工业机器人制造技术

技术编号:19180314 阅读:26 留言:0更新日期:2018-10-17 00:55
本发明专利技术提供一种工业机器人,能改变供基板装载并且配置成在上下方向上重叠的多个装载部在上下方向上的间隔,并能容易地调节多个装载部各自在上下方向上的位置。在上述工业机器人中,基板装载机构包括:具有供基板装载并且配置成在上下方向上重叠的装载部(12~15)的多个手(18~21);以及改变多个装载部(12~15)在上下方向上的间隔的间距改变机构(30)。间距改变机构(30)包括成为手(18~21)与柄构件(41)的连接部的手连接部(42),手连接部(42)包括:能旋转地安装于柄构件(41)的辊(44);以及安装于手(18~21)并且朝水平方向引导辊(44)的引导构件(45)。引导构件(45)安装成能相对于手(18~21)在上下方向上调节位置。

Industrial robot

The invention provides an industrial robot capable of changing the spacing between the upper and lower directions of a plurality of loaders overlapped for the substrate loading and configured in the upper and lower directions, and can easily adjust the positions of the plurality of loaders in the upper and lower directions respectively. In the above-mentioned industrial robot, the substrate loading mechanism comprises a plurality of hands (18-21) having a loading part (12-15) overlapped in the upper and lower directions for the substrate loading, and a spacing changing mechanism (30) for changing the spacing of the plurality of loading parts (12-15) in the upper and lower directions. The spacing changing mechanism (30) includes a hand connecting part (42) which becomes the connecting part between the hand (18-21) and the handle member (41), a hand connecting part (42) including a roll (44) which can be rotatably mounted on the handle member (41), and a guide member (45) which is mounted on the hand (18-21) and directs the roll (44) horizontally. The guide member (45) is installed to adjust the position in the upper and lower directions relative to the hand (18~21).

