掩膜板及掩膜组件制造技术

本发明专利技术涉及一种掩膜板及掩膜组件，所述掩膜板包括掩膜板主体；设置于所述掩膜板主体上的至少一个子掩膜板，所述子掩膜板包括蒸镀区和遮挡部；在所述子掩膜板的厚度方向上，所述蒸镀区设置有贯穿所述子掩膜板的第一蒸镀孔；所述遮挡部包括隔离区和虚设区，所述虚设区与显示屏的异形区对应，所述隔离区位于所述虚设区与所述蒸镀区之间，在所述子掩膜板的厚度方向上，所述虚设区设置有第二蒸镀孔，所述第二蒸镀孔贯穿所述子掩膜板，和/或所述虚设区开设有至少一个第一凹槽，所述第一凹槽的深度小于所述子掩膜板的厚度。如此，降低了遮挡部的应力集中，从而使掩膜板主体在张网过程中受力均匀，进一步降低了掩膜板主体在张网过程中的褶皱现象。

【技术实现步骤摘要】
掩膜板及掩膜组件
本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种掩膜板及掩膜组件。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode,OLED)又称为有机电激光显示或有机发光半导体。OLED具有驱动电压低、主动发光、视角宽、效率高、响应速度快、易实现全彩色大面积壁挂式显示和柔性显示的许多特点而逐渐取代液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)显示。在OLED制造技术中，真空蒸镀用的掩膜板是至关重要的部件，掩膜板可以控制有机材料沉积在基板上的位置。掩膜板主要包括通用金属掩膜板(CommonMetalMask，CMM)及精密金属掩膜板(FineMetalMask，FMM)，CMM用于蒸镀共通层，FMM用于蒸镀发光层。专利技术人发现，在异形显示屏(即在显示屏的一个侧边开槽或打孔的屏体)的制作过程中，采用现有技术中的掩膜板张网时出现褶皱，导致后续显示屏像素蒸镀位置精度降低。
技术实现思路
基于此，本专利技术提供了一种掩膜板及掩膜组件，解决了掩膜板张网时褶皱的问题，提高了后续显示屏像素蒸镀位置的精度。为实现以上目的，本专利技术提供了一种掩膜板。一种掩膜板，包括：掩膜板主体，所述掩膜板主体具有蒸镀面和玻璃面，所述蒸镀面面向蒸镀源设置，所述玻璃面背向蒸镀源设置；设置于所述掩膜板主体上的至少一个子掩膜板，所述子掩膜板包括蒸镀区和遮挡部；在所述子掩膜板的厚度方向上，所述蒸镀区设置有贯穿所述子掩膜板的第一蒸镀孔；所述遮挡部包括隔离区和虚设区，所述虚设区与显示屏的异形区对应，所述隔离区位于所述虚设区与所述蒸镀区之间，在所述子掩膜板的厚度方向上，所述虚设区设置有第二蒸镀孔，所述第二蒸镀孔贯穿所述子掩膜板，和/或所述虚设区开设有至少一个第一凹槽，所述第一凹槽的深度小于所述子掩膜板的厚度。在其中一个实施例中，所述第二蒸镀孔与所述第一蒸镀孔的形状相同。在其中一个实施例中，所述第二蒸镀孔包括沿所述子掩膜板的厚度方向设置且连通的第一半刻孔与第二半刻孔；其中，所述第一半刻孔设置于所述玻璃面，所述第二半刻孔设置于所述蒸镀面，所述第一半刻孔从所述掩膜板主体靠近所述玻璃面的一端到远离所述玻璃面的一端逐渐收拢，所述第二半刻孔从所述掩膜板主体靠近所述蒸镀面的一端到远离所述蒸镀面的一端逐渐收拢后与所述第一半刻孔连通。在其中一个实施例中，所述第一凹槽设置于所述蒸镀面，或所述第一凹槽设置于所述玻璃面。在其中一个实施例中，所述第一凹槽包括第二凹槽与第三凹槽，所述第二凹槽设置于所述蒸镀面，所述第三凹槽设置于所述玻璃面，沿所述子掩膜板的厚度方向上，所述第二凹槽的底壁与所述第三凹槽的底壁之间具有间距。