便携式信息终端、射束照射系统以及存储介质技术方案

本发明专利技术提供便携式信息终端、射束照射系统以及存储介质。本发明专利技术的便携式信息终端能够在期望的位置进行第一操作项目的操作。该便携式信息终端是与通过向试样照射带电粒子束来对试样进行处理的带电粒子束照射装置分体的便携式信息终端，其具有显示控制部，该显示控制部使显示部显示包含GUI(Graphical User Interface：图形用户界面)的图像，该GUI是能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目，该第一操作项目是能够在带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目中的1个以上的一部分操作项目。

Portable information terminal, beam irradiation system and storage medium

The invention provides a portable information terminal, a beam irradiation system and a storage medium. The portable information terminal of the invention can operate the first operation item at the desired location. The portable information terminal is a portable information terminal separated from a charged particle beam irradiation device that processes a sample by irradiating a charged particle beam on the sample. It has a display control unit which enables the display unit to display an image containing a GUI (Graphical User Interface: Graphical User Interface) that is capable of Enough to operate a first operation item according to an operation from a user, which is more than one part of a plurality of operation items that can be operated in a charged particle beam irradiation device.

【技术实现步骤摘要】
便携式信息终端、射束照射系统以及存储介质
本专利技术涉及便携式信息终端、射束照射系统以及存储介质。
技术介绍
涉及通过向试样照射带电粒子束来对试样进行处理的带电粒子束照射装置的技术的研究和开发正在进行。与此相关，公知有具有触摸面板的控制装置所控制的带电粒子束照射装置(参照专利文献1)。专利文献1：日本特开2012-159699号公报这里，在现有的带电粒子束照射装置中，由带电粒子束照射装置所具有的操作面板或控制装置中的任意一个对能够在带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目进行操作。操作面板是设置有对该多个操作项目分别进行操作的拨盘(dial)、按钮等硬件的面板。但是，操作面板无法从控制装置拆下而移动。另外，控制装置大多与带电粒子束照射装置一体构成。另外，控制装置即使在与带电粒子束照射装置分体构成的情况下，也有可能因移动所引起的故障等而无法进行带电粒子束照射装置的控制。因此，控制装置在该情况下也有时无法容易地移动。其结果是，在该带电粒子束照射装置中，用户有时难以在期望的位置进行该多个操作项目各自的操作。
技术实现思路
因此，本专利技术就是鉴于上述现有技术的问题而完成的，提供便携式信息终端、射束照射系统、以及存储介质，其能够在期望的位置进行第一操作项目的操作。本专利技术的一个方式是一种便携式信息终端，其是与通过向试样照射带电粒子束来对所述试样进行处理的带电粒子束照射装置分体的便携式信息终端，其中，该便携式信息终端具有显示控制部，该显示控制部使显示部显示包含GUI即图形用户界面的图像，该GUI能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目，该第一操作项目是能够在所述带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目中的一部分操作项目。另外，在本专利技术的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：在所述第一操作项目中包含有与所述带电粒子束的状态相关的操作项目。另外，在本专利技术的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：在与所述带电粒子束的状态相关的操作项目中包含有加速电压、射束电流、镜头模式、偏转电压值(aligner)、射束移位、OL值、像散校正值(stigmavalue)中的至少一部分。另外，在本专利技术的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：在所述第一操作项目中包含有与检测从被所述带电粒子束照射的所述试样放射的二次粒子的检测灵敏度相关的操作项目。另外，在本专利技术的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：在与所述检测灵敏度相关的操作项目中包含有对比度、亮度中的至少一方。另外，在本专利技术的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：该便携式信息终端具有像生成部，该像生成部根据表示从被所述带电粒子束照射的所述试样放射的二次粒子的信息生成所述试样的观察像，所述显示控制部使所述显示部在所述图像内预先确定的位置上显示所述像生成部所生成的所述观察像。另外，在本专利技术的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：所述显示控制部将所述GUI配置在所述图像内与从用户接受的操作对应的位置上。另外，在本专利技术的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：对于所述GUI分配了相互不同的所述第一操作项目，该便携式信息终端还具有输出控制部，该输出控制部使输出部输出与分配给用户所操作的所述GUI的所述第一操作项目对应的种类的输出。另外，在本专利技术的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：所述输出部是扬声器，所述输出控制部使所述输出部输出所述种类的声音作为所述种类的输出。另外，在本专利技术的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：所述输出控制部使所述输出部输出与用户对用户所操作的所述GUI进行的操作的程度对应的程度的声音。另外，在本专利技术的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：所述显示部是触摸面板，在用户触摸所述触摸面板上显示了的所述GUI的区域，且用户未使所触摸的触摸位置移动的情况下，所述输出控制部不从所述输出部输出所述种类的声音。另外，在本专利技术的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：所述带电粒子束照射装置与控制所述带电粒子束照射装置的控制装置以能够进行通信的方式连接，所述便携式信息终端与所述控制装置以能够进行通信的方式连接，根据从用户接受的操作而经由所述控制装置操作所述第一操作项目。另外，在本专利技术的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：所述便携式信息终端与所述控制装置以能够无线地通信的方式连接。另外，本专利技术的另一方式是一种射束照射系统，其是具有带电粒子束照射装置和与所述带电粒子束照射装置分体的便携式信息终端的射束照射系统，该带电粒子束照射装置通过向试样照射带电粒子束来对所述试样进行处理，其中，所述便携式信息终端具有显示控制部，该显示控制部使显示部显示包含GUI即图形用户界面的图像，该GUI能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目，该第一操作项目是能够在所述带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目中的至少一部分操作项目。另外，本专利技术的另一方式是一种便携式信息终端，其是与通过向试样照射射束来对所述试样进行处理的射束照射装置分体的便携式信息终端，其中，该便携式信息终端具有显示控制部，该显示控制部使显示部显示包含GUI即图形用户界面的图像，该GUI能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目，该第一操作项目是能够在所述射束照射装置中进行操作的多个操作项目中的1个以上的一部分操作项目。另外，本专利技术的另一方式是一种记录了计算机程序的存储介质，其中，该计算机程序用于使与通过向试样照射带电粒子束来对所述试样进行处理的带电粒子束照射装置分体的便携式信息终端执行如下的步骤：使显示部显示包含GUI即图形用户界面的图像，该GUI能够根据来自用户的操作来操作能够第一操作项目，该第一操作项目是在所述带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目中的1个以上的一部分操作项目。根据本专利技术，可以提供能够在期望的位置进行第一操作项目的操作的便携式信息终端、射束照射系统以及存储介质。附图说明图1是示出实施方式的射束照射系统1的结构的一例的图。图2是示出便携式信息终端40的硬件结构的一例的图。图3是示出便携式信息终端40的功能结构的一例的图。图4是示出便携式信息终端40生成操作画面图像的处理的流程的一例的图。图5是示出在步骤S180中生成的操作画面图像的一例的图。图6是示出显示有区域RA2的情况下的图像P1的一例的图。图7是示出在步骤S180中生成的操作画面图像的另外一例的图。标号说明1：射束照射系统；10：射束照射装置；11：会聚离子束镜筒；12：电子束镜筒；13：试样室；14：载台；16：二次电子检测器；17：EDS检测器；18：EBSD检测器；30：控制装置；35：显示装置；40：便携式信息终端；41：CPU；42：存储部；43：输入接受部；44：通信部；45：显示部；46：输出部；47：控制部；471：信息获取部；472：像生成部；473：显示控制部；475：操作控制部：476：输出控制部。具体实施方式＜实施方式＞以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。＜射束照射系统所进行的处理的概要＞首先，对实施方式的射束照射系统1所进行的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便携式信息终端，其是与通过向试样照射带电粒子束来对所述试样进行处理的带电粒子束照射装置分体的便携式信息终端，其中，该便携式信息终端具有显示控制部，该显示控制部使显示部显示包含GUI即图形用户界面的图像，该GUI能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目，该第一操作项目是能够在所述带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目中的一部分操作项目。

