制作方法，其特征在于，包括：提供衬底；在所述衬底上形成第一无机膜层；在所述第一无机膜层上形成器件层；在所述器件层上形成薄膜封装层，所述薄膜封装层包括交替层叠的有机膜层和第二无机膜层；其中，所述第一无机膜层和第二无机膜层经旋涂前驱体溶液并进行固化获得。

【技术特征摘要】
1.一种显示装置的制作方法，其特征在于，包括：提供衬底；在所述衬底上形成第一无机膜层；在所述第一无机膜层上形成器件层；在所述器件层上形成薄膜封装层，所述薄膜封装层包括交替层叠的有机膜层和第二无机膜层；其中，所述第一无机膜层和第二无机膜层经旋涂前驱体溶液并进行固化获得。2.如权利要求1所述的显示装置的制作方法，其特征在于，所述前驱体溶液含有全氢聚硅氮烷，或者部分氢原子被卤素基团、烷烃基团、环烷烃基团、芳香烃基团、醚基团或酯基团取代的聚硅氮烷。3.如权利要求1所述的显示装置的制作方法，其特征在于，所述固化为常温固化或者红外固化，持续时间为0.5小时～12小时。4.如权利要求1所述的显示装置的制作方法，其特征在于，在所述器件层上形成薄膜封装层包括：(1)在所述器件层上形成有机膜层；(2)在所述有机膜层上旋涂前驱体溶液并进行固化获得第二无机膜层；(3)按照设定次数重复执行(1)-(2)；(4)在所述第二无机膜层上形成有机...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘建立，李春红，薛慕蓉，周萍，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32