The invention provides an industrial robot capable of changing the spacing between the upper and lower directions of a plurality of loaders overlapped for the substrate loading and configured in the upper and lower directions, and can easily adjust the positions of the plurality of loaders in the upper and lower directions respectively. In the above-mentioned industrial robot, the substrate loading mechanism comprises a plurality of hands (18-21) having a loading part (12-15) overlapped in the upper and lower directions for the substrate loading, and a spacing changing mechanism (30) for changing the spacing of the plurality of loading parts (12-15) in the upper and lower directions. The spacing changing mechanism (30) includes a hand connecting part (42) which becomes the connecting part between the hand (18-21) and the handle member (41), a hand connecting part (42) including a roll (44) which can be rotatably mounted on the handle member (41), and a guide member (45) which is mounted on the hand (18-21) and directs the roll (44) horizontally. The guide member (45) is installed to adjust the position in the upper and lower directions relative to the hand (18~21).
【技术实现步骤摘要】
工业机器人
本专利技术涉及搬运半导体晶片等基板的工业机器人。
技术介绍
一直以来,已知一种基板搬运装置,其在以规定间距层叠收容有多个半导体晶片的盒子与对半导体晶片进行规定处理的半导体制造装置内的收容部之间同时搬运多个半导体晶片(例如,参照专利文献1)。专利文献1所记载的基板搬运装置包括:基板保持装置,上述基板保持装置对半导体晶片进行保持;以及机器人,上述机器人使基板保持装置移动。基板保持装置包括五个保持体,上述五个保持体具有供半导体晶片装载的叶片。在专利文献1所记载的基板保持装置中,五个保持体配置成五个叶片在上下方向上重叠。此外,基板保持装置包括连杆机构,上述连杆机构用于改变五个叶片在上下方向上的间隔。连杆机构包括:从动连杆构件,上述从动连杆构件分别能转动地连接于除了配置于上下方向的中心的保持体之外的四个保持体;以及驱动连杆构件,上述驱动连杆构件能转动地连接于四根从动连杆构件。在驱动连杆构件的中心经由齿轮组连接有马达,驱动连杆构件能以基板保持装置在盒子与收容部之间搬运半导体晶片时的移动方向为转动的轴向而转动。此外,两根从动连杆构件以能在从驱动连杆构件的中心向驱动连杆构件的长边方向一侧隔开规定间隔的状态下以基板保持装置的移动方向为转动的轴向转动的方式连接于驱动连杆构件,剩余的两根从动连杆构件以能在从驱动连杆构件的中心向驱动连杆构件的长边方向的另一侧隔开规定间隔的状态下以基板保持装置的移动方向为转动的轴向转动的方式连接于驱动连杆构件。在专利文献1所记载的基板保持装置中,当驱动连杆构件通过马达的动力转动时,连接有从动连杆构件的四个保持体会对应驱动连杆构件的转动量 ...
【技术保护点】
1.一种工业机器人,从以规定间距层叠收容有多个基板的收容部搬出所述基板,其特征在于,包括基板装载机构,所述基板装载机构供多个所述基板装载,所述基板装载机构包括:多个手,多个所述手具有装载部,所述装载部供所述基板装载并且配置成在上下方向上重叠;底座构件,所述底座构件在从所述收容部搬出所述基板时与多个所述手一起移动;以及间距改变机构,所述间距改变机构改变多个所述装载部在上下方向上的间隔,所述手能相对于所述底座构件在上下方向上相对移动,所述间距改变机构包括:支点轴,所述支点轴配置成以所述基板从所述收容部搬出的搬出方向为轴向;柄构件,所述柄构件供多个所述手连接,并且以所述支点轴为转动中心转动;多个手连接部,多个所述手连接部配置于沿所述柄构件的长边方向离开所述支点轴规定距离的位置,并且成为所述手与所述柄构件的连接部;以及驱动机构,所述驱动机构用于使所述柄构件转动,所述驱动机构包括直动构件,所述直动构件在上下方向上直线移动,所述柄构件随着所述直动构件的上下移动以所述支点轴为中心转动,所述手连接部包括:辊,所述辊能旋转地安装于所述柄构件并且以所述搬出方向为旋转的轴向旋转;以及引导构件,所述引导构件安 ...
【技术特征摘要】
2017.03.27 JP 2017-0607331.一种工业机器人,从以规定间距层叠收容有多个基板的收容部搬出所述基板,其特征在于,包括基板装载机构,所述基板装载机构供多个所述基板装载,所述基板装载机构包括:多个手,多个所述手具有装载部,所述装载部供所述基板装载并且配置成在上下方向上重叠;底座构件,所述底座构件在从所述收容部搬出所述基板时与多个所述手一起移动;以及间距改变机构,所述间距改变机构改变多个所述装载部在上下方向上的间隔,所述手能相对于所述底座构件在上下方向上相对移动,所述间距改变机构包括:支点轴,所述支点轴配置成以所述基板从所述收容部搬出的搬出方向为轴向;柄构件,所述柄构件供多个所述手连接,并且以所述支点轴为转动中心转动;多个手连接部,多个所述手连接部配置于沿所述柄构件的长边方向离开所述支点轴规定距离的位置,并且成为所述手与所述柄构件的连接部;以及驱动机构,所述驱动机构用于使所述柄构件转动,所述驱动机构包括直动构件,所述直动构件在上下方向上直线移动,所述柄构件随着所述直动构件的上下移动以所述支点轴为中心转动,所述手连接部包括:辊,所述辊能旋转地安装于所述柄构件并且以所述搬出方向为旋转的轴向旋转;以及引导构件,所述引导构件安装于所述手并具有引导部,所述引导部朝与所述搬出方向和上下方向正交的方向引导所述辊,所述引导构件安装成能相对于所述手在上下方向上调节位置。2.如权利要求1所述的工业机器人,其特征在于,所述引导构件被固定用螺钉固定于所述手,所述引导构件形成有插通孔,所述插通孔供所述固定用螺钉的轴部...
【专利技术属性】
技术研发人员:栗林保,
申请(专利权)人:日本电产三协株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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