在其中一个实施例中，所述第一凹槽的横截面形状为多边形，或所述第一凹槽的横截面形状为圆形，或所述第一凹槽的横截面形状为椭圆形。在其中一个实施例中，在所述子掩膜板的厚度方向上，所述隔离区开设有至少一个第四凹槽，所述第四凹槽的深度小于所述子掩膜板的厚度。在其中一个实施例中，所述第四凹槽设置于所述蒸镀面，或所述第四凹槽设置于所述玻璃面。在其中一个实施例中，所述第四凹槽包括第五凹槽与第六凹槽，所述第五凹槽设置于所述蒸镀面，所述第六凹槽设置于所述玻璃面，沿所述子掩膜板的厚度方向，所述第五凹槽的底壁与所述第六凹槽的底壁之间具有间距。在其中一个实施例中，所述第五凹槽的深度大于或等于所述第六凹槽的深度。在其中一个实施例中，所述第四凹槽的横截面形状为多边形，或所述第四凹槽的横截面形状为圆形，或所述第四凹槽的横截面形状为椭圆形。在其中一个实施例中，所述掩膜板主体具有第一中心线与第二中心线，所述第一中心线与所述第二中心线垂直；所述掩膜板主体上设置有两组所述子掩膜板，每组所述子掩膜板包括至少一个所述子掩膜板，每相邻两个所述子掩膜板之间具有间距，两组所述子掩膜板关于所述第一中心线轴对称，且两组所述子掩膜板关于所述第二中心线轴对称。在其中一个实施例中，位于所述第二中心线同侧的所述子掩膜板的所述遮挡部均背向或均面向所述第二中心线设置。在其中一个实施例中，每组所述子掩膜板划分为至少一个子组，每相邻两个所述子掩膜板板为一个所述子组，位于所述第二中心线同侧的每个所述子组里的两个所述子掩膜板的所述遮挡部相对。一种掩膜组件，包括掩膜板框架、支撑条及至少一个如上述任一项所述的掩膜板，所述支撑条固定连接于所述掩膜板框架，至少一个所述掩膜板层叠设置于所述支撑条上，且与所述掩膜板框架固定连接。本专利技术提供的掩膜板与掩膜组件，将遮挡部划分为两部分，其中虚设区开设有第二蒸镀孔和/或第一凹槽，当采用该掩膜板蒸镀时，蒸镀材料可以从第一蒸镀孔与第二蒸镀孔蒸镀到基板上，第二蒸镀孔或第一凹槽的设置，可以减轻遮挡部的重量，使遮挡部与蒸镀区的重量差异小，降低了遮挡部的应力集中，从而使掩膜板主体在张网过程中受力均匀，进一步降低了掩膜板主体在张网过程中的褶皱现象；同时在虚设区与蒸镀区之间设置有隔离区，以便于对后续制作的显示屏进行切割与封装。附图说明图1为本专利技术一实施例提供的掩膜板的结构示意图；图2为本专利技术另一实施例提供的掩膜板的结构示意图；图3为本专利技术又一实施例提供的掩膜板的结构示意图；图4为本专利技术又一实施例提供的掩膜板的结构示意图；图5为本专利技术又一实施例提供的掩膜板的结构示意图；图6为本专利技术一实施例提供的掩膜板的局部结构的剖视图；图7为本专利技术另一实施例提供的掩膜板的局部结构的剖视图；图8为本专利技术又一实施例提供的掩膜板的局部结构的剖视图；图9为本专利技术又一实施例提供的掩膜板的局部结构的剖视图；图10为本专利技术又一实施例提供的掩膜板的局部结构的剖视图；图11为本专利技术又一实施例提供的掩膜板的局部结构的剖视图；图12为本专利技术又一实施例提供的掩膜板的局部结构的剖视图；图13为本专利技术又一实施例提供的掩膜板的局部结构的剖视图；图14为本专利技术又一实施例提供的掩膜板的局部结构的剖视图；图15为本专利技术一实施例提供的掩膜组件的结构示意图。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的较佳实施例。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本专利技术的公开内容的理解更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。正如