【技术实现步骤摘要】
工业机器人
本专利技术涉及搬运半导体晶片等基板的工业机器人。
技术介绍
一直以来,已知一种基板搬运装置,其在以规定间距层叠收容有多个半导体晶片的盒子与对半导体晶片进行规定处理的半导体制造装置内的收容部之间同时搬运多个半导体晶片(例如,参照专利文献1)。专利文献1所记载的基板搬运装置包括:基板保持装置,上述基板保持装置对半导体晶片进行保持;以及机器人,上述机器人使基板保持装置移动。基板保持装置包括五个保持体,上述五个保持体具有供半导体晶片装载的叶片。在专利文献1所记载的基板保持装置中,五个保持体配置成五个叶片在上下方向上重叠。此外,基板保持装置包括连杆机构,上述连杆机构用于改变五个叶片在上下方向上的间隔。连杆机构包括:从动连杆构件,上述从动连杆构件分别能转动地连接于除了配置于上下方向的中心的保持体之外的四个保持体;以及驱动连杆构件,上述驱动连杆构件能转动地连接于四根从动连杆构件。在驱动连杆构件的中心经由齿轮组连接有马达,驱动连杆构件能以基板保持装置在盒子与收容部之间搬运半导体晶片时的移动方向为转动的轴向而转动。此外,两根从动连杆构件以能在从驱动连杆构件的中心向驱动连杆构件的长边方向一侧隔开规定间隔的状态下以基板保持装置的移动方向为转动的轴向转动的方式连接于驱动连杆构件,剩余的两根从动连杆构件以能在从驱动连杆构件的中心向驱动连杆构件的长边方向的另一侧隔开规定间隔的状态下以基板保持装置的移动方向为转动的轴向转动的方式连接于驱动连杆构件。在专利文献1所记载的基板保持装置中,当驱动连杆构件通过马达的动力转动时,连接有从动连杆构件的四个保持体会对应驱动连杆构件的转动量上下移动。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利特开2005-116807号公报在专利文献1所记载的基板保持装置中,叶片相对于驱动连杆构件的转动中心在上下方向上的位置可能会由于构成保持体的零件的偏差等影响而发生偏差。若叶片相对于驱动连杆构件的转动中心在上下方向上的位置的偏移变大,五个叶片中的至少一个叶片配置于在上下方向上偏离规定范围的位置,则在盒子与收容部之间搬运半导体晶片时盒子或收容部可能会与叶片发生干涉。因而,若存在配置于在上下方向上偏离规定范围的位置的叶片,则需要对上述叶片在上下方向上的位置进行调节。然而,在专利文献1所记载的基板保持装置中,为了对供从动连杆构件连接的四个保持体的叶片各自在上下方向上的位置进行调节,需要改变从动连杆构件与驱动连杆构件的连接位置或从动连杆构件与保持体的连接位置,或是改变从动连杆构件的长度。因而,在专利文献1所记载的基板保持装置中,难以对供从动连杆构件连接的四个保持体的叶片各自在上下方向上的位置进行调节。
技术实现思路
因而,本专利技术的技术问题在于提供一种工业机器人,能改变供基板装载并且配置成在上下方向上重叠的多个装载部在上下方向上的间隔,并能容易地调节多个装载部各自在上下方向上的位置。为了解决上述技术问题,本专利技术的工业机器人从以规定间距层叠收容有多个基板的收容部搬出基板,其特征是,包括基板装载机构,上述基板装载机构供多个基板装载,基板装载机构包括:多个手,多个上述手具有装载部,上述装载部供基板装载并且配置成在上下方向上重叠;底座构件,上述底座构件在从收容部搬出基板时与多个手一起移动;以及间距改变机构,上述间距改变机构改变多个装载部在上下方向上的间隔,手能相对于底座构件在上下方向上相对移动,间距改变机构包括:支点轴,上述支点轴配置成以基板从收容部搬出的搬出方向为轴向;柄构件,上述柄构件供多个手连接,并且以支点轴为转动中心转动;多个手连接部,多个上述手连接部配置于沿柄构件的长边方向离开支点轴规定距离的位置,并且成为手与柄构件的连接部;以及驱动机构,上述驱动机构用于使柄构件转动,驱动机构包括直动构件,上述直动构件在上下方向上直线移动,柄构件随着直动构件的上下移动以支点轴为中心转动,手连接部包括:辊,上述辊能旋转地安装于柄构件并且以搬出方向为旋转的轴向旋转;以及引导构件,上述引导构件安装于手并具有引导部,上述引导部朝与搬出方向和上下方向正交的方向引导辊,引导构件安装成能相对于手在上下方向上调节位置。在本专利技术的工业机器人中,改变多个装载部在上下方向上的间隔的间距改变机构包括手连接部,上述手连接部成为手与柄构件的连接部,手连接部包括:辊,上述辊能旋转地安装于柄构件并以搬出方向为旋转的轴向旋转;以及引导构件,上述引导构件安装于手并具有引导部,上述引导部朝与搬出方向和上下方向正交的方向引导辊。此外,在本专利技术中,引导构件安装成能相对于手在上下方向上调节位置。因而,在本专利技术中,能通过对引导构件相对于手在上下方向上的位置进行调节这样简单的调节对多个手各自在上下方向上的位置(具体而言,各个手相对于杆构件在上下方向上的位置)进行调节。即,在本专利技术中,能通过对引导构件相对于手在上下方向上的位置进行调节这样简单的调节对多个装载部各自在上下方向上的位置进行调节。因而,在本专利技术中,能改变供基板装载的多个装载部在上下方向上的间隔,并能容易地调节多个装载部各自在上下方向上的位置。在本专利技术中,例如,引导构件被固定用螺钉固定于手,引导构件形成有插通孔,上述插通孔供固定用螺钉的轴部插通,插通孔是内径比固定用螺钉的轴部的外径大的圆孔,或是以上下方向为长边方向的长孔。在本专利技术中,较为理想的是,基板装载机构包括调节用螺钉,上述调节用螺钉用于对引导构件相对于手在上下方向上的位置进行调节。根据如上所述构成,能容易地对引导构件相对于手在上下方向上的位置进行微调。即,能容易地对装载部在上下方向上的位置进行微调。在本专利技术中,例如,基板装载机构包括螺钉保持构件,上述螺钉保持构件固定于手,并且对调节用螺钉进行保持,螺钉保持构件配置于比引导构件靠上侧的位置,引导构件形成有螺纹孔,上述螺纹孔供调节用螺钉螺合。在本专利技术中,较为理想的是,手形成有引导槽,上述引导槽用以朝上下方向引导引导构件。根据如上所述构成,在对引导构件在上下方向上的位置进行调节时引导构件不易在水平方向上发生偏移。因而,装载部在上下方向上的位置调节变得更容易。在本专利技术中,较为理想的是,工业机器人包括:第一臂和第二臂;主体部,第一臂的基端侧和第二臂的基端侧能转动地连接于上述主体部;以及第二手,上述第二手具有第二装载部,上述第二装载部供上述基板装载,并且能配置成与装载部在上下方向上重叠,底座构件能转动地连接于第一臂的前端侧,第二手能转动地连接于第二臂的前端侧。根据如上所述构成,能使用第二手仅搬运一块基板。此外,根据如上所述构成,例如,能使用安装于第二手的传感器对收容于盒子的多块基板的位置进行检测。在本专利技术中,例如,基板装载机构包括多个上手和多个下手以作为手,其中,多个上述上手具有配置于比第二装载部靠上侧的位置的装载部,多个上述下手具有配置于比第二装载部靠下侧的位置的装载部。在本专利技术中,例如,驱动机构包括:马达;螺纹轴,上述螺纹轴利用马达的动力旋转;以及螺母,上述螺母安装于直动构件并与螺纹轴卡合。如上所述,在本专利技术的工业机器人中,能改变供基板装载并且配置成在上下方向上重叠的多个装载部在上下方向上的间隔,并能容易地调节多个装载部各自在上下方向上的位置。附图说明图1是本专利技术实施方式的工业机器人的第二臂伸展的状态的立体图。图本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种工业机器人,从以规定间距层叠收容有多个基板的收容部搬出所述基板,其特征在于,包括基板装载机构,所述基板装载机构供多个所述基板装载,所述基板装载机构包括:多个手,多个所述手具有装载部,所述装载部供所述基板装载并且配置成在上下方向上重叠;底座构件,所述底座构件在从所述收容部搬出所述基板时与多个所述手一起移动;以及间距改变机构,所述间距改变机构改变多个所述装载部在上下方向上的间隔,所述手能相对于所述底座构件在上下方向上相对移动,所述间距改变机构包括:支点轴,所述支点轴配置成以所述基板从所述收容部搬出的搬出方向为轴向;柄构件,所述柄构件供多个所述手连接,并且以所述支点轴为转动中心转动;多个手连接部,多个所述手连接部配置于沿所述柄构件的长边方向离开所述支点轴规定距离的位置,并且成为所述手与所述柄构件的连接部;以及驱动机构,所述驱动机构用于使所述柄构件转动,所述驱动机构包括直动构件,所述直动构件在上下方向上直线移动,所述柄构件随着所述直动构件的上下移动以所述支点轴为中心转动,所述手连接部包括:辊,所述辊能旋转地安装于所述柄构件并且以所述搬出方向为旋转的轴向旋转;以及引导构件,所述引导构件安装于所述手并具有引导部,所述引导部朝与所述搬出方向和上下方向正交的方向引导所述辊,所述引导构件安装成能相对于所述手在上下方向上调节位置。...

