The invention relates to the technical field of assembly of microcapsule circuits, and discloses the fabrication method of flow standard module, including: 1. testing the resistance value of interruption and thick film resistance of LTCC ceramic substrate, inspecting the external dimension and appearance of shell and cover plate; 2. cleaning and drying LTCC ceramic substrate, shell and cover plate. 3. The LTCC ceramic substrate is placed in the shell with epoxy black glue, and the bonded shell and LTCC ceramic substrate are lightly extruded and bonded, and the bonded shell and LTCC ceramic substrate are placed in the vacuum oven for solidification. 4. The bare chip, resistance and capacitance are mounted on the LTCC ceramic substrate with conductive silver glue, and solidified at high temperature by the vacuum oven. The LCTCC ceramic substrate cured at high temperature was plasma cleaned, gold wire bonded and the electrical properties were tested, and the flow standard module was obtained. The method of making the flow standard module has the characteristics of small volume, high reliability and strong impact resistance.
【技术实现步骤摘要】
流量标准器模块的制作方法
本专利技术涉及微封装电路组装
,具体地,涉及流量标准器模块的制作方法。
技术介绍
目前国内的混合集成电路多使用传统的PCB板及分立器件制作而成,电路的集成度较低,且电路的面积、体积较大,稳定性相对较差。随着厚薄膜技术的飞速发展,制作高密度、高可靠性、良好特性及小尺寸的新型电子器件已成为必然趋势。如何设计一种流量标准器模块,其制作方法简单,可靠性高,成为当前的一大难题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种流量标准器模块的制作方法,该流量标准器模块的制作方法具有体积小、可靠性高、抗冲击强的特点。为了实现上述目的,本专利技术提供一种流量标准器模块的制作方法,该流量标准器模块的制作方法包括:步骤1,将LTCC陶瓷基板进行通断和厚膜电阻的阻值测试,并检查管壳和盖板的外形尺寸和外观;步骤2,将LTCC陶瓷基板、管壳和盖板进行清洗,并进行烘干;步骤3,将LTCC陶瓷基板放置于设置有环氧黑胶的管壳内,并轻轻挤压粘接,将粘接好的管壳和LTCC陶瓷基板放置于真空烘箱内进行固化;步骤4,将裸芯片、电阻和电容用导电银胶贴装到LTCC陶瓷基板上,并利用真空烘箱进行高温固化;步骤5,将高温固化的LTCC陶瓷基板进行等离子清洗、金丝键合和电性能测试,得到流量标准器模块。优选地,在步骤2中,将LTCC陶瓷基板、管壳和盖板分别放置玻璃器皿用无水乙醇浸泡,并放置入烘箱进行烘干。优选地,在步骤2中,将烘箱温度设置为45℃~55℃,并持续15min~20min。优选地,在步骤3中,真空烘箱的温度设置为150℃~180℃,且时间设置为1h~1.5h。优选地,在步骤 ...
【技术保护点】
1.一种流量标准器模块的制作方法,其特征在于,该流量标准器模块的制作方法包括:步骤1,将LTCC陶瓷基板进行通断和厚膜电阻的阻值测试,并检查管壳和盖板的外形尺寸和外观;步骤2,将LTCC陶瓷基板、管壳和盖板进行清洗,并进行烘干;步骤3,将LTCC陶瓷基板放置于设置有环氧黑胶的管壳内,并轻轻挤压粘接,将粘接好的管壳和LTCC陶瓷基板放置于真空烘箱内进行固化;步骤4,将裸芯片、电阻和电容用导电银胶贴装到LTCC陶瓷基板上,并利用真空烘箱进行高温固化;步骤5,将高温固化的LTCC陶瓷基板进行等离子清洗、金丝键合和电性能测试,得到流量标准器模块。
【技术特征摘要】
1.一种流量标准器模块的制作方法,其特征在于,该流量标准器模块的制作方法包括:步骤1,将LTCC陶瓷基板进行通断和厚膜电阻的阻值测试,并检查管壳和盖板的外形尺寸和外观;步骤2,将LTCC陶瓷基板、管壳和盖板进行清洗,并进行烘干;步骤3,将LTCC陶瓷基板放置于设置有环氧黑胶的管壳内,并轻轻挤压粘接,将粘接好的管壳和LTCC陶瓷基板放置于真空烘箱内进行固化;步骤4,将裸芯片、电阻和电容用导电银胶贴装到LTCC陶瓷基板上,并利用真空烘箱进行高温固化;步骤5,将高温固化的LTCC陶瓷基板进行等离子清洗、金丝键合和电性能测试,得到流量标准器模块。2.根据权利要求1所述的流量标准器模块的制作方法,其特征在于,在步骤2中,将LTCC陶瓷基板、管壳和盖板分别放置玻璃器皿用无水乙醇浸泡,并放置入烘箱进行烘干。3.根据权利要求2所述的流量标准器模块的制作方法,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:张庆燕,孟庆贤,俞昌忠,李小亮,叶启伟,徐日红,
申请(专利权)人:安徽华东光电技术研究所,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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