技术介绍
中所述，采用现有技术中的掩膜板，会出现张网时褶皱的问题，专利技术人研究发现，出现这种问题的根本原因在于，开槽屏体在制作过程中需要在相应位置进行开口，即在掩膜板上存在遮挡部，由于遮挡部与蒸镀区的结构存在较大区别，如在蒸镀区设置有蒸镀孔，而在遮挡部不设置有蒸镀孔，从而遮挡部与蒸镀区的重量(单位面积上的重量)差距本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：掩膜板主体，所述掩膜板主体具有蒸镀面和玻璃面，所述蒸镀面面向蒸镀源设置，所述玻璃面背向蒸镀源设置；设置于所述掩膜板主体上的至少一个子掩膜板，所述子掩膜板包括蒸镀区和遮挡部；在所述子掩膜板的厚度方向上，所述蒸镀区设置有贯穿所述子掩膜板的第一蒸镀孔；所述遮挡部包括隔离区和虚设区，所述虚设区与显示屏的异形区对应，所述隔离区位于所述虚设区与所述蒸镀区之间，在所述子掩膜板的厚度方向上，所述虚设区设置有第二蒸镀孔，所述第二蒸镀孔贯穿所述子掩膜板，和/或所述虚设区开设有至少一个第一凹槽，所述第一凹槽的深度小于所述子掩膜板的厚度。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：掩膜板主体，所述掩膜板主体具有蒸镀面和玻璃面，所述蒸镀面面向蒸镀源设置，所述玻璃面背向蒸镀源设置；设置于所述掩膜板主体上的至少一个子掩膜板，所述子掩膜板包括蒸镀区和遮挡部；在所述子掩膜板的厚度方向上，所述蒸镀区设置有贯穿所述子掩膜板的第一蒸镀孔；所述遮挡部包括隔离区和虚设区，所述虚设区与显示屏的异形区对应，所述隔离区位于所述虚设区与所述蒸镀区之间，在所述子掩膜板的厚度方向上，所述虚设区设置有第二蒸镀孔，所述第二蒸镀孔贯穿所述子掩膜板，和/或所述虚设区开设有至少一个第一凹槽，所述第一凹槽的深度小于所述子掩膜板的厚度。2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二蒸镀孔与所述第一蒸镀孔的形状相同。3.根据权利要求1或2所述的掩膜板，其特征在于，所述第二蒸镀孔包括沿所述子掩膜板的厚度方向设置且连通的第一半刻孔与第二半刻孔；其中，所述第一半刻孔设置于所述玻璃面，所述第二半刻孔设置于所述蒸镀面，所述第一半刻孔从所述掩膜板主体靠近所述玻璃面的一端到远离所述玻璃面的一端逐渐收拢，所述第二半刻孔从所述掩膜板主体靠近所述蒸镀面的一端到远离所述蒸镀面的一端逐渐收拢后与所述第一半刻孔连通。4.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一凹槽设置于所述蒸镀面，或所述第一凹槽设置于所述玻璃面。5.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一凹槽包括第二凹槽与第三凹槽，所述第二凹槽设置于所述蒸镀面，所述第三凹槽设置于所述玻璃面，沿所述子掩膜板的厚度方向上，所述第二凹槽的底壁与所述第三凹槽的底壁之间具有间距。6.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一凹槽的横截面形状为多边形，或所述第一凹槽的横截面形状为圆形，或所述第一凹槽的横截面形状为椭圆形。7.根据权利要求1所述的掩膜板，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：李金库，康梦华，王梦凡，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32