【技术特征摘要】
2017.03.27 JP 2017-0607331.一种工业机器人,从以规定间距层叠收容有多个基板的收容部搬出所述基板,其特征在于,包括基板装载机构,所述基板装载机构供多个所述基板装载,所述基板装载机构包括:多个手,多个所述手具有装载部,所述装载部供所述基板装载并且配置成在上下方向上重叠;底座构件,所述底座构件在从所述收容部搬出所述基板时与多个所述手一起移动;以及间距改变机构,所述间距改变机构改变多个所述装载部在上下方向上的间隔,所述手能相对于所述底座构件在上下方向上相对移动,所述间距改变机构包括:支点轴,所述支点轴配置成以所述基板从所述收容部搬出的搬出方向为轴向;柄构件,所述柄构件供多个所述手连接,并且以所述支点轴为转动中心转动;多个手连接部,多个所述手连接部配置于沿所述柄构件的长边方向离开所述支点轴规定距离的位置,并且成为所述手与所述柄构件的连接部;以及驱动机构,所述驱动机构用于使所述柄构件转动,所述驱动机构包括直动构件,所述直动构件在上下方向上直线移动,所述柄构件随着所述直动构件的上下移动以所述支点轴为中心转动,所述手连接部包括:辊,所述辊能旋转地安装于所述柄构件并且以所述搬出方向为旋转的轴向旋转;以及引导构件,所述引导构件安装于所述手并具有引导部,所述引导部朝与所述搬出方向和上下方向正交的方向引导所述辊,所述引导构件安装成能相对于所述手在上下方向上调节位置。2.如权利要求1所述的工业机器人,其特征在于,所述引导构件被固定用螺钉固定于所述手,所述引导构件形成有插通孔,所述插通孔供所述固定用螺钉的轴部...

【专利技术属性】
技术研发人员:栗林保
申请(专利权)人:日本电产三协株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

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