【技术特征摘要】
2017.03.28 JP 2017-0625061.一种便携式信息终端，其是与通过向试样照射带电粒子束来对所述试样进行处理的带电粒子束照射装置分体的便携式信息终端，其中，该便携式信息终端具有显示控制部，该显示控制部使显示部显示包含GUI即图形用户界面的图像，该GUI能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目，该第一操作项目是能够在所述带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目中的一部分操作项目。2.根据权利要求1所述的便携式信息终端，其中，在所述第一操作项目中包含有与所述带电粒子束的状态相关的操作项目。3.根据权利要求2所述的便携式信息终端，其中，在与所述带电粒子束的状态相关的操作项目中包含有加速电压、射束电流、镜头模式、偏转电压值、射束移位、OL值、像散校正值中的至少一部分。4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的便携式信息终端，其中，在所述第一操作项目中包含有与检测从被所述带电粒子束照射的所述试样放射的二次粒子的检测灵敏度相关的操作项目。5.根据权利要求4所述的便携式信息终端，其中，在与所述检测灵敏度相关的操作项目中包含有对比度、亮度中的至少一方。6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的便携式信息终端，其中，该便携式信息终端具有像生成部，该像生成部根据表示从被所述带电粒子束照射的所述试样放射的二次粒子的信息生成所述试样的观察像，所述显示控制部使所述显示部在所述图像内预先确定的位置上显示所述像生成部所生成的所述观察像。7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的便携式信息终端，其中，所述显示控制部将所述GUI配置在所述图像内与从用户接受的操作对应的位置上。8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的便携式信息终端，其中，对于所述GUI分配了相互不同的所述第一操作项目，该便携式信息终端还具有输出控制部，该输出控制部使输出部输出与分配给用户所操作的所述GUI的所述第一操作项目对应的种类的输出。9.根据权利要求8所述的便携式信息终端，其中，所述输出部是扬声器，所述输出控制部使所述输出部输出所述种类的声音作为所述种类的输出。10.根据权利要求9所述的便...

【专利技术属性】
技术研发人员：麻生拓笃，上本敦，麻畑达也，铃木将人，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：日本,JP